一种超精密高效硅片双面研磨加工设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳和研磨盘，所述研磨盘固定连接在机壳表面，所述研磨盘一侧设有电动液压杆和吸尘罩，所述机壳内侧壁通过滑轨滑扣连接集尘箱，且集尘箱侧壁焊接拉手，所述集尘箱内部分别设有抽风机、活性炭过滤网和水液，所述机壳内部底端分别设有细沙层和陶瓷硅胶板，所述机壳内侧壁转动连接散热扇，且机壳表面粘接有凸点胶垫。本实用新型专利技术设计新颖，结构简单，便于操作且使用效果好，通过设有吸尘罩和集尘箱，便于在生产过程中定向吸除研磨粉尘，更加环保，通过电动液压杆推动吸尘罩，自动清洁研磨盘表面残留的粉尘，省时省力，适合被广泛推广和使用。

A Ultra-precision and High Efficiency Double-sided Grinding Machine for Silicon Wafers

【技术实现步骤摘要】
一种超精密高效硅片双面研磨加工设备
本技术涉及一种研磨加工设备，特别涉及一种超精密高效硅片双面研磨加工设备。
技术介绍
地壳中含量达25.8%的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。硅片的结构组成是硅元素。现有的超精密高效硅片双面研磨加工设备在工作的过程中，产生大量的研磨粉尘，严重污染环境，工作完成之后，研磨盘表面残留的大量粉尘不便于清洁，费时费力。为此，我们提出一种超精密高效硅片双面研磨加工设备。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，设计新颖，结构简单，便于操作且使用效果好，通过设有吸尘罩和集尘箱，便于在生产过程中定向吸除研磨粉尘，更加环保，通过电动液压杆推动吸尘罩，自动清洁研磨盘表面残留的粉尘，省时省力，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳和研磨盘，所述研磨盘固定连接在机壳表面，所述研磨盘一侧设有电动液压杆和吸尘罩，所述机壳内侧壁通过滑轨本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳（1）和研磨盘（8），所述研磨盘（8）固定连接在机壳（1）表面，其特征在于：所述研磨盘（8）一侧设有电动液压杆（11）和吸尘罩（9），所述机壳（1）内侧壁通过滑轨（4）滑扣连接集尘箱（5），且集尘箱（5）侧壁焊接拉手（15），所述集尘箱（5）内部分别设有抽风机（10）、活性炭过滤网（19）和水液（17），所述机壳（1）内部底端分别设有细沙层（2）和陶瓷硅胶板（3），所述机壳（1）内侧壁转动连接散热扇（14），且机壳（1）表面粘接有凸点胶垫（7）。

【技术特征摘要】
1.一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳（1）和研磨盘（8），所述研磨盘（8）固定连接在机壳（1）表面，其特征在于：所述研磨盘（8）一侧设有电动液压杆（11）和吸尘罩（9），所述机壳（1）内侧壁通过滑轨（4）滑扣连接集尘箱（5），且集尘箱（5）侧壁焊接拉手（15），所述集尘箱（5）内部分别设有抽风机（10）、活性炭过滤网（19）和水液（17），所述机壳（1）内部底端分别设有细沙层（2）和陶瓷硅胶板（3），所述机壳（1）内侧壁转动连接散热扇（14），且机壳（1）表面粘接有凸点胶垫（7）。2.根据权利要求1所述的一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，其特征在于：所述电动液压杆（11...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴忠，苏静洪，吴张琪，张王锋，朱勤超，
申请(专利权)人：天通日进精密技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33