振动传感器和音频设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种振动传感器和音频设备，振动传感器包括外壳，所述外壳形成有容纳腔，所述容纳腔形成有开口；MEMS麦克风，所述MEMS麦克风将所述开口封堵，所述MEMS麦克风的声孔与所述容纳腔连通；第一振膜，所述第一振膜可振动地设置于所述容纳腔；质量块，所述质量块固定设置于所述第一振膜的表面；以及缓冲结构，所述缓冲结构设于所述容纳腔内，所述缓冲结构用于限制所述第一振膜的振动幅度。本实用新型专利技术技术方案旨在外部振动的振动幅度较大时，防止振膜损坏，方便用户使用。

Vibration Sensors and Audio Equipment

【技术实现步骤摘要】
振动传感器和音频设备
本技术涉及传感器
，特别涉及一种振动传感器和应用该振动传感器的音频设备。
技术介绍
目前现有的振动传感器包括振动感应装置及将振动转化为电信号的振动检测装置，振动感应装置具有感应振动的振膜，该振膜在接收到外部振动后进行谐振，从而产生谐振气波，该振动检测装置通过检测谐振气波，将振动信号转换，并输出，实现振动传感的功能。但是，在外部振动的振动幅度较大时，振膜的振动幅度同样会较大，如此，容易损坏振膜，不利于用户使用。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种振动传感器，旨在外部振动的振动幅度较大时，防止振膜损坏，方便用户使用。为实现上述目的，本技术提供的振动传感器，包括：外壳，所述外壳形成有容纳腔，所述容纳腔形成有开口；MEMS麦克风，所述MEMS麦克风将所述开口封堵，所述MEMS麦克风的声孔与所述容纳腔连通；第一振膜，所述第一振膜可振动地设置于所述容纳腔；质量块，所述质量块固定设置于所述第一振膜的表面；以及缓冲结构，所述缓冲结构设于所述容纳腔内，所述缓冲结构用于限制所述第一振膜的振动幅度。可选地，所述缓冲结构包括第一缓冲部和第二缓冲部，所述第一缓冲部和所述第二缓冲部沿所述第一振膜的振动方向分别设于所述第一振膜的两侧。可选地，所述第一缓冲部包括至少一第一缓冲块，所述第一缓冲块设于所述容纳腔的内壁面，并正对所述第一振膜；所述第二缓冲部包括至少一第二缓冲块，所述第二缓冲块设于所述MEMS麦克风封堵所述外壳一侧的表面，并正对所述第一振膜。可选地，所述第一缓冲块及所述第二缓冲块均为多个；每一所述第一缓冲块与每一所述第二缓冲块相对设置于所述第一振膜两侧；或者，所述第一缓冲块与所述第二缓冲块交替设置于所述第一振膜两侧。可选地，所述质量块贴合于所述第一振膜背离所述MEMS麦克风的表面，定义所述第一缓冲块至所述质量块的间距为h，定义所述第二缓冲块至所述第一振膜的间距为s，h与s的关系为：h＝s；或者，所述质量块贴合于所述第一振膜朝向所述MEMS麦克风的表面，定义所述第一缓冲块至所述第一振膜的间距为h，定义所述第二缓冲块至所述质量块的间距为s，h与s的关系为：h＝s。可选地，所述第一缓冲部包括至少一第三缓冲块，所述第三缓冲块设于所述质量块远离所述第一振膜一侧的表面；所述第二缓冲部包括至少一第四缓冲块，所述第四缓冲块设于所述第一振膜远离所述质量块一侧的表面。可选地，所述第三缓冲块及所述第四缓冲块均为多个；每一所述第三缓冲块与所述第四缓冲块在所述第一振膜上的投影位置重叠；或者，每一所述第三缓冲块与所述第四缓冲块在所述第二振膜上的投影位置交错。可选地，定义所述第三缓冲块至所述第三缓冲块正对的所述容纳腔的平面的距离为h，定义所述第四缓冲块至其正对的所述容纳腔的平面的距离为s，h与s的关系为：h＝s。可选地，所述h的取值范围为：5um≤h≤500um。可选地，所述缓冲结构为柔性材料。本技术还提出一种音频设备，包括振动传感器，该振动传感器包括：外壳，所述外壳形成有容纳腔，所述容纳腔形成有开口；MEMS麦克风，所述MEMS麦克风将所述开口封堵，所述MEMS麦克风的声孔与所述容纳腔连通；第一振膜，所述第一振膜可振动地设置于所述容纳腔；质量块，所述质量块固定设置于所述第一振膜的表面；以及缓冲结构，所述缓冲结构设于所述容纳腔内，所述缓冲结构用于限制所述第一振膜的振动幅度。本技术的技术方案通过将外壳与电路板组件相互固定，使外壳形成的容纳腔被封堵，并在该容纳腔内设置与电路板组件电性连接的MEMS麦克风，以及在该容纳腔内设置第一振膜和质量块，再将缓冲结构限制第一振膜的振动幅度。当需要使用振动传感器时，在外壳背离容纳腔的一侧输入振动信号或压力信号，第一振膜和质量块被该振动信号或压力信号激励，质量块和第一振膜产生振动，从而容纳腔的气体产生振动，以使容纳腔内的气压产生变化，MEMS麦克风感应容纳腔内气体产生的振动，并将感应到的信息转换成可以检测的电信号，传递到电路板组件。并且由于设置了缓冲结构，限制了第一振膜的振动间距，从而防止第一振膜的过度振动，从而可以防止第一振膜因振动幅度过大而造成损坏。如此，本技术的技术方案可以在外部振动的振动幅度较大时，防止振膜损坏，方便用户使用。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本技术振动传感器一实施例的结构示意图；图2为本技术振动传感器的缓冲结构一实施例的结构示意图；图3为本技术振动传感器又一实施例的结构示意图；图4为本技术振动传感器再一实施例的结构示意图；图5为本技术振动传感器另一实施例的结构示意图。附图标号说明：标号名称标号名称100振动传感器313容纳腔11电路板组件314通气孔111第一电路板332第一振膜1111贯穿孔334质量块112第二电路板50连接块113谐振腔70缓冲结构114支撑块71第一缓冲部115ASIC芯片711第一缓冲块13MEMS麦克风芯片713第三缓冲块1311第一支架72限位槽1312第二振膜73第二缓冲部31外壳731第二缓冲块311顶板733第四缓冲块312侧板本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，在本技术中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。本技术提出一种振动传感器100。参照图1，本技术技术方案提出的振动传感器100包括：外壳31，所述外壳31形成有容纳腔313，所述容纳腔313形成有开口；MEMS麦克风，所述MEMS麦克风将所述开口封堵，所述MEMS麦克风的声孔1111与所述容纳腔313连通；第一振膜332，所述第一振膜332可振动地设置于所述容纳腔313；质量块334，所述质量块334固定设置于所述第一振膜332的表面；以及缓冲结构70，所述缓冲结构70设于所述容纳腔313内，所述缓冲结构70用于限制所述第一振膜332的振动幅度。本实施例的技术方案MEMS本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振动传感器，其特征在于，包括：外壳，所述外壳形成有容纳腔，所述容纳腔形成有开口；MEMS麦克风，所述MEMS麦克风将所述开口封堵，所述MEMS麦克风的声孔与所述容纳腔连通；第一振膜，所述第一振膜可振动地设置于所述容纳腔；质量块，所述质量块固定设置于所述第一振膜的表面；以及缓冲结构，所述缓冲结构设于所述容纳腔内，所述缓冲结构用于限制所述第一振膜的振动幅度。

【技术特征摘要】
1.一种振动传感器，其特征在于，包括：外壳，所述外壳形成有容纳腔，所述容纳腔形成有开口；MEMS麦克风，所述MEMS麦克风将所述开口封堵，所述MEMS麦克风的声孔与所述容纳腔连通；第一振膜，所述第一振膜可振动地设置于所述容纳腔；质量块，所述质量块固定设置于所述第一振膜的表面；以及缓冲结构，所述缓冲结构设于所述容纳腔内，所述缓冲结构用于限制所述第一振膜的振动幅度。2.如权利要求1所述的振动传感器，其特征在于，所述缓冲结构包括第一缓冲部和第二缓冲部，所述第一缓冲部和所述第二缓冲部沿所述第一振膜的振动方向分别设于所述第一振膜的两侧。3.如权利要求2所述的振动传感器，其特征在于，所述第一缓冲部包括至少一第一缓冲块，所述第一缓冲块设于所述容纳腔的内壁面，并正对所述第一振膜；所述第二缓冲部包括至少一第二缓冲块，所述第二缓冲块设于所述MEMS麦克风封堵所述外壳一侧的表面，并正对所述第一振膜。4.如权利要求3所述的振动传感器，其特征在于，所述第一缓冲块及所述第二缓冲块均为多个；每一所述第一缓冲块与每一所述第二缓冲块相对设置于所述第一振膜两侧；或者，所述第一缓冲块与所述第二缓冲块交替设置于所述第一振膜两侧。5.如权利要求3所述的振动传感器，其特征在于，所述质量块贴合于所述第一振膜背离所述MEMS麦克风的表面，定义所述第一缓冲块至所述质量块的间...

【专利技术属性】
技术研发人员：端木鲁玉，李欣亮，孙健，方华斌，付博，
申请(专利权)人：歌尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37