补偿控制器及MEMS加速度计闭环伺服专用集成电路制造技术

本实用新型专利技术公开了一种补偿控制器，包括运算放大器、电阻一、电阻二、电容一、电容二、开关一、开关二和开关三；补偿输入端连接电阻一后连接至运算放大器的的反向输入端，所述运算放大器的正向输入端接地，其输出端连接反馈输出端；电容一连接补偿输入端和运算放大器的反向输入端；所述开关一和电容一串联；所述电阻二、开关三和电容二串联后的整体一端连接运算放大器的输出端，另一端连接其反向输入端；所述开关三和电容二串联后，和开关二并联。本实用新型专利技术的补偿控制器，用于加速度计闭环控制系统，能够根据加速度计不同的敏感结构改变补偿模式，以此来改善系统性能，提高系统稳定性。

Compensation Controller and Closed-Loop Servo ASIC for MEMS Accelerometer

【技术实现步骤摘要】
补偿控制器及MEMS加速度计闭环伺服专用集成电路
本技术属于集成电路设计领域，具体涉及一种补偿控制器，还涉及一种使用该补偿控制器的MEMS加速度计闭环伺服专用集成电路。
技术介绍
微机电系统(MicroElectromechanicalSystem，缩写为MEMS)是在微电子和微机械技术基础上发展起来的多学科交叉技术。它包括微传感器、微执行器、信号处理和控制电路和通信接口等。MEMS加速度计的感应器件通常采用与微电子技术相近的工艺加工，因而便于与微电子电路集成，而其读出电路通常采用集成电路设计，因而可以对信号进行放大和噪声优化。现有MEMS电容式加速度计伺服电路从结构分为闭环结构和开环结构。开环结构的电容式加速度计传感器伺服电路在稳定性、线性度和动态范围等性能上都不如闭环结构的电容式加速度计传感器伺服电路。闭环结构的接口电路输出信号也作为反馈信号反馈到敏感质量块，在电极间形成静电力，使得敏感质量块位移量非常小，提高了系统灵敏度、线性度和精度。闭环微加速度计的反馈方式可分为模拟反馈和数字反馈。闭环模拟微加速计接口电路是研究的最为深入，应用最为广泛的电路形式之一，当前高精度的微加速度计大本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种补偿控制器，其特征在于：包括运算放大器(OP)、电阻一(R1)、电阻二(R2)、电容一(C1)、电容二(C2)、开关一(S1)、开关二(S2)、开关三(S3)；补偿输入端(PID‑IN)连接电阻一(R1)后连接至运算放大器(OP)的反向输入端，所述运算放大器(OP)的正向输入端接地，其输出端连接反馈输出端；电容一(C1)和开关一(S1)串联，且串联后的整体与电阻一(R1)并联；电容一(C1)、开关一(S1)和电阻一(R1)连接后的整体连接补偿输入端(PID‑IN)和运算放大器(OP)的反向输入端；电容二(C2)和开关三(S3)串联，且串联后的整体与开关二(S2)并联，且并联后的整体与电...

【技术特征摘要】
1.一种补偿控制器，其特征在于：包括运算放大器(OP)、电阻一(R1)、电阻二(R2)、电容一(C1)、电容二(C2)、开关一(S1)、开关二(S2)、开关三(S3)；补偿输入端(PID-IN)连接电阻一(R1)后连接至运算放大器(OP)的反向输入端，所述运算放大器(OP)的正向输入端接地，其输出端连接反馈输出端；电容一(C1)和开关一(S1)串联，且串联后的整体与电阻一(R1)并联；电容一(C1)、开关一(S1)和电阻一(R1)连接后的整体连接补偿输入端(PID-IN)和运算放大器(OP)的反向输入端；电容二(C2)和开关三(S3)串联，且串联后的整体与开关二(S2)并联，且并联后的整体与电阻二(R2)串联；电容二(C2)、开关三(S3)、开关二(S2)和电阻二(R2)连接后的整体连接运算放大器(OP)的输出端和其反向输入端；所述开关一(S1)断开且开关二(S2)断开、开关三(S3)闭合时，所述补偿控制器工作在第一补偿模式；所述开关一(S1)闭合且开关二(S2)闭合、开关三(S3)断开时，所述补偿控制器工作在第二补偿模式；所述开关一(S1)闭合，开关二(S2)断开且开关三(S3)闭合时，所述补偿控制器工作在第三补偿模式。2.如权利要求1所述的补偿控制器，其特征在于：所述电阻一(R1)或/和电阻二(R2)为可编程电阻。3.如权利要求2所述的补偿控制器，其特征在于：所述可编程电阻包括多个调整电阻(R0、2R0、4R0……2n-1R0)和多个程控开关(S00、S01、S02……S0n-1)，n为大于1的正整数；多个所述调整电阻依次串联，每个所述调整电阻均并联一个...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔东海，荆通，朱军辉，王纯配，
申请(专利权)人：江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32