一种单晶并联式固支梁压电能量收集器制造技术

一种单晶并联式固支梁压电能量收集器，采用固支梁结构，具有较高的稳定性，容易通过微细加工实现等优点；通过将两块压电材料进行并联，能够实现高电流输出，具有可观的电流输出特性；通过梁上集成，简化外部电路的设计，而固支梁两侧的压电材料层还能够在外电路中实现串联最终形成一个混联电路，同时提升能量收集器的电压和电流输出性能。此外，本实用新型专利技术是基于MEMS技术，具有MEMS的基本优点，如体积小、重量轻、功耗低，便于集成等，这一系列优点是传统的微波功率检测器无法比拟的，因此它具有很好的研究和应用价值。

A Single Crystal Parallel Fixed Beam Piezoelectric Energy Collector

【技术实现步骤摘要】
一种单晶并联式固支梁压电能量收集器
本技术涉及微电子机械系统
，具体涉及一种单晶并联式固支梁压电能量收集器。
技术介绍
能量收集器根据压电效应实现能量转换，将外界能量激励转化为电能，再向低功耗设备及传感器等提供稳定持续的电能。能量转化的原理有很多种，其中较为常用的机械能——电能转化方式是根据压电效应，利用压电材料设计成各种高效的能量收集器。近年来随着MEMS技术和特种材料的飞速发展，对MEMS固支梁结构有了深入的研究，使得MEMS固支梁技术应用于压电式能量收集器成为可能。
技术实现思路
本技术目的在于提供一种单晶并联式固支梁压电能量收集器。通过MEMS技术使能量收集器小型化、集成化，同时其梁上并联结构能够提高输出电流，简化外部电路设计。一种单晶并联式固支梁压电能量收集器，包括固支梁、介质层、压电层和质量块，其特征在于：所述固支梁由金属制作成，固支梁上方设有压电层，固支梁与压电层之间填充介质层，介质层作为绝缘层可以阻挡压电层产生的电荷泄漏；所述压电层包括上下的平板电极和其中间的压电材料；具体的，所述压电层分为四个，在固支梁的左右两侧分别设置两个；位于固支梁左侧的两个压电层，左压电层的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶并联式固支梁压电能量收集器，包括固支梁、介质层、压电层和质量块，其特征在于：所述固支梁由金属制作成，固支梁上方设有压电层，固支梁与压电层之间填充介质层，介质层作为绝缘层可以阻挡压电层产生的电荷泄漏；所述压电层包括上下的平板电极和其中间的压电材料；具体的，所述压电层分为四个，在固支梁的左右两侧分别设置两个；位于固支梁左侧的两个压电层，左压电层的上平板电极接右压电层的下平板电极输出，左压电层的下平板电极与右压电层的上平板电极相连，形成两个压电层并联的结构；位于固支梁右侧的两个压电层，右压电层的上平板电极接左压电层的下平板电极输出，右压电层的下平板电极与左压电层的上平板电极相连，形成两个...

【技术特征摘要】
1.一种单晶并联式固支梁压电能量收集器，包括固支梁、介质层、压电层和质量块，其特征在于：所述固支梁由金属制作成，固支梁上方设有压电层，固支梁与压电层之间填充介质层，介质层作为绝缘层可以阻挡压电层产生的电荷泄漏；所述压电层包括上下的平板电极和其中间的压电材料；具体的，所述压电层分为四个，在固支梁的左右两侧分别设置两个；位于固支梁左侧的两个压电层，左压电层的上平板电极接右压电层的下平板电极输出，左压电层的下平板电极与右压电层的上平板电极相连，形成两个压电层并联的结构；位于固支梁右侧的两个压电层，右压电层的上平板电极接左压电层的下平板电极输出，右压电层的下平板电极与左压电层的上平板电极相连，形成两个压电层并联的结构；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨磊，谷新丰，王德波，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32