加热装置及喷雾式涂胶机制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种加热装置及喷雾式涂胶机，涉及涂胶设备技术领域，为解决现有晶片加热装置中热烘不均匀的技术问题。该加热装置包括热盘和吸盘，热盘与吸盘相对设置；热盘划分为多个加热区，各加热区对应设置有加热元件，多个加热区对应一个传热面，吸盘具有受热面，传热面与受热面相对设置，且两面之间采用面接触。该喷雾式涂胶机包括机架、加热装置和驱动加热装置转动的驱动机构。该加热装置及喷雾式涂胶机能够提供高均匀性的热场。

Heating device and spray glue dispenser

【技术实现步骤摘要】
加热装置及喷雾式涂胶机
本专利技术涉及涂胶设备
，尤其是涉及一种加热装置及喷雾式涂胶机。
技术介绍
喷雾式涂胶机适用于在高崎岖度表面的基片上均匀涂布光刻胶，可以有效满足TSV、MEMS等制作工艺需求。喷雾式涂胶机一般采用超声喷头实现光刻胶的雾化，由XY工作台带动喷头对以真空吸附方式固定在承片台上的晶片进行精密喷涂。喷雾式涂胶机喷涂过程一般由多次喷涂来完成，当喷头完成某次喷涂时，XY工作台带动喷头到下一次喷涂位置，承片台带动晶片旋转，然后开始晶片的下一次喷涂；在喷涂过程中，一般还需要对正在喷涂的晶片进行热烘。随着集成电路产业的快速发展，喷涂工艺过程对晶片的热烘均匀性提出了更高的要求。现有技术中，晶片加热装置中一般采用单个加热丝与温度传感器，热板中心位置与边缘区域热场均匀性难以控制，导致喷涂效果不够理想。
技术实现思路
本专利技术的第一目的在于提供一种加热装置，为解决现有晶片加热装置中热烘不均匀的技术问题。本专利技术提供的加热装置，用于涂胶机，包括：热盘和吸盘，所述热盘与所述吸盘相对设置；所述热盘划分为多个加热区，各所述加热区对应设置有加热元件，多个所述加热区对应一个传热面，所述吸盘具有受热面，所述传热面与所述受热面相对设置，且两面之间采用面接触。在上述技术方案中，进一步地，所述加热区对应设置有用于检测该区域温度的测温元件，所述测温元件与第一控制元件电连接，所述第一控制元件用于控制所述加热元件工作或不工作。在上述技术方案中，进一步地，所述加热元件采用加热丝，所述测温元件采用热电偶，所述第一控制元件采用温控器。在上述技术方案中，进一步地，所述热盘远离所述吸盘的一侧连接有转盘，所述热盘与所述转盘之间设有用于阻止热量向所述转盘传递的隔热组件。在上述技术方案中，进一步地，所述隔热组件包括固设于所述热盘与所述转盘之间的隔热圈。本专利技术提供的加热装置的有益效果：在该加热装置中，热盘内布置有加热元件，加热元件工作将产生热量，该热量能够由热盘传递至吸盘，从而实现对吸附于吸盘上产品的加热或烘干。在此过程中，由于热盘上划分为多个加热区，且多个加热区均对应设置有加热元件，因而，该设置能够对热盘的各个区域进行加热，使热盘的受热相对均匀，当热量传递至吸盘上时，也能够保证吸盘的各个区域相对受热均匀；再者，该加热装置中热盘上的传热面与吸盘上的受热面相对且采用面接触，该面接触的方式能够增加热盘与吸盘的接触面积，进一步提高吸盘的受热均匀性，从而为待加热或烘干产品提供高均匀性的热场。本专利技术的第二目的在于提供一种喷雾式涂胶机，为解决现有晶片加热装置中热烘不均匀的技术问题。本专利技术提供的喷雾式涂胶机，包括前述的加热装置，以及机架、驱动所述加热装置转动的驱动机构；所述加热装置和所述驱动机构均安装于所述机架上。在上述技术方案中，进一步地，所述驱动机构包括电机、与所述电机传动连接的传送带组件以及与所述传送带组件传动连接的转轴；所述电机安装于所述机架上，所述转轴与所述机架枢接，所述加热装置连接于所述转轴的一端。在上述技术方案中，进一步地，所述传送带组件包括主皮带轮、从皮带轮和带动两者同步转动的皮带，所述主皮带轮与所述电机的输出端固定连接，所述从皮带轮固定套设于所述转轴上。在上述技术方案中，进一步地，所述转轴通过轴承组件与所述机架枢接；所述轴承组件包括同轴设置的轴承座、第一角接触轴承、第二角接触轴承和轴承端盖，所述轴承座固设于所述机架上，所述第一角接触轴承和所述第二角接触轴承紧密套设于所述转轴上，所述轴承端盖与所述轴承座可拆卸连接，用于使所述第一角接触轴承与所述第二角接触轴承在轴向上紧密抵接。在上述技术方案中，进一步地，所述转轴远离所述加热装置的一端设有转接套和气电滑环，所述转接套与所述转轴共轴，且所述转接套固定连接于所述转轴上，所述气电滑环包括转动部和固定部，所述转动部与所述转接套固定连接，所述固定部安装于所述机架上。本专利技术提供的喷雾式涂胶机的有益效果：该喷雾式涂胶机包括上述的加热装置，其中，该加热装置的具体结构、连接关系以及有益效果等已在上述文字中进行了详细说明，在此不再赘述。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1为本专利技术实施例提供的喷雾式涂胶机的结构示意图，其中部分部件未示出；图2为本专利技术实施例提供的喷雾式涂胶机的俯视图；图3为沿图2中A-A线的剖视图；图4为图3所示B处的局部放大示意图。图标：100-加热装置；110-转盘；120-热盘；130-吸盘；140-隔热圈；200-机架；300-驱动机构；310-电机；320-传送带组件；330-转轴；340-轴承组件；321-主皮带轮；322-从皮带轮；323-皮带；341-轴承座；342-第一角接触轴承；343-第二角接触轴承；344-轴承端盖；345-内隔离圈；346-外隔离圈；400-位置检测组件；410-光电传感器；420-检测片；500-转接套；600-气电滑环；610-转动部；620-固定部。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的机构或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个组件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。实施例本实施例提供了一种加热装置，如图1至图4所示，该加热装置100包括热盘120和吸盘130，热盘120与吸盘130相对设置；热盘120划分为多个加热区，各加热区对应设置有加热元件，多个加热区对应一个传热面，吸盘具有受热面，传热面与受热面相对设置，且两面之间采用面接触。在该加热装置中，热盘120内布置有加热元件，加热元件工作将产生热量，该热量能够由热盘120传递至吸盘130，从而实现对吸附于吸盘130上产品的加热或烘干。在此过程中，由于热盘120上划分为多个加热区，且多个加热区均对应设置有加热元件，因而，该设置能够对热盘120的各个区域进行加热，使热盘120的受热相对均匀，当热量传递至吸盘130上时，也能够保证吸盘130的各个区域相对受热均匀；再者，该加热装置中热盘120上的传热面与吸盘130上的受热面相对且采用面接触，该面接触的方式能够增加热盘12本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热装置，用于涂胶机，其特征在于，包括：热盘(120)和吸盘(130)，所述热盘(120)与所述吸盘(130)相对设置；所述热盘(120)划分为多个加热区，各所述加热区对应设置有加热元件，多个所述加热区对应一个传热面，所述吸盘(130)具有受热面，所述传热面与所述受热面相对设置，且两面之间采用面接触。

【技术特征摘要】
1.一种加热装置，用于涂胶机，其特征在于，包括：热盘(120)和吸盘(130)，所述热盘(120)与所述吸盘(130)相对设置；所述热盘(120)划分为多个加热区，各所述加热区对应设置有加热元件，多个所述加热区对应一个传热面，所述吸盘(130)具有受热面，所述传热面与所述受热面相对设置，且两面之间采用面接触。2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热区对应设置有用于检测该区域温度的测温元件，所述测温元件与第一控制元件电连接，所述第一控制元件用于控制所述加热元件工作或不工作。3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述加热元件采用加热丝，所述测温元件采用热电偶，所述第一控制元件采用温控器。4.根据权利要求1-3任一项所述的加热装置，其特征在于，所述热盘(120)远离所述吸盘(130)的一侧连接有转盘(110)，所述热盘(120)与所述转盘(110)之间设有用于阻止热量向所述转盘(110)传递的隔热组件。5.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述隔热组件包括固设于所述热盘(120)与所述转盘(110)之间的隔热圈(140)。6.一种喷雾式涂胶机，其特征在于，包括：权利要求1-5任一项所述的加热装置(100)，以及机架(200)、驱动所述加热装置(100)转动的驱动机构(300)；所述加热装置(100)和所述驱动机构(300)均安装于所述机架(200)上。7.根据权利要求6所述的喷雾式涂胶机，其特征在于，所述驱动机构(300)包括电机(310)、与所述电机(310)传动连接的传送带组件(320)以及与所述传送带组件(32...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾月明，吕磊，吴卿，刘玉倩，郑如意，李嘉保，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11