一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，包括U型支架、空气喷嘴、节流阀、便拆部、清洁干燥空气制造器和电动阀，所述U型支架上方部分贯穿开设第一通孔，第一通孔内固定安装溶剂运输管一端，U型支架的上方部分底部设置便拆部，便拆部底部底部安装溶剂喷嘴，U型支架的上方部分顶部开设安装槽，并设置清洁干燥空气制造器，U型支架上方部分贯穿开设第二通孔，第二通孔和安装槽内部连通，位于U型支架上方部分的底部开设空气喷嘴安装槽，第二通孔和空气喷嘴安装槽内部连通，空气喷嘴安装槽内安装喷管螺纹底座，喷管螺纹底座通过空气喷管安装空气喷嘴本设计能够使光阻去边尺寸工艺更加稳定并防止溶剂飞溅。

A New Structure of Photoresist Edge Removal Nozzle in Photolithography Process

【技术实现步骤摘要】
一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构
本技术涉及驱动芯片金凸块封装领域，具体是一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构。
技术介绍
在金凸块封装光刻制程中，进行光阻涂布时会进行光阻去边清洗，通常是使用管路弯头喷洒溶剂至晶圆边缘以达到去除边缘光阻的目的，正如图2所示，但此结构工艺稳定性较差，导致洗边尺寸时常超出管控规格，而且由于溶剂飞溅也易造成PROpen不良，需要设计一种新型的光阻去边喷嘴结构，解决洗边尺寸时常超出管控规格以及溶剂飞溅造成PROpen的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，包括U型支架、空气喷嘴、节流阀、便拆部、溶剂运输管、清洁干燥空气制造器、电动阀和风机盒，所述U型支架竖直部分右侧固定安装有两个运输泵，运输泵沿前后方向设置，U型支架上方部分贯穿开设有第一通孔，第一通孔内固定安装有溶剂运输管一端，溶剂运输管的另一端固定安装在一个运输泵的输出端，U型支架的上方部分底部设置有便拆部，便拆部包括溶剂喷嘴安装槽，U型支架的上方部分底部开设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，包括U型支架(3)、空气喷嘴(5)、节流阀(8)、便拆部(9)、溶剂运输管(12)、清洁干燥空气制造器(14)、电动阀(17)和风机盒(20)，其特征在于，所述U型支架竖直部分右侧固定安装有两个运输泵(2)，运输泵(2)沿前后方向设置，U型支架(3)上方部分贯穿开设有第一通孔，第一通孔内固定安装有溶剂运输管(12)一端，溶剂运输管(12)的另一端固定安装在一个运输泵(2)的输出端，U型支架(3)的上方部分底部设置有便拆部(9)，便拆部(9)包括溶剂喷嘴安装槽(23)，U型支架(3)的上方部分底部开设有溶剂喷嘴安装槽(23)，溶剂喷嘴安装槽(23)顶部和...

【技术特征摘要】
1.一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，包括U型支架(3)、空气喷嘴(5)、节流阀(8)、便拆部(9)、溶剂运输管(12)、清洁干燥空气制造器(14)、电动阀(17)和风机盒(20)，其特征在于，所述U型支架竖直部分右侧固定安装有两个运输泵(2)，运输泵(2)沿前后方向设置，U型支架(3)上方部分贯穿开设有第一通孔，第一通孔内固定安装有溶剂运输管(12)一端，溶剂运输管(12)的另一端固定安装在一个运输泵(2)的输出端，U型支架(3)的上方部分底部设置有便拆部(9)，便拆部(9)包括溶剂喷嘴安装槽(23)，U型支架(3)的上方部分底部开设有溶剂喷嘴安装槽(23)，溶剂喷嘴安装槽(23)顶部和溶剂运输管(12)的输出端连通，溶剂喷嘴安装槽内螺纹安装有溶剂喷嘴安装座(22)，溶剂喷嘴安装座(22)内贯穿开设有通孔，溶剂喷嘴安装座(22)底部固定安装有溶剂喷嘴(11)，溶剂喷嘴(11)和溶剂喷嘴安装座(22)内部通孔连通，U型支架(3)的上方部分顶部开设有安装槽(15)，安装槽(15)内设置有清洁干燥空气制造器(14)，清洁干燥空气制造器(14)包括风机盒(20)，所述风机盒固定安装在安装槽(15)内侧底部，风机盒(20)内侧顶部固定安装有风机(19)，风机盒(20)的出风口处设置有出风管(18)，风机(19)的出风处正对出风管(18)，U型支架(3)上方部分贯穿开设有第二通孔，第二通孔和...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡文斌，孙红艳，颜维成，李司元，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34