压力传感器制造技术

本实用新型专利技术提供一种压力传感器。压力传感器具有：传感器元件(5)；搭载有传感器元件(5)并由金属材料构成的传感器支承部件(4)；贯通传感器支承部件(4)的端子(6)；以及安装于传感器支承部件(4)并由非金属材料构成的壳体(9)，传感器支承部件(4)以及壳体(9)具有阻止传感器支承部件(4)与壳体(9)相互远离的阻止部(20)。

Pressure transducer

【技术实现步骤摘要】
压力传感器
本技术涉及压力传感器。
技术介绍
以往，已知有检测液体、气体等流体的压力的压力传感器。例如，在日本特开2016-45172号公报中所记载的压力传感器具备半导体压力检测元件、基座、与基座相对配置的承接部件以及被夹持在基座与承接部件之间的隔板，这些被容纳在罩内。在此，在基座与隔板之间形成有封入油的受压空间。半导体压力检测元件以配置于受压空间内的状态设置于基座。基座、承接部件以及隔板分别由金属制成。罩由不锈钢等金属制成，通过激光焊接而与承接部件的外周部接合。在罩的内部填充有环氧系或聚氨酯系树脂。在日本特开2016-45172号公报所记载的压力传感器中，由于罩是由不锈钢等金属制成，因此很难实现轻量化。因此，可以考虑由树脂等非金属制成罩，但是在该文献所记载的压力传感器中，在由非金属制成罩的情况下，罩只通过由填充于罩内的树脂产生的粘接力而固定于基座。在这样的情况下，当该粘接力下降时，则罩与罩内的树脂以及元件等一同从基座脱落，有可能发生故障。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能够以较高的可靠性相互固定由金属制成的传感器支承部件与由非金属制成的罩的压力传感器。本申请的例示性的技术的压力传感器具有：传感器元件，所述传感器元件输出与流体的压力对应的信号；传感器支承部件，所述传感器支承部件具有一侧的第1主面和与该第1主面相对的另一侧的第2主面，在所述第1主面搭载有所述传感器元件，该传感器支承部件由金属材料构成；端子，所述端子与所述传感器元件电连接，并从所述一侧向所述另一侧贯通了所述传感器支承部件；以及壳体，所述壳体覆盖所述传感器支承部件的所述第2主面，并且安装于所述传感器支承部件，该壳体由非金属材料构成，所述传感器支承部件以及所述壳体具有阻止所述传感器支承部件与所述壳体相互远离的阻止部。在上述实施方式中，所述壳体在与所述传感器支承部件接触的所述一侧的周缘具有向径向外侧突出的至少1个第1突出部，所述传感器支承部件具有：搭载有所述传感器元件的主体部；以及从所述主体部的外周部向径向外侧突出并固定了所述第1突出部的至少1个第2突出部，所述阻止部具有所述第1突出部以及所述第2突出部。在上述实施方式中，所述壳体在与所述传感器支承部件接触的所述一侧的周缘具有向径向外侧突出的凸缘部，所述传感器支承部件具有：搭载有所述传感器元件的主体部；以及从所述主体部的外周部向径向外侧突出并固定了所述凸缘部的至少1个突出部，所述阻止部具有所述凸缘部以及所述突出部。在上述实施方式中，所述突出部在厚度方向上夹持所述凸缘部而凿紧固定所述凸缘部。在上述实施方式中，所述至少1个突出部包含沿所述凸缘部的周向排列的多个所述突出部。在上述实施方式中，所述至少1个突出部包含沿所述凸缘部的周向排列的多个所述突出部。在上述实施方式中，所述凸缘部具有容纳所述突出部的至少一部分的缺口部。在上述实施方式中，所述凸缘部设置于所述壳体的所述一侧的端部。在上述实施方式中，所述突出部的厚度比所述主体部的厚度薄。在上述实施方式中，所述突出部配置于所述主体部的偏向所述另一侧的位置处。在上述实施方式中，所述阻止部具有爪部，所述爪部设置于所述壳体并与所述传感器支承部件的所述第1主面接触。在上述实施方式中，所述阻止部具有爪部，所述爪部设置于所述壳体并与所述传感器支承部件的所述第1主面接触。在上述实施方式中，所述非金属材料是树脂材料。在上述实施方式中，所述传感器支承部件与所述壳体借助粘接剂接合。在上述实施方式中，所述压力传感器具有安装部件，所述安装部件相对于所述传感器支承部件配置在所述一侧，该安装部件具备向所述传感器元件引导所述流体的流路，并装卸自如地安装于被安装体。在上述实施方式中，隔板，所述隔板配置在所述安装部件与所述传感器支承部件之间；以及压力传递介质，所述压力传递介质被容纳于在所述隔板与所述传感器支承部件之间形成的空间内，并将施加于所述隔板的所述流体的压力传递到所述传感器元件。在上述实施方式中，所述被安装体是车载用控制阀。在上述实施方式中，所述被安装体是车载用控制阀。根据本申请的例示性的技术，由于传感器支承部件以及壳体具有阻止传感器支承部件与壳体相互远离的阻止部，因此能够以较高的可靠性相互固定由金属制成的传感器支承部件与由非金属制成的罩。由以下的本技术优选实施方式的详细说明，参照附图，可以更清楚地理解本技术的上述及其他特征、要素、步骤、特点和优点。附图说明图1是示出本技术的第1实施方式所涉及的压力传感器的概略结构的纵剖视图(沿轴线ax剖切的图)。图2是示出传感器支承部件以及壳体的纵剖视图(局部放大图1的图)。图3是示意性地示出传感器支承部件与壳体的固定状态的纵剖视图。图4是示意性地示出传感器支承部件与壳体的固定状态的俯视图。图5是示意性地示出固定于壳体之前的传感器支承部件的纵剖视图。图6是示意性地示出固定于壳体之前的传感器支承部件的其他例的纵剖视图。图7是示意性地示出本技术的第2实施方式所涉及的压力传感器所具备的传感器支承部件与壳体的固定状态的俯视图(从沿轴线ax的方向观察的图)。图8是示意性地示出本技术的第3实施方式所涉及的压力传感器所具备的传感器支承部件与壳体的固定状态的纵剖视图(沿轴线ax剖切的图)。具体实施方式以下，根据附图所示的实施方式而对本技术的压力传感器进行详细说明。＜第1实施方式＞图1是示出本技术的第1实施方式所涉及的压力传感器的概略结构的纵剖视图(沿轴线ax剖切的图)。图2是示出传感器支承部件以及壳体的纵剖视图(局部放大图1的图)。首先，根据图1以及图2对这些图所示的压力传感器1的概略进行说明。以下，为了方便说明，适当地利用图1所示的轴线ax进行说明。在此，将与轴线ax平行的方向(图1中的上下方向)称作“轴向”，将与轴线ax垂直的方向称作“径向”，将绕以轴线ax为中心的轴的方向称作“周向”。并且，在轴向上，将靠近后述的被安装体的一侧(安装部件2侧)称作“一侧”或“下侧”，将远离被安装体的一侧(与安装部件2相反的一侧)称作“另一侧”或“上侧”。另外，轴线ax是压力传感器1的中心轴线，是通过后述的传感器支承部件4的中心并且沿传感器支承部件4的厚度方向延伸的线段。并且，“上侧”以及“下侧”并不表示压力传感器1在实际安装于被安装体时的位置关系以及方向。图1所示的压力传感器1安装于未图示的被安装体来使用，是检测来自被安装体的流体的压力的传感器。在此，被安装体并无特别限定，但是例如是使用于汽车的自动变速器(AT)或无级变速器(CVT)的车载用控制阀。并且，流体(被测量流体)并无特别限定，也可以是气体以及液体中的任一个。而且，流体的种类、温度、压力等条件也并无限定，但是例如在被安装体是前述的车载用控制阀的情况下，流体是ATF(AutomaticTransmissionFluid)等油。如图1所示，压力传感器1具有：装卸自如地安装于被安装体的安装部件2；借助隔板3与安装部件2接合的传感器支承部件4；搭载于传感器支承部件4的传感器元件5；以及安装于传感器支承部件4的壳体9。安装部件2相对于传感器支承部件4配置在一侧(下侧)，并具有沿轴向贯通的贯通孔21。来自被安装体的流体从下侧导入到贯通孔21内。即，贯通孔21构成向传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器，其特征在于，具有：传感器元件，所述传感器元件输出与流体的压力对应的信号；传感器支承部件，所述传感器支承部件具有一侧的第1主面和与该第1主面相对的另一侧的第2主面，在所述第1主面搭载有所述传感器元件，并且该传感器支承部件由金属材料构成；端子，所述端子与所述传感器元件电连接，并从所述一侧向所述另一侧贯通了所述传感器支承部件；以及壳体，所述壳体覆盖所述传感器支承部件的所述第2主面，并且安装于所述传感器支承部件，该壳体由非金属材料构成，所述传感器支承部件以及所述壳体具有阻止所述传感器支承部件与所述壳体相互远离的阻止部。

【技术特征摘要】
2017.12.21 JP 2017-2448331.一种压力传感器，其特征在于，具有：传感器元件，所述传感器元件输出与流体的压力对应的信号；传感器支承部件，所述传感器支承部件具有一侧的第1主面和与该第1主面相对的另一侧的第2主面，在所述第1主面搭载有所述传感器元件，并且该传感器支承部件由金属材料构成；端子，所述端子与所述传感器元件电连接，并从所述一侧向所述另一侧贯通了所述传感器支承部件；以及壳体，所述壳体覆盖所述传感器支承部件的所述第2主面，并且安装于所述传感器支承部件，该壳体由非金属材料构成，所述传感器支承部件以及所述壳体具有阻止所述传感器支承部件与所述壳体相互远离的阻止部。2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述壳体在与所述传感器支承部件接触的所述一侧的周缘具有向径向外侧突出的至少1个第1突出部，所述传感器支承部件具有：搭载有所述传感器元件的主体部；以及从所述主体部的外周部向径向外侧突出并固定了所述第1突出部的至少1个第2突出部，所述阻止部具有所述第1突出部以及所述第2突出部。3.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述壳体在与所述传感器支承部件接触的所述一侧的周缘具有向径向外侧突出的凸缘部，所述传感器支承部件具有：搭载有所述传感器元件的主体部；以及从所述主体部的外周部向径向外侧突出并固定了所述凸缘部的至少1个突出部，所述阻止部具有所述凸缘部以及所述突出部。4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述突出部在厚度方向上夹持所述凸缘部而凿紧固定所述凸缘部。5.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述至少1个突出部包含沿所述凸缘部的周向排列的多个所述突出部。6.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：大泽朝华，中村俊晃，白井宽，
申请(专利权)人：日本电产东测有限公司，
类型：新型
国别省市：日本,JP