【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】照明装置
本专利技术涉及照明装置。
技术介绍
作为计测对象物的三维形状的方法,公知有将激光的干涉条纹投影到对象物上,通过拍摄干涉条纹的投影像并进行分析来运算对象物表面的凹凸信息的被称为“条纹扫描法”的技术。在条纹扫描法中,根据干涉条纹的扫描量和投影像的各点的光强度的变化而求出各点处的凹凸的深度和高度(例如参照专利文献1)。干涉条纹由照明装置生成。照明装置具有两个路径(臂)的波导、将具有可干涉性的光向两个波导分支的耦合器、以及使两个波导的光路长度不同的相位调制器。通过使透过两个波导的光干涉,形成干涉条纹。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平5-87543号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题干涉条纹的强度分布根据两个臂的相位差来控制。在三维形状计测和结构化照明中,干涉条纹的强度分布是重要的参数,但为了得到期望的干涉条纹,需要高精度地控制两个臂的相位差。本专利技术是在这种状况下完成的,其某个方式的例示性的目的之一在于,提供一种能够测定多个臂的相位差的照明装置。用于解决课题的手段本专利技术的某个方式涉及一种生成干涉条纹的照明装置。照明装置具有:输入臂,其接收来自光 ...
【技术保护点】
1.一种照明装置,其生成干涉条纹,其中,该照明装置具有:输入臂,其接收来自光源的输入光;第一输出臂;第二输出臂;分波器,其使通过了所述输入臂的所述输入光向所述第一输出臂和所述第二输出臂分支;相位调制器,其使所述第一输出臂的出射光与所述第二输出臂的出射光之间的相位差变化;以及相位检测器,其根据所述第一输出臂的前端处的第一反射光与所述第二输出臂的前端处的第二反射光合成而得的返回光,检测所述第一输出臂的出射光与所述第二输出臂的出射光之间的相位差。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.01.25 JP 2017-0116851.一种照明装置,其生成干涉条纹,其中,该照明装置具有:输入臂,其接收来自光源的输入光;第一输出臂;第二输出臂;分波器,其使通过了所述输入臂的所述输入光向所述第一输出臂和所述第二输出臂分支;相位调制器,其使所述第一输出臂的出射光与所述第二输出臂的出射光之间的相位差变化;以及相位检测器,其根据所述第一输出臂的前端处的第一反射光与所述第二输出臂的前端处的第二反射光合成而得的返回光,检测所述第一输出臂的出射光与所述第二输出臂的出射光之间的相位差。2.根据权利要求1所述的照明装置,其特征在于,所述相位检测器包含:返回光分波部,其具有与所述光源连接的第一端口、与所述输入臂连接的第二端口、以及将从所述输入臂向所述第二端口的输入光输出的第三端口;以及第一光检测器,其测定来自所述第三端口的输出光的强度。3.根据权利要求1所述的照明装置,其特征在于,所述分波器包含2×2耦合器,该2×2耦合器具有第二输入路、与所述输入臂连接的第一输入路、与所述第一输出臂连接的第一输出路、以及与所述第二输出臂连接的第二输出路,所述相位检测器包...
【专利技术属性】
技术研发人员:渡边大智,渡边启,仓田优生,片寄里美,笠原亮一,
申请(专利权)人:奥林巴斯株式会社,日本电信电话株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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