【技术实现步骤摘要】
连续变焦激光整形系统
本技术涉及一种连续变焦激光整形系统,属于激光束整形
,适用于激光加工、显微光刻、光学信息处理以及生物医学等激光应用领域。
技术介绍
激光具有良好的单色性、方向性、相干性以及高亮度,在材料加工、激光照明、信息技术和生物医学等领域具有重要的应用价值。在激光应用领域,激光能量的非均匀分布带来诸多不良影响,因此,需要匀化激光能量。传统的激光束整形技术包括非球面透镜组、微透镜阵列、衍射光学元件以及液晶空间光调制器等,将激光束整形为能量均匀分布光束,但光束尺寸固定。激光加工、激光均匀照明等应用需要根据不同的加工尺寸或照明面积灵活调整均匀分布激光束的尺寸。现有文献如“Applyingrefractivebeamshapersincreatingspotsofuniformintensityandvariousshapes”(LaskinA,WilliamsG,DemidovichA.[J].ProceedingsofSPIE-TheInternationalSocietyforOpticalEngineering,2010,7579.)报道的解决方案 ...
【技术保护点】
1.一种连续变焦激光整形系统,其特征在于:它为透射式无焦光学系统,包括变焦整形组和补偿组,所述的变焦整形组包括固定部件和变焦整形运动部件,所述的固定部件包括平凹非球面透镜(1)和双凸非球面透镜(2),所述的变焦整形运动部件为单块负透镜或双分离透镜组,所述的补偿组为补偿运动部件;所述系统的结构为:沿光线入射方向,依次设置平凹非球面透镜(1)、双凸非球面透镜(2)、变焦整形运动部件和补偿运动部件;轴向移动变焦整形运动部件和补偿运动部件,同时实现激光束的连续变焦扩束和能量匀化。
【技术特征摘要】
1.一种连续变焦激光整形系统,其特征在于:它为透射式无焦光学系统,包括变焦整形组和补偿组,所述的变焦整形组包括固定部件和变焦整形运动部件,所述的固定部件包括平凹非球面透镜(1)和双凸非球面透镜(2),所述的变焦整形运动部件为单块负透镜或双分离透镜组,所述的补偿组为补偿运动部件;所述系统的结构为:沿光线入射方向,依次设置平凹非球面透镜(1)、双凸非球面透镜(2)、变焦整形运动部件和补偿运动部件;轴向移动变焦整形运动部件和补偿运动部件,同时实现激光束的连续变焦扩束和能量匀化。2.根据权利要求1...
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