一种具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法技术

本发明专利技术公开了一种具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法，电池具有正面、背面及四个侧面，使用化学药液对所述电池的所述侧面进行刻蚀以去除沉积在所述电池的所述侧面的透明导电氧化薄膜。该具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法可对诸如异质结电池一类的具有透明导电氧化物薄膜的侧面进行刻蚀处理，并且不会影响到电池的正面和背面的性能，从而使该电池形成四周绝缘的隔离带。

A Chemical Etching Method for Cells with Transparent Conductive Oxidation Films

【技术实现步骤摘要】
一种具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法
本专利技术涉及电池制造
，具体涉及一种具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法。
技术介绍
在光伏太阳能行业，太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜、丝网印刷和烧结这六大工序，其中刻蚀的目的是去掉扩散到硅片四周的PN结，避免太阳能电池的正面和背面发生短路，而异质结电池在制作透明导电膜（TCO）时也需要对导电膜边缘进行绝缘处理，即一次性将透明导电膜层、非晶硅膜层等，刻划至完全透明状，形成四周绝缘的隔离带。现有技术中针对传统太阳能电池的刻蚀方法主要有两种：其一是湿法刻蚀，其二是干法刻蚀。其中，湿法刻蚀是将硅片放置在刻蚀酸槽的旋转滚轮上，控制刻蚀酸液的液位，使药液只浸润硅片的侧面和背面，滚轮带动硅片通过刻蚀酸槽，完成硅片侧边PN结和背面PN结的刻蚀，防止电池短路。由于异质结电池的透明导电层为陶瓷材料，是通过化学或者物理沉积的方法制备而成，在对TCO层进行绝缘时只需要对电池的侧边进行处理，且刻蚀的线条要求很细，一般为十几微米的宽度。因而现有的湿法刻蚀的工艺并不适用于异质结电池透明导电层的刻蚀。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术中的问题，提供一种具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法。为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法，电池具有正面、背面及四个侧面，使用化学药液对所述电池的所述侧面进行刻蚀以去除沉积在所述电池的所述侧面的透明导电氧化薄膜。优选地，将所述电池立式放置于所述化学药液中，使所述电池的一个所述侧面的部分或全部浸没在所述化学药液中。进一步地，所述电池浸没于所述化学药液中的所述侧面与所述化学药液的液面相平行。进一步地，所述电池浸没于所述化学药液中的所述侧面与所述化学药液的液面之间形成一夹角。进一步地，所述电池立式放置于刻蚀盒中，所述刻蚀盒中并排间隔放置有多片所述电池，所述化学药液盛放于刻蚀槽中，所述刻蚀盒位于所述刻蚀槽中。更进一步地，所述刻蚀盒和/或所述刻蚀槽能够上下升降地设置。更进一步地，所述电池通过支撑装置立式放置于所述刻蚀盒中，所述电池的四个所述侧面裸露在所述支撑装置的外部。进一步地，所述电池的一个所述侧面刻蚀完成后将所述电池翻转进行下一所述侧面的刻蚀。优选地，使所述电池水平放置，并使所述电池的所述侧面与浸有所述化学药液的物体相接触，以通过所述化学药液对所述侧面进行刻蚀。进一步地，所述电池通过传送机构传送，浸有所述化学药液的所述物体分别设置在所述传送机构的相对两侧，所述电池与传送方向相平行的两个侧面同时与浸有所述化学药液的所述物体相接触，以通过所述化学药液同时对两个所述侧面进行刻蚀。更进一步地，所述电池的两个所述侧面刻蚀完成后将所述电池翻转进行另外两个所述侧面的刻蚀。进一步地，浸有所述化学药液的所述物体分别设置在所述电池的四侧，所述电池的四个所述侧面同时与位于其一侧的浸有所述化学药液的所述物体相接触，以通过所述化学药液同时对四个所述侧面进行刻蚀。更进一步地，浸有所述化学药液的所述物体均能够滑动地设置在所述电池的一侧，当对所述电池进行刻蚀处理时，浸有所述化学药液的所述物体滑动以靠近所述电池，刻蚀处理完成后，浸有所述化学药液的所述物体滑动以远离所述电池。优选地，所述化学药液为碱溶液。优选地，透明导电氧化薄膜包括ITO、IWO、ItiO、IMO、InbO、IgdO、IZO、IzrO、AZO、BZO、GZO和FTO中的至少一种。由于上述技术方案的运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点：采用本专利技术的具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法可对诸如异质结电池一类的具有透明导电氧化物薄膜的侧面进行刻蚀处理，并且不会影响到电池的正面和背面的性能，从而使该电池形成四周绝缘的隔离带。附图说明附图1为本专利技术的具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法的结构示意图（实施例1）；附图2为附图1的侧视图（实施例1）；附图3为本专利技术的具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法的结构示意图（实施例2）；附图4为本专利技术的具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法的结构示意图（实施例3）；附图5为附图4的俯视图（实施例3）。具体实施方式下面对本专利技术的技术方案作进一步的阐述。本专利技术的具有透明导电氧化物薄膜的电池10（以下简称电池）其正面和背面均通过RPD或者PVD方法沉积有透明导电氧化物薄膜，此处的透明导电氧化薄膜包括ITO、IWO、ItiO、IMO、InbO、IgdO、IZO、IzrO、AZO、BZO、GZO和FTO中的至少一种。在沉积透明导电氧化薄膜过程中，电池10的四个侧面均会不同程度的沉积有透明导电氧化薄膜，从而会影响电池10的性能，如异质结电池，因此需要去除电池10四个侧面的透明导电氧化薄膜，以使得电池10形成四周绝缘的隔离带。本专利技术去除电池10的四个侧面的透明导电氧化薄膜主要采用化学刻蚀的方法，即使用化学药液20对电池10的侧面进行刻蚀以去除沉积在电池10的侧面的透明导电氧化薄膜，在去除沉积在电池10的侧面的透明导电氧化薄膜时不能对电池10的正面和背面的性能造成影响，其具体包括如下几种处理方法：实施例1如图1和图2所示，将电池10立式放置于化学药液20中，使电池10的一个侧面的部分或全部浸没在化学药液20中，从而通过化学药液20对这个侧面沉积的透明导电氧化薄膜进行刻蚀。该实施例中，当电池10立式放置于化学药液20中时，电池10浸没于化学药液20中的侧面可与化学药液20的液面相平行，即该侧面全部浸没在化学药液20中，此时，可对这整个侧面进行化学刻蚀。或者，也可以使电池10浸没于化学药液20中的侧面与化学药液20的液面之间形成一夹角，但需保证该侧面的一端浸没在化学药液20中，即电池10的侧面部分浸没在化学药液20中。采用本实施中的方法对电池10的侧面进行刻蚀时，电池10立式放置于刻蚀盒1中。刻蚀盒1中可并排间隔放置有多片电池10，这样，可同时对多片电池10进行刻蚀处理，可提高效率。相邻两片电池10之间的间隔距离需要保证这两片电池10之间不会产生虹吸现象。化学药液20盛放于刻蚀槽2中，刻蚀盒1放置于刻蚀槽2中。进行刻蚀时，可使刻蚀盒1在刻蚀槽2中上下升降，以使得化学药液20能够浸没电池10的一个侧面，也可以使化学药液20的液面上升，从而使化学药液20能够浸没电池10的一个侧面，使化学药液20的液面上升可通过使刻蚀槽2上升的方式实现，也可以采用在刻蚀槽2中注入化学药液20的方法实现。电池10通过支撑装置立式放置于刻蚀盒1中，电池10通过支撑装置支撑时，电池10的四个侧面需裸露在支撑装置的外部，这样，便于对电池10的四个侧面进行刻蚀。当电池10的一个侧面刻蚀完成后将电池10翻转进行下一侧面的刻蚀。在使电池10翻转时，可使整个刻蚀盒1翻转，从而带动放置在其中的电池10翻转，电池10翻转可采用机械手进行翻转，也可以人工翻转。实施例2如图3所示，使电池10水平放置，并使电池10的侧面与浸有化学药液20的物体3相接触，以通过化学药液20对该侧面进行刻蚀。该处的物体3可采用海绵一类的物体，通过液泵将化学药液20注入海绵中。具体的，电池10通过传送机构4传送，浸有化学药液20的物体3分别设置在传送机构4的相对两侧，电池10与传送方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法，电池具有正面、背面及四个侧面，其特征在于：使用化学药液对所述电池的所述侧面进行刻蚀以去除沉积在所述电池的所述侧面的透明导电氧化薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法，电池具有正面、背面及四个侧面，其特征在于：使用化学药液对所述电池的所述侧面进行刻蚀以去除沉积在所述电池的所述侧面的透明导电氧化薄膜。2.根据权利要求1所述的具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法，其特征在于：将所述电池立式放置于所述化学药液中，使所述电池的一个所述侧面的部分或全部浸没在所述化学药液中。3.根据权利要求2所述的具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法，其特征在于：所述电池浸没于所述化学药液中的所述侧面与所述化学药液的液面相平行。4.根据权利要求2所述的具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法，其特征在于：所述电池浸没于所述化学药液中的所述侧面与所述化学药液的液面之间形成一夹角。5.根据权利要求2所述的具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法，其特征在于：所述电池立式放置于刻蚀盒中，所述刻蚀盒中并排间隔放置有多片所述电池，所述化学药液盛放于刻蚀槽中，所述刻蚀盒位于所述刻蚀槽中。6.根据权利要求5所述的具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法，其特征在于：所述刻蚀盒和/或所述刻蚀槽能够上下升降地设置。7.根据权利要求5所述的具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法，其特征在于：所述电池通过支撑装置立式放置于所述刻蚀盒中，所述电池的四个所述侧面裸露在所述支撑装置的外部。8.根据权利要求2所述的具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法，其特征在于：所述电池的一个所述侧面刻蚀完成后将所述电池翻转进行下一所述侧面的刻蚀。9.根据权利要求1所述的具有透明导电氧化薄膜的电池的化学刻蚀方法，其特征在于：使所述电池水平...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：苏州联诺太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32