【技术实现步骤摘要】
一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台
本技术涉及扫描电镜设备
,具体涉及一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台。
技术介绍
扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为5~35keV的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射以及其它物理信号,二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集并转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。样品就放在样品台上。为了平稳的放好样品,对样品台的要求一般较高,但现有扫描电镜上均为单纯的圆柱形结构,只适合放较为规则和平稳的样品。如果样品放置不当,会导致电子束没有完整的打在需要观察的表面,将会严重的影响观察样品本身。
技术实现思路
本技术针对现有技术中的上述不足,提供了一种能够解决现有技术中样品台不适合防止不规则结构的问题的用于观察不规则形状的扫描电镜样品台。为解决上述技术问题,本技术采用了下列技术方案:提供了一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台,其包括底座,底座上设置有夹持片,夹持片为两个相对对称并倾斜设置的金属片;底座上还设置有固定孔,固定孔为方孔,固定孔的四角分别设置有延伸槽,延伸槽与固定孔共同构成井字型结构。上述技术方案中,优选的,夹持片的中部 ...
【技术保护点】
1.一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台,其特征在于,包括底座(1),底座(1)上设置有夹持片(2),所述夹持片(2)为两个相对对称并倾斜设置的金属片;底座(1)上还设置有固定孔(3),所述固定孔(3)为方孔,固定孔(3)的四角分别设置有延伸槽(31),所述延伸槽(31)与固定孔(3)共同构成井字型结构。
【技术特征摘要】
1.一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台,其特征在于,包括底座(1),底座(1)上设置有夹持片(2),所述夹持片(2)为两个相对对称并倾斜设置的金属片;底座(1)上还设置有固定孔(3),所述固定孔(3)为方孔,固定孔(3)的四角分别设置有延伸槽(31),所述延伸槽(31)与固定孔(3)共同构成井字型结构。2.根据权利要求1所述的用于观察不规则形状的扫描电镜样品台,其特征在于,所述夹持片(2)...
【专利技术属性】
技术研发人员:马亚鑫,甘岑,黄鑫,徐成双,曾春岳,杨龙,
申请(专利权)人:成都航空职业技术学院,
类型:新型
国别省市:四川,51
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