【技术实现步骤摘要】
一种石英舟清洗后的处理方法
本专利技术涉及太阳能电池板制造
,具体涉及一种晶体硅太阳电池生产中扩散工序的石英舟清洗后的处理方法。
技术介绍
经过扩散工序的石英舟在使用一段时间后,卡槽位置容易出现脏污,导致生产过程中出现舟印外观不良情况,因此需要对石英舟进行定期清洗,清洗后再对石英舟进行饱和处理,不会出现对硅片有舟印外观异常和方阻异常。现有技术中对石英舟清洗后通常使用O2和POCL3对其进行饱和处理,在石英舟表面充分吸收磷原子,对石英舟进行饱和,但是,使用O2和POCL3在饱和过程中会产生P2O5,P2O5容易残留至石英舟卡槽的死角,当石英舟与空气中的水分接触生成HPO3,在正常使用过程中就容易产生舟印,导致外观不良;且使用O2和POCL3,饱和时间长,影响产能;因此需要对石英舟清洗后的处理方法进行优化,达到降低生产成本及提高产能的目的。本领域公知常识认为不使用O2和POCL3对石英舟进行饱和处理,容易导致处理后的硅片在扩散后方阻偏高,且均匀性差,对外观存在影响。
技术实现思路
为了解决现有技术中对石英舟清洗后使用O2和POCL3对石英舟进行饱和处理存在的技术问题,本专利技术提供了一种不使用O2和POCL3对石英舟进行饱和处理的处理方法,以解决上述
技术介绍
中存在的问题。本专利技术对石英舟清洗后的处理方法具有减少饱和时间,节约气体和节省POCL3用量的特点。为实现上述目的,本专利技术提供的技术方案如下:一种石英舟清洗后的处理方法,包括以下步骤:1)在石英舟清洗机中加入体积比为4:1:30的HF、HCL和水的混合物;2)将石英舟放入石英舟清洗机通入氮气进行鼓泡 ...
【技术保护点】
1.一种石英舟清洗后的处理方法,其特征在于,所述处理方法具体步骤如下:1)在石英舟清洗机中加入体积比为4:1:30的HF、HCL和水的混合物;2)将石英舟放入石英舟清洗机中通入氮气进行鼓泡清洗6h;3)用氮气吹扫石英舟整体以及卡槽位置,直至没有明显水渍在石英舟上;4)将吹干后的石英舟放入炉管中通入流量稳定的N2,稳定温度进行清洗后的处理。
【技术特征摘要】
1.一种石英舟清洗后的处理方法,其特征在于,所述处理方法具体步骤如下:1)在石英舟清洗机中加入体积比为4:1:30的HF、HCL和水的混合物;2)将石英舟放入石英舟清洗机中通入氮气进行鼓泡清洗6h;3)用氮气吹扫石英舟整体以及卡槽位置,直至没有明显水渍在石英舟上;4)将吹干后的石英舟放入炉管中通入流量稳定的N2,稳定温度进行清洗后的处理。2.如权利要求1所述的石英舟清洗后的处理方法,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴永秋,
申请(专利权)人:江苏格林保尔光伏有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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