【技术实现步骤摘要】
一种用于离子束加工的多品种大口径光学元件复合装置
本专利技术涉及一种用于真空环境光学元件复合装置,尤其是一种用于离子束加工的多品种大口径光学元件复合装置。
技术介绍
随着科学技术的迅速发展,强激光光学系统和高清晰度光学系统,如战术激光武器光学系统、远距离紫外与红外成像探测系统、深空光电探测系统、轻质稳像观瞄系统、激光雷达系统等,对具有亚纳米级表面粗糙度和纳米级面型精度光学元件的需求日益迫切,需要依靠超精密光学元件及其制造技术来实现。先进光电系统发展的要求日益提升,“超精密”所对应的精度和表面质量也在日益精细化。以表面粗糙度和面型精度为例,超光滑的尺度已经发展到表面粗糙度达到1nm以下,面型精度优于10nm。加工超高精度光学元件,需要利用抛光压力接近于零的非接触式超精密抛光工艺技术,避免光学元件表面及亚表面微观损伤缺陷的产生。离子束抛光技术是原子量级上的无应力、非接触式超精密光学加工工艺技术,具有加工精度高、无损伤、可抑制中高频小波纹度、加工面洁净无污染的特点,特别适合高精度平面、深度非球面镜面、异形镜面、自由表面镜面以及激光晶体等特殊光学元件与材料的超精密加工,两 ...
【技术保护点】
1.一种用于离子束加工的多品种大口径光学元件复合装置,其特征在于:包括基体、用于输送光学元件的输送夹紧装置以及提升定位装置,其中提升定位装置可上下移动地设置在基体上,基体的底部左右两侧设有滑轨,输送夹紧装置可前后滑动地设置在滑轨上,滑轨上设有用于定位输送夹紧装置的定位块,基体上设有定位套,输送夹紧装置的上端设有对应的定位销,当输送夹紧装置沿滑轨移动到定位块时,输送夹紧装置正好位于提升定位装置的正下方,输送夹紧装置通过提升定位装置的提升向上移动与基体定位。
【技术特征摘要】
1.一种用于离子束加工的多品种大口径光学元件复合装置,其特征在于:包括基体、用于输送光学元件的输送夹紧装置以及提升定位装置,其中提升定位装置可上下移动地设置在基体上,基体的底部左右两侧设有滑轨,输送夹紧装置可前后滑动地设置在滑轨上,滑轨上设有用于定位输送夹紧装置的定位块,基体上设有定位套,输送夹紧装置的上端设有对应的定位销,当输送夹紧装置沿滑轨移动到定位块时,输送夹紧装置正好位于提升定位装置的正下方,输送夹紧装置通过提升定位装置的提升向上移动与基体定位。2.根据权利要求1所述的多品种大口径光学元件复合装置,其特征在于:所述基体是由左右立板、固定板以及左右滑轨装配组成,固定板水平固定在左右立板上,提升定位装置可上下移动地设置在固定板的中部位置,输送夹紧装置安装在滑轨上位于固定板的下方。3.根据权利要求2所述的多品种大口径光学元件复合装置,其特征在于:所述提升定位装置包括左右二块竖固定板、一固定连接板、一丝杠、四根导向杆、一活动连接板和一提升板,其中二块竖固定板固定在基体的固定板的中部左右两侧,固定连接板水平固定架设在竖固定板上,活动连接板位于固定连接板的上方,提升板位于基体的固定板的下方,基体的固定板上开设有四个用于安装导向套的通孔,导向套通过螺钉安装在固定板上,导向杆穿置在导向套中与导向套滑动连接,导向杆的上端与活动连接板固定连接,导向杆的下端穿过基体与提升板固定连接,丝杠的上端穿过固定连接板与与活动连接板固定连接,丝杠的的下端穿过基体与提升板固定连接,丝杠上设有驱动丝杠上下移动进而带动活动连接板、提升板上下移动的驱动机构。4.根据权利要求3所述的多品种大口径光学元件复合装置,其特征在于:所述驱动机构包括配合的蜗轮、蜗杆,丝杠上套设有一丝杠螺母,丝杠螺母的下端通过轴承固定在基体的固定板上,丝杠螺母的上端通过轴承固定在固定连接板上,蜗轮套设在丝杠螺母外,...
【专利技术属性】
技术研发人员:聂凤明,王大森,张广平,郭海林,裴宁,李晓静,张旭,周静,李维杰,
申请(专利权)人:中国兵器科学研究院宁波分院,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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