一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台制造技术

技术编号:21812109 阅读:17 留言:0更新日期:2019-08-07 16:24
本实用新型专利技术公开了一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台,其包括底座,底座上设置有夹持片,夹持片为两个相对对称并倾斜设置的金属片;底座上还设置有固定孔,固定孔为方孔,固定孔的四角分别设置有延伸槽,延伸槽与固定孔共同构成井字型结构。本实用新型专利技术能够解决现有技术中样品台不适合防止不规则结构的问题,结构简单、可靠性强、使用寿命长。

A Scanning Electron Microscope Sample Table for Observing Irregular Shapes

【技术实现步骤摘要】
一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台
本技术涉及扫描电镜设备
,具体涉及一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台。
技术介绍
扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为5~35keV的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射以及其它物理信号,二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集并转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。样品就放在样品台上。为了平稳的放好样品,对样品台的要求一般较高,但现有扫描电镜上均为单纯的圆柱形结构,只适合放较为规则和平稳的样品。如果样品放置不当,会导致电子束没有完整的打在需要观察的表面,将会严重的影响观察样品本身。
技术实现思路
本技术针对现有技术中的上述不足,提供了一种能够解决现有技术中样品台不适合防止不规则结构的问题的用于观察不规则形状的扫描电镜样品台。为解决上述技术问题,本技术采用了下列技术方案:提供了一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台,其包括底座,底座上设置有夹持片,夹持片为两个相对对称并倾斜设置的金属片;底座上还设置有固定孔,固定孔为方孔,固定孔的四角分别设置有延伸槽,延伸槽与固定孔共同构成井字型结构。上述技术方案中,优选的,夹持片的中部通过连接弹簧与底座连接。上述技术方案中,优选的,延伸槽和固定孔的底部设置有填充垫。上述技术方案中,优选的,填充垫为橡皮泥。上述技术方案中,优选的,夹持片和固定孔均设置有至少两个。本技术提供的上述用于观察不规则形状的扫描电镜样品台的主要有益效果在于:本技术通过在底座上设置夹持片,可以利用夹持片夹持不规则形状的薄块结构,以方便观察;通过设置固定孔,方便放置夹持片不便夹持的厚块结构;通过将固定孔设置为方孔,相对于圆孔,由于方孔的侧壁为平面,两个平面间存在夹角,对于固态不规则物体,能够更好倚放。通过在方孔四角设置延伸槽,并构成井字形,方便在延伸槽中插设长条形的片状结构,当目标物体通过夹持片不方便固定时,通过延伸槽进行固定。通过将延伸槽与固定孔共同构成井字形,方便同时固定多个长条形的片状结构。通过将夹持片和固定孔均设置至少两个,当需要观察的样品较多时,可一次性全部放入样品台上,以便于多次观察。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术的侧视图。其中,1、底座,2、夹持片,21、连接弹簧,3、固定孔,31、延伸槽,32、填充垫。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步说明:如图1所示,其为用于观察不规则形状的扫描电镜样品台的结构示意图。本技术的用于观察不规则形状的扫描电镜样品台包括底座1,底座1上设置有夹持片2,夹持片2为两个相对对称并倾斜设置的金属片;底座1上还设置有固定孔3,固定孔3为方孔,固定孔3的四角分别设置有延伸槽31,延伸槽31与固定孔3共同构成井字型结构。具体的,固定孔3的每个角分别与两个相互垂直的延伸槽31连接,且两个延伸槽31分别与相邻的固定孔3边缘垂直。优选的,夹持片2的中部通过连接弹簧21与底座1连接,从而保证夹持片2的固定效果。可选的,如图2所示,延伸槽31和固定孔3的底部设置有填充垫32。填充垫32可为橡皮泥。以起到保护放入固定孔3中的易碎结构的作用。优选的,夹持片2和固定孔3均设置有至少两个。当需要观察的样品较多时,可一次性全部放入样品台上,以便于多次观察。上面对本技术的具体实施方式进行描述,以便于本
的技术人员理解本技术,但应该清楚,本技术不限于具体实施方式的范围,对本
的普通技术人员来讲,只要各种变化在所附的权利要求限定和确定的本技术的精神和范围内,这些变化是显而易见的,一切利用本技术构思的技术创造均在保护之列。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台,其特征在于,包括底座(1),底座(1)上设置有夹持片(2),所述夹持片(2)为两个相对对称并倾斜设置的金属片;底座(1)上还设置有固定孔(3),所述固定孔(3)为方孔,固定孔(3)的四角分别设置有延伸槽(31),所述延伸槽(31)与固定孔(3)共同构成井字型结构。

【技术特征摘要】
1.一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台,其特征在于,包括底座(1),底座(1)上设置有夹持片(2),所述夹持片(2)为两个相对对称并倾斜设置的金属片;底座(1)上还设置有固定孔(3),所述固定孔(3)为方孔,固定孔(3)的四角分别设置有延伸槽(31),所述延伸槽(31)与固定孔(3)共同构成井字型结构。2.根据权利要求1所述的用于观察不规则形状的扫描电镜样品台,其特征在于,所述夹持片(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员:马亚鑫甘岑黄鑫徐成双曾春岳杨龙
申请(专利权)人:成都航空职业技术学院
类型:新型
国别省市:四川,51

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