卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置制造方法及图纸

技术编号:22030560 阅读:37 留言:0更新日期:2019-09-04 04:30
本实用新型专利技术提供了一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,涉及光学零件表面面形测量技术领域。具体包括固定主板和抛光模,固定主板和抛光模之间通过连接轴固定连接,抛光模上通过粘接层粘接待检测光学零件,对待检测光学零件进行夹持固定。本实用新型专利技术主要针对卧式干涉仪,使其能够测量口径超出其夹持范围的光学元件,使大口径光学零件面形检测不受干涉仪自身限制,而且避免了夹持器对光学零件表面面形的损伤,扩展了加工检测范围,并保证了测量精度。

Holding and Fixing Device for Measuring Surface Shape of Large-caliber Optical Parts with Horizontal Interferometer

【技术实现步骤摘要】
卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置
本技术涉及光学零件表面面形测量
,尤其是一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置。
技术介绍
随着天文学、航天光学、空间遥感光学以及空间基地目标探测与识别等技术的发展,大口径光学系统的需求越来越广泛,并且对光学元件的口径要求越来越大,精度要求越来越高。但是在光学元件的生产过程中,其口径往往受到检测仪器的限制;并且由于大口径零件自身较重,夹持时相应需要更大的力量,而夹持力过大往往会使得零件表面发生形变,从而影响面形测量。一般卧式干涉仪测量零件时,零件均通过干涉仪自带夹持器进行夹持,夹持器有最大口径的限制,对于超过这个最大口径的大口径光学零件无法夹持测量,限制了卧式干涉仪的测量范围,并且其自带的夹持器会对零件施加垂直于光轴的压力,容易导致零件表面发生形变,使得测量结果不准确。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,用以解决现有技术中存在的上述问题。为了达到上述目的,本技术提供如下技术方案:一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,包括固定主板和抛光模,所述固定主板和抛光模之间通过连接轴固定连接,所述抛光模上通过粘接层粘接待检测光学零件,对待检测光学零件进行夹持固定。在一种优选的实施方式中,所述粘接层为柏油。在一种优选的实施方式中,还包括加强筋,所述加强筋通过螺钉固定连接在所述固定主板上。在一种优选的实施方式中,所述固定主板固定在干涉仪三维测量平台上。本技术的卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,主要针对卧式干涉仪,使其能够测量口径超出其夹持范围的光学元件,使大口径光学零件面形检测不受干涉仪自身限制,而且对零件面形精度基本没有影响,避免了夹持器的夹持力对光学零件表面面形的损伤,扩展了加工检测范围,并保证了测量精度。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术的卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术的附图,对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。根据图1所示,说明本技术的一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,包括固定主板5和抛光模3,上述固定主板5和抛光模3之间通过连接轴4固定连接,抛光模3上通过粘接层2粘接待检测光学零件1,对待检测光学零件1进行夹持固定。优选的,上述粘接层2为柏油。另外,还包括加强筋6,加强筋6通过螺钉固定连接在上述固定主板5上,加强筋6对被测零件的重心起支撑作用。上述固定主板5固定在干涉仪三维测量平台上。本技术在对零件进行夹持固定时,首先将待检测光学零件1、柏油和抛光模3加热,待柏油软化后将三者粘接为一体,然后让粘接后的整体自然冷却;将固定主板5固定在干涉仪三维测量平台上,将加强筋6连接在固定主板5上,再将粘接后的整体通过连接轴4连接于固定主板5上,将连接好的整体静置一个小时以上,待应力释放以及柏油形变消除了重力影响后再使用干涉仪7进行检测。本技术采用粘接的方式,将待检测光学零件1固定住,其优点在于:柏油对零件的整个表面受力,消除了局部受力的影响;另外,连接好后静置一个小时的时间使得柏油内部应力得到释放,同时柏油的塑性特性使得其通过形变消除了重力对零件面形的影响,不仅适用于大口径的光学零件,而且能够避免夹持力对光学零件表面面形的影响。以上所述,仅为本技术的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此,本技术的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,其特征在于:包括固定主板和抛光模,所述固定主板和抛光模之间通过连接轴固定连接,所述抛光模上通过粘接层粘接待检测光学零件,对待检测光学零件进行夹持固定。

【技术特征摘要】
1.一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,其特征在于:包括固定主板和抛光模,所述固定主板和抛光模之间通过连接轴固定连接,所述抛光模上通过粘接层粘接待检测光学零件,对待检测光学零件进行夹持固定。2.根据权利要求1所述的一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,其特征在于:...

【专利技术属性】
技术研发人员:龚云辉周旭环黄娅芳王光伟王玉彬朱俊
申请(专利权)人:云南北方驰宏光电有限公司
类型:新型
国别省市:云南,53

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