显示基板及其制作方法、显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种显示基板及其制作方法、显示装置，属于显示技术领域。其中，所述显示基板包括位于衬底基板上的第一绝缘层，位于所述第一绝缘层远离所述衬底基板一侧的导电走线，位于所述导电走线远离所述衬底基板一侧的第二绝缘层，所述第一绝缘层朝向所述第二绝缘层一侧表面的至少部分区域为凹凸不平的。本发明专利技术的技术方案能够提高显示器件的信赖性。

Display Substrate and Its Fabrication Method and Display Device

【技术实现步骤摘要】
显示基板及其制作方法、显示装置
本专利技术涉及显示
，特别是指一种显示基板及其制作方法、显示装置。
技术介绍
现有显示器走线区的走线密度较大，影响了走线上下两侧的绝缘膜层之间的有效接触面积，易发生膜层脱落现象，影响显示器件的信赖性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种显示基板及其制作方法、显示装置，能够提高显示器件的信赖性。为解决上述技术问题，本专利技术的实施例提供技术方案如下：一方面，提供一种显示基板，所述显示基板包括位于衬底基板上的第一绝缘层，位于所述第一绝缘层远离所述衬底基板一侧的导电走线，位于所述导电走线远离所述衬底基板一侧的第二绝缘层，所述第一绝缘层朝向所述第二绝缘层一侧表面的至少部分区域为凹凸不平的。可选地，所述第一绝缘层为层间绝缘层，所述第二绝缘层为平坦层，所述导电走线为源漏金属走线。可选地，所述至少部分区域位于所述显示基板的走线区。可选地，所述第一绝缘层朝向所述第二绝缘层的一侧表面设有多个阵列排布的凹槽。可选地，所述第一绝缘层朝向所述第二绝缘层的一侧表面设有多个相互平行的条状凹槽。可选地，所述第一绝缘层包括层叠设置的第一绝缘膜层和第二绝缘膜层，所述第二绝缘膜层位于所述衬底基板和所述第一绝缘膜层之间，所述凹槽的深度不超过所述第一绝缘膜层的厚度。可选地，所述凹槽的深度等于所述第一绝缘膜层的厚度。可选地，所述凹槽的深度为所述第一绝缘层的厚度的三分之一至二分之一。本专利技术实施例还提供了一种显示装置，包括如上所述的显示基板。本专利技术实施例还提供了一种显示基板的制作方法，包括：在衬底基板上形成表面凹凸不平的第一绝缘层；在所述第一绝缘层上形成导电走线；形成覆盖所述导电走线的第二绝缘层。可选地，所述在衬底基板上形成表面凹凸不平的第一绝缘层包括：在所述衬底基板上形成第一绝缘材料层；在所述第一绝缘材料层上涂覆光刻胶；利用半色调掩膜板对所述光刻胶进行曝光，所述半色调掩膜板包括对应所述第一绝缘层的过孔区的透光区、对应所述第一绝缘层的凹槽的部分透光区和对应所述第一绝缘层其他区域的遮光区；显影后形成光刻胶完全保留区域、光刻胶部分保留区域和光刻胶去除区域；对光刻胶去除区域的所述第一绝缘材料层进行刻蚀，形成贯穿所述第一绝缘层的过孔；去除光刻胶部分保留区域的光刻胶；对光刻胶部分保留区域的所述第一绝缘材料层进行刻蚀，形成所述第一绝缘层表面的凹槽；去除光刻胶完全保留区域的光刻胶。本专利技术的实施例具有以下有益效果：上述方案中，第一绝缘层朝向第二绝缘层一侧表面的至少部分区域为凹凸不平的，这样能够增加第一绝缘层与第二绝缘层的接触面积，进而增加第一绝缘层与第二绝缘层之间的结合力，避免发生膜层脱落现象，能够提高显示基板的信赖性。附图说明图1为相关技术中显示基板的走线区的示意图；图2为图1在AA方向上的截面示意图；图3为本专利技术一实施例显示基板的走线区的示意图；图4为图3在AA方向上的截面示意图；图5为本专利技术另一实施例显示基板的走线区的示意图；图6为图5在AA方向上的截面示意图；图7为本专利技术又一实施例显示基板的走线区的示意图；图8-图11为本专利技术实施例制作层间绝缘层的图形的示意图。具体实施方式为使本专利技术的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。显示器走线区的走线密度较大，影响了走线上下两侧的绝缘膜层之间的有效接触面积，易发生膜层脱落现象，如图1和图2所示，相关技术的显示基板中，在层间绝缘层1上设置有源漏金属走线2，源漏金属走线2远离层间绝缘层1的一侧设置有平坦层3，由于走线区的源漏金属走线2的走线密度较大，导致层间绝缘层1与平坦层3之间的有效接触面积较少，在进行显示器信赖性整机跌落测试过程中，易发生平坦层3脱落现象，导致外部空气从平坦层3脱落处进入显示器内部，产生气泡，导致显示器出现黑团不良，影响了显示器件的信赖性。本专利技术的实施例针对上述问题，提供一种显示基板及其制作方法、显示装置，能够提高显示器件的信赖性。本专利技术的实施例提供一种显示基板，所述显示基板包括位于衬底基板上的第一绝缘层，位于所述第一绝缘层远离所述衬底基板一侧的导电走线，位于所述导电走线远离所述衬底基板一侧的第二绝缘层，所述第一绝缘层朝向所述第二绝缘层一侧表面的至少部分区域为凹凸不平的。本实施例中，第一绝缘层朝向第二绝缘层一侧表面的至少部分区域为凹凸不平的，这样能够增加第一绝缘层与第二绝缘层的接触面积，进而增加第一绝缘层与第二绝缘层之间的结合力，避免发生膜层脱落现象，能够提高显示基板的信赖性。其中，可以是第一绝缘层朝向第二绝缘层一侧表面的全部区域为凹凸不平的，也可以是第一绝缘层朝向第二绝缘层一侧表面的部分区域为凹凸不平的，均可以增加第一绝缘层与第二绝缘层的接触面积，进而增加第一绝缘层与第二绝缘层之间的结合力。由于走线区的走线密度较大，易发生膜层脱落现象，因此，第一绝缘层朝向第二绝缘层一侧表面位于走线区的部分最好是凹凸不平的，即所述至少部分区域位于所述显示基板的走线区。一具体实施例中，所述第一绝缘层可以为层间绝缘层，所述第二绝缘层可以为平坦层，所述导电走线可以为源漏金属走线。当然，第一绝缘层并不局限为层间绝缘层，第二绝缘层并不绝限为平坦层，导电走线也不局限为源漏金属走线，还可以为其他膜层和其他信号线。一具体实施例中，所述第一绝缘层朝向所述第二绝缘层的一侧表面可以设有多个阵列排布的凹槽，通过多个阵列排布的凹槽使得第一绝缘层朝向第二绝缘层一侧表面为凹凸不平的。另一具体实施例中，所述第一绝缘层朝向所述第二绝缘层的一侧表面可以设有多个相互平行的条状凹槽，通过多个平行排布的条状凹槽使得第一绝缘层朝向第二绝缘层一侧表面为凹凸不平的。当然，本专利技术的技术方案并不局限于通过凹槽使得第一绝缘层朝向第二绝缘层一侧表面为凹凸不平的，还可以在第一绝缘层朝向第二绝缘层的一侧表面设置多个凸起，使得第一绝缘层朝向第二绝缘层一侧表面为凹凸不平的。另外，第一绝缘层朝向第二绝缘层一侧表面的凹槽并不必须是规则排布的，也可以是不规则排布的。一具体实施例中，所述第一绝缘层包括层叠设置的第一绝缘膜层和第二绝缘膜层，所述第二绝缘膜层位于所述衬底基板和所述第一绝缘膜层之间，由于需要通过刻蚀工艺形成凹槽，而第一绝缘膜层与第二绝缘膜层的材料不同，适用的刻蚀工艺参数不同，对第一绝缘膜层和第二绝缘膜层同时进行刻蚀不容易控制，因此，优选仅在第一绝缘膜层的范围内形成凹槽，即所述凹槽的深度不超过所述第一绝缘膜层的厚度。具体地，所述凹槽的深度可以等于所述第一绝缘膜层的厚度。凹槽的深度越大，则第一绝缘层与第二绝缘层之间的接触面积越大，但同时第一绝缘层表面的凹凸程度变大，形成在第一绝缘层上的导电走线的长度也会增加，会导致导电走线的电阻变大，因此，凹槽的深度也不宜过大，优选地，所述凹槽的深度可以为所述第一绝缘层的厚度的三分之一至二分之一，这样可以兼顾第一绝缘层与第二绝缘层之间的接触面积以及导电走线的导电性能。一具体实施例中，如图3和图4所示，第一绝缘层为层间绝缘层2，第二绝缘层为平坦层3，导电走线为源漏金属走线2，在层间绝缘层2与平坦层3接触的表面设有多个阵列排布的凹槽4，这样可以增加层间绝缘层2与平坦层3之间的接触面积，使得在进行显示器信赖性整机跌落测试过程中，平坦层3不容易脱落。另一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示基板，所述显示基板包括位于衬底基板上的第一绝缘层，位于所述第一绝缘层远离所述衬底基板一侧的导电走线，位于所述导电走线远离所述衬底基板一侧的第二绝缘层，其特征在于，所述第一绝缘层朝向所述第二绝缘层一侧表面的至少部分区域为凹凸不平的。

【技术特征摘要】
1.一种显示基板，所述显示基板包括位于衬底基板上的第一绝缘层，位于所述第一绝缘层远离所述衬底基板一侧的导电走线，位于所述导电走线远离所述衬底基板一侧的第二绝缘层，其特征在于，所述第一绝缘层朝向所述第二绝缘层一侧表面的至少部分区域为凹凸不平的。2.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述第一绝缘层为层间绝缘层，所述第二绝缘层为平坦层，所述导电走线为源漏金属走线。3.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述至少部分区域位于所述显示基板的走线区。4.根据权利要求1-3中任一项所述的显示基板，其特征在于，所述第一绝缘层朝向所述第二绝缘层的一侧表面设有多个阵列排布的凹槽；或所述第一绝缘层朝向所述第二绝缘层的一侧表面设有多个相互平行的条状凹槽。5.根据权利要求4所述的显示基板，其特征在于，所述第一绝缘层包括层叠设置的第一绝缘膜层和第二绝缘膜层，所述第二绝缘膜层位于所述衬底基板和所述第一绝缘膜层之间，所述凹槽的深度不超过所述第一绝缘膜层的厚度。6.根据权利要求5所述的显示基板，其特征在于，所述凹槽的深度等于所述第一绝缘膜层的厚度。7.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘弘，王凤国，方业周，武新国，郭志轩，李凯，田亮，马波，王海东，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11