恒温水提供装置制造方法及图纸

提供恒温水提供装置，减少冷却构件的数量而使装置小型化。该恒温水提供装置(8)具有：调温单元(2)，其使冷却水循环而对加工装置(1)的主轴单元(61)进行调温；以及加工水调温单元(4)，调温单元(2)包含：泵(21)，其将冷却水输送至主轴单元(61)；冷却水冷却单元(22)；第1配管(23)，其将泵(21)与冷却单元(22)连接起来；第2配管(24)，其将冷却单元(22)与主轴单元(61)连接起来；以及第3配管(25)，其将主轴单元(61)与泵(21)连接起来。加工水调温单元(4)包含：加工水配管(41)，其一端与水源连接，并且从另一端侧向加工工具(60)提供加工水；以及加工水配管(41)上的热交换单元(42)。

Constant Temperature Water Supply Device

【技术实现步骤摘要】
恒温水提供装置
本专利技术涉及恒温水提供装置，将从水提供源送出的水调节成恒温而提供至加工装置。
技术介绍
对晶片进行切削的切削装置一边使主轴高速旋转并向安装于主轴前端的高速旋转的切削刀具提供切削水，一边利用该切削刀具对保持工作台所保持的晶片进行切削。在切削装置中，为了使作为转位进给方向的Y轴方向和作为切入进给方向的Z轴方向不会因装置的热应变等而发生变化，从而能够实施高精度的切削加工，需要将切削装置的温度维持为恒定。因此，使冷却水在冷却水回路中循环而去除使主轴旋转驱动的电动机所产生的热。因此，在切削装置中需要恒温水提供装置，该恒温水提供装置具有冷却水回路和切削水回路，将冷却水和切削水维持为所设定的温度，其中，在该冷却水回路中流动着用于对电动机进行除热的冷却水，在该切削水回路中流动着用于对切削屑进行清洗、去除和对加工点进行冷却的切削水(例如，参照专利文献1)。专利文献1：日本特开2007-127343号公报冷却水回路具有：第1冷却构件，其对在围绕电动机的冷却套管中流动并且因电动机的热而使水温升高的冷却水进行冷却；第1容器，其对冷却水进行储存；以及第1加热构件(加热器)，其在装置停止而使冷本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种恒温水提供装置，其对加工装置提供恒温水，该加工装置具有：主轴单元，其具有使安装有加工工具的主轴高速旋转的电动机；以及保持工作台，其对被加工物进行保持，其中，该恒温水提供装置具有：单元调温构件，其使冷却水循环而对该主轴单元进行调温；以及加工水调温构件，其对提供给该加工工具的加工水进行调温，该单元调温构件包含：泵，其将该冷却水输送至该主轴单元；冷却构件，其对该冷却水进行冷却；第1配管，其将该泵与该冷却构件连接起来；第2配管，其将该冷却构件与该主轴单元的冷却水流入口连接起来；以及第3配管，其将该主轴单元的冷却水流出口与该泵连接起来，该加工水调温构件包含：加工水配管，其一端与水源连接，并且从另...

【技术特征摘要】
2018.03.01 JP 2018-0364061.一种恒温水提供装置，其对加工装置提供恒温水，该加工装置具有：主轴单元，其具有使安装有加工工具的主轴高速旋转的电动机；以及保持工作台，其对被加工物进行保持，其中，该恒温水提供装置具有：单元调温构件，其使冷却水循环而对该主轴单元进行调温；以及加工水调温构件，其对提供给该加工工具的加工水进行调温，该单元调温构件包含：泵，其将该冷却水输送至该主轴单元；冷却构件，其对该冷却水进行冷却；第1配管，其将该泵与该冷却构件连接起来；第2配管，其将该冷却构件与该主轴单元的冷却水流入口连接起来；以及第3配管，其将该主轴单元的冷却水流出口与该泵连接起来，该加工水调温构件包含：加工水配管，其一端与水源连接，并且从另一端侧的开口向该加工工具提供该加工水；热交换构件，其配设于该加工水配管；第4配管，其将该热交换构件与该第2配管连接起来；以及第5配管，其将该热交换构件与该第3配管连接起来，使在该热交换构件中使用后的该冷却水返回至该第3配管，通过被该冷却构件冷却后的该冷却水对该加工水进行冷却。2.根据权利要求1所述的恒温水提供装置，其中，所述单元调温构件还包含：旁通配管，其将所述第2配管与所述第3配管连接起来；调整阀，其配设于连接部与所述冷却水流入口之间的该第2配管或...

【专利技术属性】
技术研发人员：新井贤，斋藤淳，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本,JP