振动梁式加速度计制造技术

本发明专利技术涉及一种振动梁式加速度计。具体公开了：一种检验质量块组件，包括：第一谐振器和第二谐振器，每个谐振器包括第一结合垫和第二结合垫、以及一对长形齿部，其中，第一结合垫和第二结合垫定位在长形齿部的相对端处；检验质量块，其包括第一主要表面和第二主要表面，检验质量块的第一主要表面包括结合区域，该结合区域包括至少一个通道，所述至少一个通道在基本上平行于第一谐振器的长形齿部的纵向轴线的方向上延伸；检验支撑件，其包括第一主要表面和第二主要表面；至少一个屈曲件，其将检验质量块连接到检验支撑件；以及粘合剂，其将第一谐振器的第一结合垫结合到结合区域以及将第一谐振器的第二结合垫结合到检验支撑件的第一主要表面。

Vibration beam accelerometer

【技术实现步骤摘要】
振动梁式加速度计本申请要求2018年1月26日提交的美国临时申请号62/622,548的权益，所述申请通过引用整体地并入本文中。
本公开涉及振动梁式加速度计，也称为谐振梁式加速度计。
技术介绍
加速度计通过在惯性力下检测检验质量块（proofmass）的位移来起作用。一种检测力和加速度的技术是测量质量块相对于框架的位移。另一种技术是测量谐振器中诱导的应力，因为它们抵消了检验质量块的惯性力。例如，当加速度计经受外力时，可通过测量谐振器的频率变化来确定应力。
技术实现思路
在一些示例中，本公开描述了振动梁式加速度计（VGA），其在检验质量块与谐振器之间具有结合机构，从而导致加速度计具有改进的准确度和精度以及较低的测量误差。在一些示例中，本公开描述了一种检验质量块组件，其包括：第一谐振器和第二谐振器，其中，每个相应的谐振器包括相应的第一结合垫、相应的第二结合垫、以及相应的一对长形齿部，并且其中，相应的第一结合垫和相应的第二结合垫定位在相应的谐振器的相应的一对长形齿部的相对端处；检验质量块，其包括第一主要检验质量块表面和第二主要检验质量块表面，其中，第一主要检验质量块表面包括结合区域，该结合区域包括至少一个通道，所述通道在基本上平行于第一谐振器的相应的一对长形齿部的纵向轴线的方向上延伸；检验支撑件，其包括第一主要检验支撑件表面和第二主要检验支撑件表面；至少一个屈曲件，其将检验质量块连接到检验支撑件；以及粘合剂，其将第一谐振器的相应的第一结合垫结合到第一主要检验质量块表面的结合区域、将第一谐振器的相应的第二结合垫结合到第一主要检验支撑件表面、将第二谐振器的相应的第一结合垫结合到第二主要检验质量块表面、以及将第二谐振器的相应的第二结合垫结合到第二主要检验支撑件表面。在一些示例中，本公开描述了一种检验质量块组件，其包括：第一谐振器和第二谐振器，其中，每个相应谐振器包括相应的第一结合垫、相应的第二结合垫、以及相应的一对长形齿部，并且其中，相应的第一结合垫和相应的第二结合垫定位在相应的谐振器的相应的一对长形齿部的相对端处；相应的第一结合垫和相应的第二结合垫各自包括在基本上垂直于相应的长形齿部的纵向轴线的方向上延伸的相应的槽，每个相应的槽包括在基本上垂直于相应的长形齿部的纵向轴线的方向上测量的长度；检验质量块，其包括第一主要检验质量块表面和第二主要检验质量块表面，其中，第一主要检验质量块表面包括结合区域，该结合区域的边缘由第一主要检验质量块表面中的在与第一谐振器的纵向轴线基本上平行的方向上延伸的至少一对通道确定，该结合区域包括在基本上垂直于第一谐振器的纵向轴线的方向上测量的宽度，其中，该宽度约等于或小于第一谐振器的相应的第一结合垫的相应的槽的长度；检验支撑件，其包括第一主要检验支撑件表面和第二主要检验支撑件表面；至少一个屈曲件，其将检验质量块连接到检验支撑件；以及粘合剂，其将第一谐振器的相应的第一结合垫结合到第一主要检验质量块表面的结合区域，其中，结合区域的边缘对齐成与相应的第一结合垫的相应的槽的边缘基本上齐平；将第一谐振器的相应的第二结合垫结合到第一主要检验支撑件表面；将第二谐振器的相应的第一结合垫结合到第二主要检验质量块；以及将第二谐振器的相应的第二结合垫结合到第二主要检验支撑件表面。在一些示例中，本公开描述了一种检验质量块组件，其包括：第一谐振器和第二谐振器，其中，每个相应的谐振器包括相应的第一结合垫、相应的第二结合垫、以及相应的一对长形齿部，并且其中，相应的第一结合垫和相应的第二结合垫定位在相应的谐振器的相应的一对长形齿部的相对端处；检验质量块，其包括第一主要检验质量块表面和第二主要检验质量块表面，其中，第一主要检验质量块表面包括第一结合区域，该第一结合区域包括至少一个通道，所述通道在基本上平行于第一谐振器的相应的一对长形齿部的纵向轴线的方向上延伸；检验支撑件，其包括第一主要检验支撑件表面和第二主要检验支撑件表面，其中，检验支撑件的第一主要检验支撑件表面包括第二结合区域，该第二结合区域包括至少一个通道，所述通道在基本上平行于第一谐振器的相应的一对长形齿部的纵向轴线的方向上延伸；至少一个屈曲件，其将检验质量块连接到检验支撑件；以及粘合剂，其将第一谐振器的相应的第一结合垫结合到第一主要检验质量块表面的第一结合区域并且将第一谐振器的相应的第二结合垫结合到第一主要检验支撑件表面的第二结合区域、将第二谐振器的相应的第一结合垫结合到第二主要检验质量块表面、以及将第二谐振器的相应的第二结合垫结合到第二主要检验支撑件表面。在一些示例中，本公开描述了一种检验质量块组件，其包括：第一谐振器和第二谐振器，其中，每个相应谐振器包括相应的第一结合垫、相应的第二结合垫、以及相应的一对长形齿部，并且其中，相应的第一结合垫和相应的第二结合垫定位在相应的谐振器的相应的一对长形齿部的相对端处；相应的第一结合垫和相应的第二结合垫各自包括在基本上垂直于相应的长形齿部的纵向轴线的方向上延伸的相应的槽，每个相应的槽包括在基本上垂直于相应的长形齿部的纵向轴线的方向上测量的长度；检验质量块，其包括第一主要检验质量块表面和第二主要检验质量块表面，其中，第一主要检验质量块表面包括第一结合区域，该第一结合区域的边缘由第一主要检验质量块表面中的在与第一谐振器的纵向轴线基本上平行的方向上延伸的至少第一对通道确定，该第一结合区域包括在基本上垂直于第一谐振器的纵向轴线的方向上测量的宽度，其中，该宽度约等于或小于第一谐振器的相应的第一结合垫的相应的槽的长度；检验支撑件，其包括第一主要检验支撑件表面和第二主要检验支撑件表面，其中，第一主要检验支撑件表面包括第二结合区域，该第二结合区域的边缘由第一主要检验支撑件表面中的在与第一谐振器的纵向轴线基本上平行的方向上延伸的至少第二对通道确定，该第二结合区域包括在基本上垂直于第一谐振器的纵向轴线的方向上测量的宽度，其中，该宽度约等于或小于第一谐振器的相应的第二结合垫的相应的槽的长度；至少一个屈曲件，其将检验质量块连接到检验支撑件；以及粘合剂，其将第一谐振器的相应的第一结合垫结合到第一主要检验质量块表面的第一结合区域，其中，第一结合区域的边缘对齐成与相应的第一结合垫的相应的槽的边缘基本上齐平；将第一谐振器的相应的第二结合垫结合到第一主要检验支撑件表面的第二结合区域，其中，第二结合区域的边缘对齐成与相应的第二结合垫的相应的槽的边缘基本上齐平；将第二谐振器的相应的第一结合垫结合到第二主要检验质量块；以及将第二谐振器的相应的第二结合垫结合到第二主要检验支撑件表面。一种形成检验质量块组件的方法，所述检验质量块组件包括：第一谐振器和第二谐振器，其中，每个相应的谐振器包括相应的第一结合垫、相应的第二结合垫、以及相应的一对长形齿部，并且其中，相应的第一结合垫和相应的第二结合垫定位在相应的谐振器的相应的一对长形齿部的相对端处；检验质量块，其包括第一主要检验质量块表面和第二主要检验质量块表面，其中，第一主要检验质量块表面包括结合区域，该结合区域包括至少一个通道，所述通道在基本上平行于第一谐振器的相应的一对长形齿部的纵向轴线的方向上延伸；检验支撑件，其包括第一主要检验支撑件表面和第二主要检验支撑件表面；至少一个屈曲件，其将检验质量块连接到检验支撑件；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检验质量块组件，包括：第一谐振器和第二谐振器，其中，每个相应的谐振器包括相应的第一结合垫、相应的第二结合垫、以及相应的一对长形齿部，并且其中，所述相应的第一结合垫和所述相应的第二结合垫定位在所述相应的谐振器的相应的一对长形齿部的相对端处；检验质量块，其包括第一主要检验质量块表面和第二主要检验质量块表面，其中，所述第一主要检验质量块表面包括结合区域，所述结合区域包括至少一个通道，所述至少一个通道在基本上平行于所述第一谐振器的相应的一对长形齿部的纵向轴线的方向上延伸；检验支撑件，其包括第一主要检验支撑件表面和第二主要检验支撑件表面；至少一个屈曲件，其将所述检验质量块连接到所述检验支撑件；以及粘合剂，其将所述第一谐振器的相应的第一结合垫结合到所述第一主要检验质量块表面的结合区域、将所述第一谐振器的相应的第二结合垫结合到所述第一主要检验支撑件表面、将所述第二谐振器的相应的第一结合垫结合到所述第二主要检验质量块表面、以及将所述第二谐振器的相应的第二结合垫结合到所述第二主要检验支撑件表面。

【技术特征摘要】
2018.01.26 US 62/622548;2018.06.12 US 16/0065631.一种检验质量块组件，包括：第一谐振器和第二谐振器，其中，每个相应的谐振器包括相应的第一结合垫、相应的第二结合垫、以及相应的一对长形齿部，并且其中，所述相应的第一结合垫和所述相应的第二结合垫定位在所述相应的谐振器的相应的一对长形齿部的相对端处；检验质量块，其包括第一主要检验质量块表面和第二主要检验质量块表面，其中，所述第一主要检验质量块表面包括结合区域，所述结合区域包括至少一个通道，所述至少一个通道在基本上平行于所述第一谐振器的相应的一对长形齿部的纵向轴线的方向上延伸；检验支撑件，其包括第一主要检验支撑件表面和第二主要检验支撑件表面；至少一个屈曲件，其将所述检验质量块连接到所述检验支撑件；以及粘合剂，其将所述第一谐振器的相应的第一结合垫结合到所述第一主要检验质量块表面的结合区域、将所述第一谐振器的相应的第二结合垫结合到所述第一主要检验支撑件表面、将所述第二谐振器的相应的第一结合垫结合到所述第二主要检验质量块表面、以及将所述第二谐振器的相应的第二结合垫结合到所述第二主要检验支撑件表面。2.根据权利要求1所述的检验质量块组件，其中，所述至少一个通道限定在基本上垂直于所述纵向轴线的方向上测量的宽度，所述至少一个通道的宽度大于所述第一谐振器的相应的一对长形齿部的宽度，以及其中，所述纵向轴线与所述至少一个通道的中心线基本上对齐。3.根据权利要求1或2所述的检验质量块组件，进一步包括形成于所述至少一个通道与所述第一谐振器的相应的第一结合垫之间的相交部处的至少一个粘合剂溢出部，其中，所述粘合剂溢出部沿所述相交部在基本上平行于所述纵向轴线的方向上延伸。4.根据权利要求1至3中任一项所述的检验质量块组件，其中，所述通道延伸超越由所述结合区域限定的边界。5.根据权利要求1至4中任一项所述的检验质量块组件，其中，所述结合区域的至少一个通道包括在基本上平行于所述纵向轴线的方向上延伸的第一通道，所述检验质量块组件进一步包括在所述第一主要检验表面上的第二通道，所述结合区域的围界的至少一部分由所述第二通道限定，所述结合区域的围界的尺寸基本上等于所述第一谐振器的相应的第一结合垫的围界。6.根据权利要求5所述的检验质量块组件，其中，所述第二通道限定所述结合区域的至少三个边缘。7.一种检验质量块组件，包括：第一谐振器和第二谐振器，其中，每个相应的谐振器包括相应的第一结合垫、相应的第二结合垫、以及相应的一对长形齿部，并且其中，所述相应的第一结合垫和所述相应的第二结合垫定位在所述相应谐振器的相应的一对长形齿部的相对端处；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：J斯特雷洛，M诺瓦克，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：美国,US