石英音叉光声光谱传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了石英音叉光声光谱传感器，涉及气体检测技术领域，包括：光源和位于光源的光路上的光准直件；第一反射镜，第一反射镜向靠近光准直件一侧倾斜设置在底座上，且第一反射镜位于从光准直件射出的光路上；第二反射镜，第二反射镜与第一反射镜相对设置在底座上；石英音叉，石英音叉设置在底座上且位于第一反射镜和第二反射镜之间，光准直件射出的光经第一反射镜和第二反射镜之间相互反射形成反射光，反射光所在的平面位于石英音叉的双臂缝隙之间。本实用新型专利技术石英音叉光声光谱传感器，提高了检测气体的灵敏度与信噪比，可用于超低浓度气体的检测。

Quartz Tuning Fork Photoacoustic Spectrum Sensor

【技术实现步骤摘要】
石英音叉光声光谱传感器
本技术涉及气体检测
，特别涉及石英音叉光声光谱传感器。
技术介绍
痕量气体检测技术的发展对于环境大气监测,人类或动植物生理状态以及爆炸物的远距离探测等都具有十分重要的意义。总的来讲,痕量气体检测技术可以分为非光谱检测技术和光谱检测技术两大类。非光谱痕量气体检测技术主要包括:超声波气体检测技术,热催化气体检测方法,气相色谱法(层次分析法)等等。在痕量气体的光谱检测技术中,按光谱产生机理的不同,又可以分为发射光谱和吸收光谱两类。气体分子由于其结构不同,对电磁波的吸收情况也就各不相同。吸收光谱气体检测技术是根据气体分子对通过其中的电磁波辐射的衰减程度来检测气体浓度的。吸收光谱气体检测技术具有测量范围大,可多组分测量,可连续监测等优点,逐渐成为理想的痕量气体浓度检测工具。随着半导体激光器技术的迅猛发展,气体光声光谱系统中开始大量使用半导体激光器做为激励源。通信技术的发展使得近红外半导体激光器获得广泛的应用,市面有售的砷化镓和磷化铟激光器波长范围在0.5μm-2μm之间,处于气体红外吸收的泛音区,随着此类激光器的温度控制器和电流驱动源等辅助部件性能的不断提高,单模本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英音叉光声光谱传感器，包括：光源和位于所述光源的光路上的光准直件；其特征在于，第一反射镜，所述第一反射镜向靠近所述光准直件一侧倾斜设置在底座上，且所述第一反射镜位于从所述光准直件射出的光路上；第二反射镜，所述第二反射镜与所述第一反射镜相对设置在所述底座上；石英音叉，所述石英音叉设置在所述底座上且位于所述第一反射镜和所述第二反射镜之间，所述光准直件射出的光经所述第一反射镜和所述第二反射镜之间相互反射形成反射光，所述反射光所在的平面位于所述石英音叉的双臂缝隙之间。

【技术特征摘要】
1.一种石英音叉光声光谱传感器，包括：光源和位于所述光源的光路上的光准直件；其特征在于，第一反射镜，所述第一反射镜向靠近所述光准直件一侧倾斜设置在底座上，且所述第一反射镜位于从所述光准直件射出的光路上；第二反射镜，所述第二反射镜与所述第一反射镜相对设置在所述底座上；石英音叉，所述石英音叉设置在所述底座上且位于所述第一反射镜和所述第二反射镜之间，所述光准直件射出的光经所述第一反射镜和所述第二反射镜之间相互反射形成反射光，所述反射光所在的平面位于所述石英音叉的双臂缝隙之间。2.根据权利要求1所述的石英音叉光声光谱传感器，其特征在于，所述第二反射镜与所述第一反射镜相平行。3.根据权利要求2所述的石英音叉光声光谱传感器，其特征在于，所述第一反射镜通过回射反射镜设置在所述底座上，所述第一反射镜的下端部与所述回射反射镜的上端部相衔接，所述回射反射镜的下端部固定在所述底座上，所述光准直件...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜浩，林大鹏，朱志军，
申请(专利权)人：歌尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37