用于测试光电装置的设备和操作所述设备的方法制造方法及图纸

能够操作来在不同温度处收集光电装置的光学性能数据的测试设备包括通过光电装置台与所述光电装置进行热接触和机械接触的热调节装置。所述热调节装置能够将热能引导到被测试的所述光电装置，而不用加热靠近的测试目标。因此，在一些情况下，能够避免虚假结果并且能够实现在不同温度处快速测量所述光电装置。

Equipment for testing photoelectric devices and methods for operating the devices

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于测试光电装置的设备和操作所述设备的方法
技术介绍
有时在多个不同温度处测量光电装置的光学性能，以便评估光电装置在不同操作温度下的性能，并且评估光电装置在反复暴露于非环境温度(即，热循环)时是否稳定。这些测试可包括指导光电装置来捕集测试目标(例如，灰卡)的数据。测试设备可包括光电装置和测试目标两者。在一些情况下，整个设备经受温度变化，以便在不同温度处从光电装置收集测试数据。例如，光电装置可通过靠近光电装置的加热元件的对流进行加热。然而，这可导致整个设备由于热传递方法效率低下而变热。这种测试设备可具有多个问题。例如，当整个测试设备的温度发生变化，并且设备的热容量很大时，可能需要很长的时间才能达到期望的测试温度。另外，有时在升高的温度(例如，70℃)处测试光电装置。由于整个测试设备必须加热到升高的温度，目标也加热到升高的温度。这可以引发多个问题。例如，由于单个目标可用来评估多个光电模块(例如，10s、100s，或甚至1000s)，目标可由于反复测试而表现出尺寸变化，使得所捕集的测试数据不准确。另外，测试目标可在测试过程中(即，在升高的温度处)经历尺寸变化。另外，测试目标可发生化学变化(例如，表面可氧化)，从而产生虚假结果。
技术实现思路
本公开描述了用于在多个不同温度处测试光电装置的设备，在一些情况下，所述设备克服了前述难题。本公开还描述了用于操作所述设备的方法。设备可有利于在多个不同温度处快速测量光学性能。此外，测试目标可表现出劣化现象减少，从而减少或最小化收集虚假测量数据。在第一方面，用于在多个不同温度处测试光电装置的设备包括光电装置台，和设置在光电装置台内的空腔。空腔可被配置来容纳光电装置，使得光电装置嵌入空腔内。设备还包括电接触件。电接触件可至少部分地定位在光电装置台内并可操作来以电的方式接触光电装置。电接触件可操作来在光电装置与测试控制器之间传输测试命令和测试数据。设备还包括温度感测装置。温度感测装置可定位在光电装置台内并定位在空腔和光电装置近侧。温度感测装置可操作来向热控制器传输温度感测数据。设备还包括固定地连接到光电装置台和基座的至少一个可致动机械连接器。一个或多个可致动机械连接器可操作来使基座和光电装置台进行热连通和机械连通。设备还包括安装在基座近侧并可与基座进行热连通的热调节装置。热调节装置可操作来根据从热控制器传输的温度调节数据与基座交换热能。设备还包括安装在光电装置台近侧的目标台。目标台可操作来以机械的方式接触光电装置。设备还包括安装在目标台内并与光电装置对齐的目标。在一些实现方式中，用于在不同温度处测试光电装置的设备包括与光电装置进行热连通的光电装置台。在一些实现方式中，热调节装置为热电装置。在一些实现方式中，热调节装置为热加热元件。在一些实现方式中，温度感测装置为热电偶。在一些实现方式中，温度感测装置为热敏电阻。在一些情况下，用于在不同温度处测试光电装置的设备包括安装到热调节装置的充流热调节装置，所述充流热调节装置与热调节装置进行热连通。在一些情况下，用于在不同温度处测试光电装置的设备包括安装到热调节装置的散热器，所述散热器与热调节装置进行热连通。在一些实现方式中，散热器至少部分地由铝构成。在一些实现方式中，散热器至少部分地由铜构成。在一些实现方式中，可致动机械连接器为弹簧。在一些实现方式中，电接触件为弹簧加载销。在一些实现方式中，覆盖玻璃安装在目标台内并与光电装置对齐。在一些实现方式中，用于在不同温度处测试光电装置的设备包括被安装形成围绕光电装置和目标的气密性密封的目标台和光电装置台。在一些实现方式中，用于在不同温度处测试光电装置的设备包括可操作来在空腔与空腔外部的区域之间传导气体的通道。其他方面、特征和优点将由以下详细描述、附图和权利要求而显而易见。附图说明图1A描绘了用于在不同温度处测试一个光电装置的处于打开位置的设备的一个示例。图1B描绘了图1A中处于闭合位置的图1A所描绘的设备。图2描绘了用于在不同温度处测试一个光电装置的设备的另一个示例。图3描绘了用于在不同温度处测试一个光电装置的设备的再一个示例。图4描绘了用于在不同温度处测试一个光电装置的设备的又一个示例。图5A描绘了用于在不同温度处测试多个光电装置的设备的一个示例。图5B描绘了用于在不同温度处测试多个光电装置的设备的另一个示例。具体实施方式用于在多个不同温度处测试光电装置的示例性设备100在图1A中被描绘成处于打开位置。设备100包括光电装置101。光电装置101包括光电装置台102和设置在光电装置台102内的空腔104。空腔104被配置来容纳光电装置101，使得光电装置101嵌入空腔104内。设备100还包括多个电接触件106。电接触件106可至少部分地定位在光电装置台102内并可操作来以电的方式接触光电装置101。电接触件106可操作来在光电装置与测试控制器之间传输测试命令和测试数据。例如，电接触件106可以是弹簧加载销(弹簧销)，或其他可调节电接触件。设备100还包括温度感测装置108。温度感测装置108可定位在光电装置台102内并定位在空腔104和光电装置101近侧。温度感测装置108可操作来向诸如比例积分微分(PID)控制器的热控制器传输温度感测数据。例如，温度感测装置108可以是热电偶或热敏电阻。设备100还包括至少一个可致动机械连接器110。至少一个可致动机械连接器110固定地连接到光电装置台102和基座112。至少一个可致动机械连接器110可操作来使基座112和光电装置台102进行热连通和机械连通。在一些情况下，至少一个可致动机械连接器110为弹簧。设备100还包括安装在基座112近侧并可与基座112进行热连通的热调节装置114。热调节装置114可操作来根据从热控制器传输的温度调节数据与基座交换热能。例如，热调节装置114可以是热电装置或热加热元件。设备100还包括安装到热调节装置114的散热器115。散热器115与热调节装置114进行热连通。例如，散热器115可至少部分地由铜或铝构成。在一些情况下，散热器115至少部分地由高热容量材料和/或有高热导率的材料构成。设备100还包括安装在光电装置台102近侧的目标台116。目标台116可操作来以机械的方式接触光电装置101。设备100还包括安装在目标台116内并如图1A所示如对齐箭头Al所指出的与光电装置101对齐的目标118。例如，目标可以是灰卡。图1B描绘了用于在不同温度处测试光电装置的处于闭合位置的设备100。设备100被示出为进行热连通和机械连通的主要部件。图2描绘了用于在多个不同温度处测试光电装置的设备的另一个示例。设备200包括光电装置201。光电装置201包括光电装置台202和设置在光电装置台202内的空腔204。空腔204被配置来容纳光电装置201，使得光电装置201嵌入空腔204内。设备200还包括电接触件206。电接触件206至少部分地定位在光电装置台202内并可操作来以电的方式接触光电装置201。电接触件206可操作来在光电装置与测试控制器之间传输测试命令和测试数据。例如，电接触件206可以是弹簧加载销(弹簧销)，或其他可调节电接触件。设备200还包括温度感测装置208。温度感测装置108定位在光电装置台202内并定位在空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于在多个不同温度处测试光电装置的设备，所述设备包括：光电装置台；空腔，所述空腔设置在所述光电装置台内，所述空腔被配置来容纳所述光电装置，使得所述光电装置嵌入所述空腔内；多个电接触件，所述多个电接触件至少部分地定位在所述光电装置台内并能够操作来以电的方式接触所述光电装置，其中所述多个电接触件能够操作来在所述光电装置与测试控制器之间传输测试命令和测试数据；温度感测装置，所述温度感测装置定位在所述台内并定位在所述空腔和所述光电装置近侧，其中所述温度感测装置能够操作来向热控制器传输温度感测数据；至少一个可致动机械连接器，所述至少一个可致动机械连接器固定地连接到所述光电装置台和基座，所述至少一个可致动机械连接器能够操作来使所述基座和所述光电装置台进行热连通和机械连通；热调节装置，所述热调节装置安装在所述基座近侧并与所述基座进行热连通，所述热调节装置能够操作来根据从所述热控制器传输的温度调节数据与所述基座交换热能；目标台，所述目标台安装在所述光电装置台近侧并能够操作来以机械的方式接触所述光电装置；以及目标，所述目标安装在所述目标台内并与所述光电装置对齐。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.01.13 US 62/445,8421.一种用于在多个不同温度处测试光电装置的设备，所述设备包括：光电装置台；空腔，所述空腔设置在所述光电装置台内，所述空腔被配置来容纳所述光电装置，使得所述光电装置嵌入所述空腔内；多个电接触件，所述多个电接触件至少部分地定位在所述光电装置台内并能够操作来以电的方式接触所述光电装置，其中所述多个电接触件能够操作来在所述光电装置与测试控制器之间传输测试命令和测试数据；温度感测装置，所述温度感测装置定位在所述台内并定位在所述空腔和所述光电装置近侧，其中所述温度感测装置能够操作来向热控制器传输温度感测数据；至少一个可致动机械连接器，所述至少一个可致动机械连接器固定地连接到所述光电装置台和基座，所述至少一个可致动机械连接器能够操作来使所述基座和所述光电装置台进行热连通和机械连通；热调节装置，所述热调节装置安装在所述基座近侧并与所述基座进行热连通，所述热调节装置能够操作来根据从所述热控制器传输的温度调节数据与所述基座交换热能；目标台，所述目标台安装在所述光电装置台近侧并能够操作来以机械的方式接触所述光电装置；以及目标，所述目标安装在所述目标台内并与所述光电装置对齐。2.如权利要求1所述的设备，其中所述光电装置台与所述光电装置进行热连通。3.如权利要求1所述的设备，其中所述热调节装置为热电装置。4.如权利要求1所述的设备，其中所述热调节装置为热加热元件。5.如权利要求1所述的设备，其中所述温度感测装置为热电偶。6.如权利要求1所述的设备，其中所述温度感测装置为热敏电阻。7.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：珍妮斯·盖格，叶英·盛，凯文·豪瑟，
申请(专利权)人：赫普塔冈微光有限公司，
类型：发明
国别省市：新加坡,SG