一种测量平台用显微镜制造技术

本发明专利技术公开了一种测量平台用显微镜，包括，显微镜支架；转换盘，可旋转安装于支架上，所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头；动力装置，安装于支架上，包括同步传送带和电机，所述同步传送带设置于转换盘与电机之间，并将来自电机的动力传送至转换盘；第一支撑片，支撑于同步传送带下方，所述第一支撑片上阵列分布有多个感应片，该感应片自第一支撑片的边缘向下折弯形成，所述每个镜头分别匹配一个所述感应片；以及设于显微镜支架上、与感应片相对应的传感器。本发明专利技术通过支撑片为同步传动装置提供更为稳定的传动服务，同时将感应片与支撑片设为一体，使得传感器的感应更加精确。

A Microscope for Measuring Platform

【技术实现步骤摘要】
一种测量平台用显微镜
本专利技术涉及光学测量领域，特别是涉及一种测量平台用的显微镜。
技术介绍
测量显微镜，采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量，特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试，广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门，工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360度的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量，是一种理想的固定场所小型精密测量仪器；测量显微镜仪器进一步可连接CCD电视摄像头，作工件的轮廓放大；亦可连接计算机进行数据处理等测量。但是目前现有的测量显微镜，其不同倍率镜头的旋转测量都是靠人工手动去旋转调试，很容易导致手部触碰到待测量工件或物品，造成工件或物品的污染或磨损，且手动旋转镜头还容易造成镜头对准精度不准，扫描测量误差较大等问题。有鉴于此，有必要提供一种能感应精度更准确、传动更稳定的测量平台用显微镜。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能实现感应精度更准确、传动更稳定的测量平台用显微镜。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：本申请实施例公开一种测量平台用显微镜，包括：显微镜支架；转换盘，可旋转安装于支架上，所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头；动力装置，安装于支架上，包括同步传送带和电机，所述同步传送带设置于转换盘与电机之间，并将来自电机的动力传送至转换盘；第一支撑片，支撑于同步传送带下方，所述第一支撑片上阵列分布有多个感应片，该感应片自第一支撑片的边缘向下折弯形成，所述每个镜头分别匹配一个所述感应片；以及设于显微镜支架上、与感应片相对应的传感器。优选地，在上述的一种测量平台用显微镜中，所述第一支撑片与感应片一体冲压成型。优选地，在上述的一种测量平台用显微镜中，每个所述感应片分别设置于相邻的两个镜头之间。优选地，在上述的一种测量平台用显微镜中，所述第一支撑片上环形阵列分布有多个通孔，所述第一支撑片通过螺钉与转换盘可拆卸连接。优选地，在上述的一种测量平台用显微镜中，所述通孔为长腰形通孔。优选地，在上述的一种测量平台用显微镜中，所述第一支撑片与转换盘之间卡扣连接。优选地，在上述的一种测量平台用显微镜中，所述第一支撑片边缘凸伸于所述转换盘四周。优选地，在上述的一种测量平台用显微镜中，所述第一支撑片中部开设有固定孔，所述固定孔与感应片相对应的内缘为弧形。优选地，在上述的一种测量平台用显微镜中，还包括阻挡于同步传送带上方的第二支撑片。优选地，在上述的一种测量平台用显微镜中，所述传感器为感应式光电传感器。与现有技术相比，本专利技术的优点在于：本测量平台用显微镜，通过支撑片为同步传动装置提供更为稳定的传动服务，同时将感应片与支撑片设为一体，使得传感器的感应更加精确，可以精准控制电流大小，配合动力装置及定位结构实现镜头自动旋转后的精准定位。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1所示为本专利技术一具体实施例中一种显微镜测量平台的立体图；图2所示为本专利技术一具体实施例中一种测量平台用显微镜镜头自动切换装置结构图；图3为本专利技术一具体实施例中一种测量平台用显微镜的内部细节图；图4所示为本专利技术一具体实施例中镜头自动切换装置中的同步传动装置结构图；图5所示为本专利技术一具体实施例中一种测量平台用显微镜的定位结构示意图；图6所示为本专利技术一具体实施例中一种测量平台用显微镜的支撑片结构；图7所示为本专利技术一具体实施例中一种测量平台用显微镜支撑片的位置结构图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。参考图1所示，在一具体实施例中提供了一种显微镜测量平台，包括底座架1，置于底座架1上的测量平台2以及可滑动于测量平台2上的显微镜结构。底座架1的材质为花岗岩，底座架1外套有铂金外罩，底座架1与测量平台2间设有空气弹簧11，底座架1上还设有可用于方便移动的脚轮12。在该技术方案中，空气弹簧11能隔绝环境振动，确保显微镜在扫描测量的过程中，镜头与待测表面之间不会发生各方向位移。显微镜结构包括沿z轴方向设于测量平台2两侧的立柱31，沿x轴方向固定设于立柱31上的横梁32，设于横梁32上，可沿横梁32来回滑动的x轴滑台基板33以及固定于x轴滑台基板33上，可沿z轴上下移动的，用于扫描观测的、可自动切换镜头的测量平台用显微镜30。立柱31材质为花岗岩，立柱31可同时沿着测量平台2的边缘滑动。参考图2-7所示，在一具体实施例中提供了一种显微镜测量平台的镜头自动切换装置及其细节图，包括支架301，转换盘、动力装置304、传感器305、固定架306、以及支撑片。支架301用于显微镜在测量平台2和x轴滑台基板33上的固定，同时还用于显微镜内部光学组件的安装，支架301包括一平行于测量平台2的支架基座底面3011以及一镜头安装面3012，镜头安装面3012与支架基座底面3011呈现一钝角，便于单个镜头对下方工件的测量。转换盘为一抛面结构，可旋转安装于支架301的镜头安装面3012上，转换盘包括转换固定盘302和镜头支撑盘303。转换固定盘302可旋转安装于支架301的镜头安装面3012上，转换固定盘302的抛面上开设有多个安装孔3023，参考图5所示，安装孔3023用于可拆卸安装不同倍率的镜头，转换固定盘302上方设有与转换固定盘302一体成型的固定件3021，固定件3021与转换固定盘302同轴设置，固定件3021为圆柱形，中央中空，可供旋转转轴通过，固定件3021上环形阵列分布有多个凹槽30211，每个凹槽30211分别对应一个镜头。在其他实施例中，固定件还可设置于显微镜支架上。支架301内，固定件3021的侧面还设有一可与固定件相对转动的定位件3022，定位件3022上沿其轴向设置有配合凹槽30211的弹性件30221，该弹性件30221作用于固定件3021，并可沿固定件3021表面滑动。弹性件30221包括弹簧以及设置于弹簧末端的弹珠，弹珠与凹槽30211配合，在无阻力的情况下，弹珠在弹簧的作用下，略冒出定位件3022表面，弹珠的大小与固定件3021上的凹槽30211相匹配，当转换固定盘302转动时，弹簧被压缩，弹珠在固定件3021表面滑动，当转到所需倍率镜头时，弹珠在弹簧的压力下，回弹进凹槽30211，进行镜头的精准定位。在上述技术方案中，凹槽还可设于固定件上表面，与之相对应的，定位件也设于固定件上方，定位件中的弹性件-弹簧和弹珠向下凸伸于定位件下表面，与凹槽实现卡合。镜头支撑盘303固定于转换固定盘302下方，同为一拋面结构，其弧度略大于转换固定盘302的弧度，镜头支撑盘303上开设有与转换盘安装孔3023相对应的通孔3031，用于卡扣不同倍率的镜头，镜头支撑盘303抛面边缘均匀开设有螺孔3032，镜头支撑盘303可通过螺钉与转换固定盘本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量平台用显微镜，其特征在于，包括：显微镜支架；转换盘，可旋转安装于支架上，所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头；动力装置，安装于支架上，包括同步传送带和电机，所述同步传送带设置于转换盘与电机之间，并将来自电机的动力传送至转换盘；第一支撑片，支撑于同步传送带下方，所述第一支撑片上阵列分布有多个感应片，该感应片自第一支撑片的边缘向下折弯形成，所述每个镜头分别匹配一个所述感应片；以及设于显微镜支架上、与感应片相对应的传感器。

【技术特征摘要】
1.一种测量平台用显微镜，其特征在于，包括：显微镜支架；转换盘，可旋转安装于支架上，所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头；动力装置，安装于支架上，包括同步传送带和电机，所述同步传送带设置于转换盘与电机之间，并将来自电机的动力传送至转换盘；第一支撑片，支撑于同步传送带下方，所述第一支撑片上阵列分布有多个感应片，该感应片自第一支撑片的边缘向下折弯形成，所述每个镜头分别匹配一个所述感应片；以及设于显微镜支架上、与感应片相对应的传感器。2.根据权利要求1所述的一种测量平台用显微镜，其特征在于，所述第一支撑片与感应片一体冲压成型。3.根据权利要求1所述的一种测量平台用显微镜，其特征在于，每个所述感应片分别设置于相邻的两个镜头之间。4.根据权利要求1所述的一种测量平台用显微镜，...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡进，胡彧，陈铭勇，仲崇明，
申请(专利权)人：苏州亿拓光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32