夹具、原子层沉积装置及工艺制造方法及图纸

本申请公开了一种夹具、原子层沉积装置及工艺，夹具包括相对设置的两块侧板，两块侧板之间设置有两块相对设置的端板，两块端板和两块侧板围合成两端开口的容腔，端板可移动地固定连接有活动板，活动板的移动方向为靠近或者远离任一侧板；原子层沉积装置包括真空腔，真空腔内设置有样品台，真空腔分别连接有真空泵、第一气体喷射部、第二气体喷射部以及第三气体喷射部，样品台用于放置夹具，通过夹具固定电池片，将电池片切割部分从容腔的开口露出，侧板和端板保护电池片未切割部分，对电池片的切割部分进行原子层沉积，在电池片的切割部分形成钝化膜，提升切割后电池片的电性能，修复电池片由于切割造成的损伤。

Fixture, Atomic Layer Deposition Device and Technology

【技术实现步骤摘要】
夹具、原子层沉积装置及工艺
本专利技术一般涉及光伏领域，具体涉及太阳能组件领域，尤其涉及一种夹具、原子层沉积装置及工艺。
技术介绍
近年来，光伏技术发展迅猛，晶硅电池转换效率节节攀升，以每年约0.5％abs的幅度逐年递增。随着晶硅电池效率的提升，电流密度也随之提升。目前高效晶硅电池的电流密度已达40.3mA/cm2，这导致传统的整片电池互联的方式产生较高的功率损失。将整片电池分割成两片或多个小片，每小片的串联电流下降至整片电流的1/N(N为切片数量)，由此制备而成的组件功率损失会得到大幅改善，比如半片组件(1/2分片)相较于常规组件有2％～4％的功率提升，叠瓦组件(1/5分片或1/6分片)相较于常规组件有10％以上的功率提升。通常利用激光切割技术实现整片电池的分离，激光切片解决了互联功率损失的问题，但又引入了电池片切割效率损失的问题，据报道PERC(passivatedemitterandrealcell，发射极和背面钝化)电池1/2分片的切割效率损失为0.1％～0.2％abs，TOPCon(tunneloxidepassivatedcontact，隧穿氧化层钝化接触)电池1/2分片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种夹具，其特征在于，包括相对设置的两块侧板，两块所述侧板之间设置有两块相对设置的端板，两块所述端板和两块所述侧板围合成两端开口的容腔，所述端板可移动地固定连接有活动板，所述活动板的移动方向为靠近或者远离任一所述侧板。

【技术特征摘要】
1.一种夹具，其特征在于，包括相对设置的两块侧板，两块所述侧板之间设置有两块相对设置的端板，两块所述端板和两块所述侧板围合成两端开口的容腔，所述端板可移动地固定连接有活动板，所述活动板的移动方向为靠近或者远离任一所述侧板。2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，至少一块所述端板面向所述活动板的一侧设置有滑动槽，所述滑动槽沿着所述活动板的移动方向设置，所述活动板设置有滑动块，所述滑动块沿着所述滑动槽的导向滑动。3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，至少一块所述端板面向所述活动板的一侧设置有滑动块，所述滑动块沿着所述活动板的移动方向设置，所述活动板设置有滑动槽，所述滑动槽沿着所述滑动块的导向滑动。4.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述活动板面向任一所述端板的一侧伸出有连接部，所述端板面向所述连接部的侧面与所述连接部与可拆卸地固定连接。5.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，所述端板远离所述连接部的一侧可拆卸地固定连接有底板，所述底板封闭所述容腔的一个开口端。6.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，所述连接部通过螺钉与所述端板可拆卸地固定连接。7.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，两块所述端板相互平行，两块所述侧板以及所述活动板相互平行，所述端板与所述侧板垂直。8.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，至少一块所述侧板沿着所述容腔的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琦忠，袁陨来，王建波，朱琛，吕俊，
申请(专利权)人：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32