【技术实现步骤摘要】
一种具有微针肋-纳米线结构的微通道换热器及其制造方法
本专利技术涉及到一种微通道换热器及其制造方法,特别是涉及到一种具有微针肋-纳米线结构的微通道换热器及其制造方法。
技术介绍
近年来,电子设备的不断更新换代,使得电子元器件向于集成化、小型化发展,但这也伴随着单位面积内的发热量大幅度提升。特别是在微电子领域,高热流密度的电子元器件的散热问题亟待解决。微通道换热器由于体积小、重量轻、适合于紧凑型封装、散热性能高,被认为是高热流密度问题有效的解决途径。普通的微通道换热器是在金属或硅基底上加工出若干平行排布的矩形、三角形、梯形等开式微通道结构,用盖板耦合封装成冷却液微流道,与外界连接而形成冷却液回路。电子元器件产生的热量通道连接层传递到微通道结构,被微通道内流动的冷却液带走,从而实现电子元器件散热的目的。目前的微通道换热器主要采用壁面光滑的平行微通道阵列。流体进入微通道后,流体边界层和热边界层同时进行。该过程中若热边界层未充分发展区域时,努赛尔系数和传热系数数值较大,散热效果好。但随着时间的流逝,当热边界层到达了该区域之后,两者的数值迅速减少,散热效果迅速降低,因而无法 ...
【技术保护点】
1.一种具有微针肋‑纳米线结构的微通道换热器,其特征在于:所述微通道换热器包括上下贴合在一起的上盖板、金属微通道基板,所述金属微通道基板中间设有若干等间距排列的平行阵列微通道,所述微通道的一端连接冷却工质的入口,所述微通道的另一端连接冷却工质的出口;所述微通道壁面具有大量微针肋凸起,所述微针肋凸起上生长有大量纳米线结构。
【技术特征摘要】
1.一种具有微针肋-纳米线结构的微通道换热器,其特征在于:所述微通道换热器包括上下贴合在一起的上盖板、金属微通道基板,所述金属微通道基板中间设有若干等间距排列的平行阵列微通道,所述微通道的一端连接冷却工质的入口,所述微通道的另一端连接冷却工质的出口;所述微通道壁面具有大量微针肋凸起,所述微针肋凸起上生长有大量纳米线结构。2.如权利要求1所述的一种具有微针肋-纳米线结构的微通道换热器,其特征在于:所述微针肋为尖锥形、或者菱柱形结构。3.如权利要求1所述的一种具有微针肋-纳米线结构的微通道换热器,其特征在于:所述微通道为V形、梯形、半圆形或多边形形状。4.如权利要求1所述的一种具有微针肋-纳米线结构的微通道换热器,其特征在于:所述微通道材料为铜或铝或不锈钢。5.如权利要求1所述的一种具有微针肋-纳米线结构的微通道换热器,其特征在于:微通道的槽深H尺寸范围在0.4~1mm之间、两侧壁面之间形成的角度a范围在45~90°之间。6.一种权利要求1-5任一项所述的具有微针肋-纳米线结构的微通道换热器的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:1)选取两块经清洗除污、烘干的金属薄板作为上盖板、金属微通道基板;2)将其中一块金属薄板装夹到微铣削加工机床上,采用微铣削方法加工出等间距排列的平行阵列微通道,以及微通道前后的储液槽;3)将微通道基板依次置于盛有无水乙醇和去离子水的超声波清洗机中,进行清洗并烘干;4)将微通道基...
【专利技术属性】
技术研发人员:邓大祥,徐心海,冯宇,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学深圳,
类型:发明
国别省市:广东,44
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