振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体制造技术

本发明专利技术提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，减少了与激励电极连接的引出电极的损伤。振动元件具有：第1电极，其配设在基板的正反面中的一个主面的振动部上；以及第2电极，其配设在另一个主面的振动部上，在俯视观察所述基板时，所述基板的外形包含第1侧面和第2侧面，该第1侧面和第2侧面在沿着振动方向的第1方向上延伸，并且在与第1方向交叉的第2方向上排列，将两个主面连接起来，第1侧面和第2侧面具有相对于基板的主面倾斜的倾斜面，第1电极具有配设在第1侧面的倾斜面上的第1引出电极，第2电极具有配设在第2侧面的倾斜面上的第2引出电极，倾斜面与主面所成的角度为52度以上且62度以下。

Vibration elements, oscillators, oscillators, electronic devices and mobile devices

【技术实现步骤摘要】
振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体
本专利技术涉及振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。
技术介绍
例如，公知有将振动元件容纳于封装的振动器件，该振动器件利用石英等压电体的压电效应产生所谓的厚度剪切振动，厚度剪切振动是指使振动元件的正反主面以彼此朝相反方向偏移的方式振动。这样的振动元件公知有如下内容：由于以正反主面偏移的方式进行振动，因此当将用于激励的激励电极以外的布线(例如，连结在激励电极与外部连接端子之间的引出电极等)设置在主面的靠近振动区域且振动封闭得不充分的部分时，会成为阻碍振动的主要原因，振动特性下降(例如Q值下降等)。特别是随着振动元件被小型化，其影响也变得显著，例如在专利文献1中记载了如下结构的振动元件：将引出电极设置在与正反主面大致垂直连接的侧面，经由配设于该侧面的引出电极将主面的激励电极与外部连接端子连接起来。专利文献1：日本特开2014-192712号公报但是，在专利文献1所记载的振动元件中，供引出电极设置的侧面与正反主面大致垂直地设置，所以因主面与侧面交叉的角部较尖使得通过该角部的引出电极有可能受损，引出电极有可能产生断线。
技术实现思路
本专利技术的振动元件的一个方式具有：基板，其具有将厚度剪切振动作为主振动进行激励的振动部；第1电极，其配设在位于所述基板的正反面的两个主面中的一个所述主面的所述振动部上；以及第2电极，其配设在另一个所述主面的所述振动部上，在俯视观察所述基板时，所述基板的外形具有第1侧面和第2侧面，该第1侧面和第2侧面在沿着所述厚度剪切振动的方向的第1方向上延伸，并且在与所述第1方向交叉的第2方向上排列，该第1侧面和第2侧面将所述两个主面连接起来，所述第1侧面和所述第2侧面具有相对于所述基板的主面倾斜的倾斜面，在所述第1侧面的所述倾斜面上配设有与所述第1电极连接的第1引出电极，在所述第2侧面的所述倾斜面上配设有与所述第2电极连接的第2引出电极，所述倾斜面与所述主面所成的角度为52度以上且62度以下。在上述振动元件的一个方式中，也可以为，所述第1引出电极具有从所述第1电极朝向所述倾斜面配设的第1部分和配设在所述倾斜面上的第2部分，所述第2部分具有如下的关系：在将配设在所述主面上的部分的宽度设为w1，将配设在所述倾斜面上的部分的宽度设为w2时，w2>w1。在上述振动元件的一个方式中，也可以为，所述第2引出电极具有从所述第2电极朝向所述倾斜面配设的第1部分和配设在所述倾斜面上的第2部分，所述第2部分具有如下的关系：在将配设在所述主面上的部分的宽度设为w3，将配设在所述倾斜面上的部分的宽度设为w4时，w4>w3。在上述振动元件的一个方式中，所述第1引出电极的第2部分和所述第2引出电极的第2部分也可以仅配设在所述倾斜面上。本专利技术的振子的一个方式也可以具有：上述任意的振动元件；封装，其具有凹部，在该凹部中容纳有所述振动元件；以及盖体，其对所述凹部进行密封。本专利技术的振荡器的一个方式也可以具有：上述任意的振动元件；电路元件，其包含对所述振动元件进行驱动的电路；封装，其具有凹部，在该凹部中容纳有所述振动元件和所述电路元件；以及盖体，其对所述凹部进行密封。本专利技术的电子设备的一个方式也可以具有：上述任意的振动元件；以及控制部，其根据所述振动元件的振动信号进行控制。本专利技术的移动体的一个方式也可以具有：上述任意的振动元件；以及控制部，其根据所述振动元件的振动信号进行控制。附图说明图1是示出第1实施方式的振动元件的概略的立体图。图2是示出第1实施方式的振动元件的概略的图1的A-A剖视图。图3的(a)和(b)是示出作为比较例的以往的振动元件的激励强度的说明图。图4的(a)和(b)是示出第1实施方式的振动元件的激励强度的说明图。图5是示出第2实施方式的振动元件的概略的立体图。图6是示出第2实施方式的振动元件的概略的图5的B-B剖视图。图7是第2实施方式的振动元件的从与图5相反的一侧的反面侧观察时的立体图。图8是示出第3实施方式的振动元件的概略的立体图。图9是示出第3实施方式的振动元件的概略的图8的C-C剖视图。图10是示出振子的概略的剖视图。图11是示出振荡器的概略的剖视图。图12是示意性地示出作为电子设备的一例的移动型的个人计算机的结构的立体图。图13是示意性地示出作为电子设备的一例的智能手机(移动电话)的结构的立体图。图14是示出作为电子设备的一例的数字静态照相机的结构的立体图。图15是示出作为移动体的一例的汽车的结构的立体图。标号说明10、10a、10b：振动元件；11、11b：基板；12、13：主面；14：第1侧面；15：第2侧面；16：第1电极；17：第2电极；18：外部连接电极；20、21：倾斜面；24：第1部分；25：第2部分；26：第1引出电极；27：第1部分；28：第2部分；29：第2引出电极；30、31：凸状部；35：外部连接电极；50：振子；55：封装；58：盖；80：振荡器；85：封装；88：盖；90：电路元件；1100：个人计算机；1200：智能手机；1300：数字静态照相机；1500：汽车。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体的优选的实施方式进行说明。[振动元件]<振动元件的第1实施方式>参照图1、图2、图3以及图4对第1实施方式的振动元件进行说明。图1和图2示出了本专利技术的第1实施方式的振动元件的概略，图1是立体图，图2是图1的A-A剖视图。图3是示出作为比较例的以往的振动元件的激励强度的说明图。图4是示出第1实施方式的振动元件的激励强度的说明图。在第1实施方式的振动元件10使用由作为压电材料的一例的石英形成的AT切割石英基板(压电基板)。虽然未图示，但石英等压电材料属于三方晶系，具有互相垂直的晶轴X、Y、Z。X轴、Y轴、Z轴分别被称为电轴、机械轴、光学轴。并且，石英基板使用了沿着使XZ面绕X轴旋转规定的角度θ后的平面从石英切出的平板。例如，在AT切割石英基板的情况下，θ大致为35°15′。另外，使Y轴和Z轴也绕着X轴旋转θ而分别设为Y’轴和Z’轴。因此，AT切割石英基板具有相垂直的晶轴X、Y’、Z’。AT切割石英基板的厚度方向是Y’轴，与Y’轴垂直的XZ’面(包含X轴和Z’轴的面)是主面，将厚度剪切振动作为主振动而沿着X轴方向在图1所示的箭头f的方向上进行激励。通过对该AT切割石英基板进行加工，能够获得作为振动元件10的原板的压电基板。即，作为振动元件10的原板的压电基板由AT切割石英基板构成，该AT切割石英基板以由X轴(电轴)、Y轴(机械轴)、Z轴(光学轴)构成的垂直坐标系中的X轴为中心，将使Z轴向Y轴的-Y方向倾斜后的轴设为Z’轴，将使Y轴向Z轴的+Z方向倾斜后的轴设为Y’轴，该AT切割石英基板由与X轴和Z’轴平行的面构成，将与Y’轴平行的方向设为厚度方向。另外，在以下所参照的附图中，为了方便说明，将Y’轴称为Y轴，将Z’轴称为Z轴。并且，将沿着厚度剪切振动的方向的X轴方向设为第1方向，将与第1方向交叉的Z轴方向设为第2方向。本实施方式的振动元件10使用压电基板作为基板11，该压电基板由作为压电材料的一例的上述石英形成为在从Y轴方向俯视观察时具有沿着X轴方向(第1方向)的长边和沿本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件具有：基板，其具有将厚度剪切振动作为主振动进行激励的振动部；第1电极，其配设在位于所述基板的正反面的两个主面中的一个所述主面的所述振动部上；以及第2电极，其配设在另一个所述主面的所述振动部上，在俯视观察所述基板时，所述基板的外形包含第1侧面和第2侧面，该第1侧面和第2侧面在沿着所述厚度剪切振动的方向的第1方向上延伸，并且在与所述第1方向交叉的第2方向上排列，该第1侧面和第2侧面将所述两个主面连接起来，所述第1侧面和所述第2侧面具有相对于所述基板的主面倾斜的倾斜面，在所述第1侧面的所述倾斜面上配设有与所述第1电极连接的第1引出电极，在所述第2侧面的所述倾斜面上配设有与所述第2电极连接的第2引出电极，所述倾斜面与所述主面所成的角度为52度以上且62度以下。

【技术特征摘要】
2018.02.20 JP 2018-0276341.一种振动元件，其特征在于，该振动元件具有：基板，其具有将厚度剪切振动作为主振动进行激励的振动部；第1电极，其配设在位于所述基板的正反面的两个主面中的一个所述主面的所述振动部上；以及第2电极，其配设在另一个所述主面的所述振动部上，在俯视观察所述基板时，所述基板的外形包含第1侧面和第2侧面，该第1侧面和第2侧面在沿着所述厚度剪切振动的方向的第1方向上延伸，并且在与所述第1方向交叉的第2方向上排列，该第1侧面和第2侧面将所述两个主面连接起来，所述第1侧面和所述第2侧面具有相对于所述基板的主面倾斜的倾斜面，在所述第1侧面的所述倾斜面上配设有与所述第1电极连接的第1引出电极，在所述第2侧面的所述倾斜面上配设有与所述第2电极连接的第2引出电极，所述倾斜面与所述主面所成的角度为52度以上且62度以下。2.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，所述第1引出电极具有从所述第1电极朝向所述第1侧面的所述倾斜面配设的第1部分和配设在所述第1侧面的所述倾斜面上的第2部分，所述第1引出电极的所述第2部分具有如下的关系：在将配设在一个所述主面上的部分的宽度设为w1，将配设在所述第1侧面的所述倾斜面上的部分的宽度设为w2时，w2>w1。3.根据权利要求2所述的振动元件，其特征在于，所述第2引出电极具有从所述第2电极朝向所述第2侧面的所述倾斜面配设的第1部分和配设在所述第2侧面的所述倾斜面上的第2部分，所述第2引出电极的所述第2部分...

【专利技术属性】
技术研发人员：松尾敦司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP