【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法、程序、基板处理装置、基准数据决定装置及基准数据决定方法相关申请本申请主张2017年3月17日在日本申请的专利申请编号2017-52189、2017年5月18日在日本申请的专利申请编号2017-98691、2017年5月18在日本申请的专利申请编号2017-98899、2017年9月15日在日本申请的专利申请编号2017-177611、以及2018年2月2日在日本申请的专利申请编号2018-16875的利益，将该申请的内容援引于此。
本技术关于信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法、程序、基板处理装置、基准数据决定装置及基准数据决定方法。
技术介绍
半导体制造装置广泛使用以在腔室内形成真空环境的目的而将使用于半导体制造工序的气体从腔室内排气的真空泵。这种真空泵已知为具备罗茨型或螺旋型的泵转子的容积式型式的真空泵。通常，容积式真空泵具备：配置于机壳内的一对泵转子；及用于旋转驱动该泵转子的马达。在一对泵转子间及泵转子与机壳的内面之间形成有微小的余隙，泵转子构成为不接触机壳而旋转。而后通过一对泵转子同步且彼此相反方向旋转，而将机...
【技术保护点】
1.一种信息处理装置，检测有无由对象真空泵内生成的生成物所造成的真空泵异常，该信息处理装置的特征在于，具备：决定部，该决定部至少使用一个所述对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.17 JP 2017-052189;2017.05.18 JP 2017-098691.一种信息处理装置，检测有无由对象真空泵内生成的生成物所造成的真空泵异常，该信息处理装置的特征在于，具备：决定部，该决定部至少使用一个所述对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。2.如权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，所述决定部根据所述对象真空泵内的压力或所述其他真空泵内的压力，修正所述过去的对象状态量，并使用修正后的过去的对象状态量来决定所述正常变动范围或所述正常时间变动行为，所述比较部根据所述对象真空泵内的压力或所述其他真空泵内的压力，修正所述对象真空泵的当前的对象状态量，并对修正后的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较。3.如权利要求1或2所述的信息处理装置，其特征在于，在所述对象真空泵运转后，所述决定部根据每个规定次数的工序的对象信息量，按每个该工序来决定所述对象状态量的正常变动范围或所述正常时间变动行为，所述比较部按每个对应的工序来对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述对象状态量的所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较。4.如权利要求1-3中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述正常变动范围是正常状态时所述对象状态量随时间变化的变动范围，所述比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量随时间变化与所述正常状态时的所述对象状态量随时间变化的变动范围进行比较。5.如权利要求1-4中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，进一步具备区分部，该区分部将所述对象状态量的大小、变动的大小、及/或变动周期不同的期间区分为不同工序，所述决定部按每个经区分的所述工序，决定所述对象真空泵的当前的对象状态量的所述正常变动范围或所述正常时间变动行为，所述比较部按每个经区分的所述工序，对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较。6.如权利要求1-4中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，进一步具备区分部，该区分部将在所述对象真空泵所连通的半导体制造装置的工序中所使用的气体种类及气体流量不同的期间区分为不同工序，所述决定部按每个经区分的所述工序，决定所述对象真空泵的当前的对象状态量的所述正常变动范围或所述正常时间变动行为，所述比较部按每个经区分的所述工序，对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较。7.如权利要求1-6中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述比较部根据按所述对象真空泵所连通的半导体制造装置的每个工序的所述对象状态量的变化程度，来判定有无由生成物所造成的异常。8.如权利要求1-7中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述比较部将判断为存在由对象真空泵内生成的生成物所造成的异常的数据作为所述比较结果输出。9.如权利要求1-8中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述其他真空泵的规格与所述对象真空泵大致相同。10.一种信息处理装置，检测有无由对象真空泵内生成的生成物所造成的真空泵异常，该信息处理装置的特征在于，具备：决定部，该决定部根据所述对象真空泵所连通的半导体制造装置的工艺处方信息，决定对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入该真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。11.如权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，所述决定部使用对象真空泵的过去的对象状态量或其他真空泵的过去的对象状态量，而按每个工序决定该对象状态量的正常变动范围，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量，所述比较部按每个工序对运转中的对象真空泵的对象状态量与所述正常变动范围进行比较，检测从所述正常变动范围脱离的异常数据，该信息处理装置进一步具备判定基准决定部，该判定基准决定部按真空泵有无故障，分别使用与对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数的统计值，来决定用于判定故障可能性或继续运转可能性的泵状态判定基准或者用于判断是否输出警报的警报判断基准。12.如权利要求11所述的信息处理装置，其特征在于，进一步具备输出部，该输出部对与所述运转中的对象泵的对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数的统计值和通过所述判定基准决定部决定的所述泵状态判定基准进行比较，并输出泵状态诊断值，所述泵状态诊断值包含表示故障可能性的故障指数或表示继续运转可能性的继续运转指数。13.如权利要求12所述的信息处理装置，其特征在于，所述判定基准决定部对于已故障的真空泵，通过统计与对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数，从而决定对象参数的统计值与所述故障指数的对应关系作为所述泵状态判定基准，所述输出部对与所述运转中的对象泵的对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数的统计值和所述对应关系进行比较，从而输出所述故障指数。14.如权利要求12所述的信息处理装置，其特征在于，所述决定部对于无故障而继续运转的真空泵，统计与对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数，从而决定对象参数的统计值与所述继续运转指数的对应关系作为判定基准，所述输出部对与所述运转中的对象泵的对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数的统计值和所述对应关系进行比较，从而输出所述继续运转指数。15.如权利要求11项的信息处理装置，其特征在于，进一步具备警报输出部，该警报输出部对与对象泵的对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数的统计值和通过所述判定基准决定部决定的警报判断基准进行比较，并根据比较结果输出警报。16.如权利要求11-15中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，进一步具备区分部，该区分部按每个工序分割所述对象真空泵的过去的对象状态量或所述其他真空泵的过去的对象状态量，所述决定部按每个经分割的所述工序决定所述对象状态量的正常变动范围。17.如权利要求16所述的信息处理装置，其特征在于，所述区分部将从除害装置输入的开始成膜信号中所包含的开始成膜时间点作为起点，按每个工序分割所述对象真空泵的过去的对象状态量或所述其他真空泵的过去的对象状态量。18.如权利要求16所述的信息处理装置，其特征在于，所述真空泵设有气体传感器，该气体传感器计测所述真空泵内的特定气体的浓度，所述区分部根据通过所述气体传感器检测出的传感值决定开始成膜时间点，并将该开始成膜时间点作为起点，按每个工序分割所述对象真空泵的过去的对象状态量或所述其他真空泵的过去的对象状态量。19.如权利要求11-18中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，与所述异常发生数相关的对象参数是异常发生次数、或是将特定工序的异常发生次数除以该特定工序的期间而得到的异常发生频率。20.一种信息处理系统，检测有无由对象真空泵内生成的生成物所造成的真空泵异常，该信息处理系统的特征在于，具备：决定部，该决定部至少使用一个所述对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。21.一种信息处理方法，检测有无由对象真空泵内生成的生成物所造成的真空泵异常，该信息处理方法的特征在于，具有以下工序：至少使用一个所述对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。22.一种信息处理程序，检测有无由对象真空泵内生成的生成物所造成的真空泵异常，该信息处理程序的特征在于，有使计算机发挥以下功能：决定部，该决定部至少使用一个所述对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。23.一种基板处理装置，具有：腔室成膜炉，该腔室成膜炉导入成膜用气体而进行基板成膜；真空泵装置，该真空泵装置连通于所述腔室成膜炉；除害装置，该除害装置处理所述真空泵的排放气体；及控制装置，该控制装置控制所述真空泵，所述基板处理装置连续地处理多个基板，其特征在于，所述控制装置具有：生成电路，该生成电路使所述真空泵启动，使所述腔室成膜炉成为规定真空程度后，将从所述除害装置输入的开始成膜信号中包含的开始成膜时间点作为起点，按每个工序分割从存储装置读取出的对象真空泵的过去的对象状态量或其他真空泵的过去的对象状态量，而生成经分割的对象状态量；及决定电路，该决定电路按每个经分割的所述对象状态量来决定对象状态量的正常变动范围，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量。24.一种信息处理装置，其特征在于，具备比较部，该比较部参照存储部，对从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常数据的倾向与存储于所述存储部的基准数据进行比较，并输出比较结果，所述存储部存储有使用已故障的真空泵的状态量数据中检测出的异常数据的倾向而决定的用于判定到达故障的可能性的基准数据。25.如权利要求24所述的信息处理装置，其特征在于，所述比较部判定所述比较的结果、真空泵到达故障的可能性，并将判定结果作为所述比较结果输出。26.如权利要求24或25所述的信息处理装置，其特征在于，所述存储部中将真空泵的属性与所述基准数据相关连而存储，所述比较部对从所述运转中的真空泵的状态量检测出的异常数据的倾向和所述存储部中与该运转中的真空泵的属性相关连而存储的基准数据进行比较。27.如权利要求24-26中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述存储部将半导体制造装置的制造工序与所述基准数据相关连而存储，所述比较部对从所述运转中的真空泵的状态量检测出的异常数据的倾向和所述存储部中与连接该运转中的真空泵的半导体制造装置的当前制造工序相关连而存储的基准数据进行比较。28.如权利要求24-27中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述比较部进行如下控制：对所述运转中的真空泵的状态量与基于已故障的真空泵故障时的状态量的值的统计量进行比较，并根据比较结果进行通报。29.如权利要求24-28中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述比较部进行如下控制：对所述运转中的真空泵的状态量的异常发生次数与已故障的真空泵故障前的状态量的异常发生次数的统计量进行比较，并根据比较结果进行通报。30.如权利要求24-29中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述比较部进行如下控制：对所述运转中的真空泵的状态量的发生异常的间隔与已故障的真空泵在故障前的状态量的发生异常的间隔的统计量进行比较，并根据比较结果进行通报。31.如权利要求28-30中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述比较部进行如下处理：根据连接有所述运转中的真空泵的半导体制造装置的制造工序的时间或制造工序的次数，来变更通报...
【专利技术属性】
技术研发人员：舞鴫惠治，杉浦哲郎，臼井克明，畠山雅规，本间知佳子，大须贺透，岩崎弘一，林介元，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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