一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置制造方法及图纸

根据本发明专利技术所涉及的一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，因为包括与磁性复合流体供给装置相连通储液筒以及设置在储液筒的外部的固液转化部，固液转化部包含沿储液筒的长度方向依次设置的m个固液转化单元，m个固液转化单元分别与m个微沟槽相对应，每个固液转化单元含有n个固液转化管道以及n个励磁线圈，n个固液转化管道且分别与储液筒相连通，当来自磁性复合流体供给装置的磁性复合流体经储液筒流过固液转化管道时，磁性复合流体在固液转化管道的出口处形成抛光磨粒，抛光磨粒用于对m个微沟槽同时进行抛光。所以，本发明专利技术中的一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，能够同时抛光多个微沟槽。

A Magnetic Composite Fluid Polishing Device for Periodic Micro-groove Polishing

【技术实现步骤摘要】
一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置
本专利技术属于机械加工领域，具体涉及一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置。
技术介绍
在工件的生产加工实践中，常常需要对工件表面的多个周期性微沟槽结构进行高精度抛光加工。使用以往传统的的抛光技术抛光周期性微沟槽结构时，只能一次加工一个依次对所有微沟槽进行抛光加工，且抛光的精度只能控制在微米级，如此的加工方式不仅抛光效率不高而且也在抛光精度方面存在限制。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而进行的，目的在于利用磁流体对多个周期性微沟槽结构同时进行抛光的抛光头。为实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：本专利技术提供了一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，和磁性复合流体供给装置相连接，用于利用磁性复合流体供给装置供给的磁性复合流体对工件上间隔设置的m个微沟槽同时进行抛光，具有这样的特征，包括：储液筒，与磁性复合流体供给装置相连通；以及固液转化部，设置在储液筒的外部；其中，固液转化部包含沿储液筒的长度方向依次设置的m个固液转化单元，m个固液转化单元分别与m个微沟槽相对应，每个固液转化单元含有n个固液转化管道以及n个励磁线圈，n个固液转化管道沿储液筒的周向设置且分别与储液筒相连通，每一个励磁线圈设置在相邻的固液转化管道之间，当来自磁性复合流体供给装置的磁性复合流体经储液筒流过固液转化管道时，磁性复合流体在励磁线圈所形成的磁场作用下由流体状态转化为固体状态从而在固液转化管道的出口处形成抛光磨粒，抛光磨粒用于对m个微沟槽同时进行抛光，m为不小于2的正整数，n为不小于2的正整数。在本专利技术提供的用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置中，还可以具有这样的特征：其中，固液转化单元还含有环形管道，环形管道与对应的固液转化单元中的所有固液转化管道以及储液筒相连通。在本专利技术提供的用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置中，还可以具有这样的特征：其中，储液筒包含第一储液腔、p个第二储液腔以及p个液流通道单元，第一储液腔与磁性复合流体供给装置以及所有第二储液腔相连通，每个第二储液腔与所有环形管道分别相连通，p个液流通道单元分别与p个第二储液腔相对应，每个液流通道单元具有q个相互独立的液流通道，每一个液流通道的两端分别与对应的第二储液腔以及第一储液腔相连通，p为不小于1的正整数，q为不小于1的正整数。在本专利技术提供的用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置中，还可以具有这样的特征：其中，储液筒还包含：中空轴，内部形成第一储液腔，含有p个流体喷道单元；以及外筒，套设在中空轴外部，内部形成第二储液腔，含有p个流体通道单元，每个流体喷道单元具有q个流体喷道，每个流体通道单元具有q个流体通道，q个流体喷道与q个流体通道相连通形成q个液流通道。在本专利技术提供的用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置中，还可以具有这样的特征：其中，固液转化单元还含有n个线圈支撑架，每个线圈支撑架的两端分别安装在相邻的固液转化管道上，励磁线圈安装在对应的线圈支撑架上。在本专利技术提供的用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置中，还可以具有这样的特征，还包括：端盖组件，含有两个分别设置在储液筒的两个端部的端盖。在本专利技术提供的用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置中，还可以具有这样的特征：其中，固液转化部还包括转化管道固定单元，转化管道固定单元包含n个扇形瓣片以及至少两个锁紧圈，n个扇形瓣片沿储液筒的周向设置，每个扇形瓣片设置在相邻的固液转化管道之间且贯穿m个固液转化单元，扇形瓣片的两端分别与两个端盖相嵌合，两个锁紧圈分别位于扇形瓣片的两个端部。在本专利技术提供的用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置中，还可以具有这样的特征：其中，扇形瓣片的表面上沿扇形瓣片的长度方向设有不同的刻度值。本专利技术还提供了一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光设备，用于对工件上间隔设置的多个微沟槽同时进行抛光，具有这样的特征，包括：上述的磁性复合流体抛光装置；以及驱动部，与用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置相连接，用于驱动磁性复合流体抛光装置绕储液筒的中心轴进行旋转动作。专利技术的作用与效果根据本专利技术所涉及的用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，因为包括与磁性复合流体供给装置相连通储液筒以及设置在储液筒的外部的固液转化部，固液转化部包含沿储液筒的长度方向依次设置的m个固液转化单元，m个固液转化单元分别与m个微沟槽相对应，每个固液转化单元含有n个固液转化管道以及n个励磁线圈，n个固液转化管道沿储液筒的周向设置且分别与储液筒相连通，当来自磁性复合流体供给装置的磁性复合流体经储液筒流过固液转化管道时，磁性复合流体在励磁线圈所形成的磁场作用下由流体状态转化为固体状态从而在固液转化管道的出口处形成抛光磨粒，抛光磨粒用于对m个微沟槽同时进行抛光。所以，本专利技术中的用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，能够同时可以抛光多个微沟槽，且当微沟槽的间距不一致时，还可以通过控制抛光盘实现无极滑动达到抛光间距可调的目的，而且使抛光微沟槽的抛光精度可以达到纳米级，相对传统的抛光技术，精度有较大的提升。附图说明图1是本专利技术的实施例中用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光头的剖面图；图2是本专利技术的实施例中固液转化单元的剖面示意图；以及图3是本专利技术的实施例中锁紧圈紧固示意图。具体实施方式为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，以下实施例结合附图对本专利技术的用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置作具体阐述。图1是本专利技术的实施例中用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光头的剖面图。如图1所示，一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置100，和磁性复合流体供给装置相连接，用于利用磁性复合流体供给装置供给的磁性复合流体对工件上间隔设置的m个微沟槽同时进行抛光。用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置100包括储液筒10、固液转化部20以及端盖组件30。在本实施例中，m为4。储液筒10包含中空轴11与外筒12。中空轴11内部形成第一储液腔1A，中空轴11包括第一流入口111以及p个流体喷道单元112。第一流入口111位于中空轴11的一个端面上，第一储液腔1A通过第一流入口111与磁性复合流体供给装置100相连通，磁性复合流体供给装置100供给的磁性复合流体通过第一流入口111流入第一储液腔1A。在本实施例中，第一储液腔为圆柱形空间。p个流体喷道单元112沿中空轴11的圆周方向均匀分布，每个流体喷道单元112包括沿中空轴11的长度方向依次设置的q个流体喷道1121。在本实施例中，每个流体喷道单元112的q个流体喷道1121均等距设置。每个流体喷道1121的两端分别连通第一储液腔1A与中空轴11的外部。在本实施例中，p为2，q为5。外筒12为圆筒状，套接在中空轴11外部且与中空轴11固定连接，内部形成p个第二储液腔1B，外筒套12包括p个流体通道单元121以及p个流出螺纹孔单元122。p个第二储液腔1B均位于外筒12筒壁内部且沿外筒12的周向均匀分布。p个流体通道单元121与p个第二储液腔1B对应设置，并且p个流体通道单元121本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，和磁性复合流体供给装置相连接，用于利用磁性复合流体供给装置供给的磁性复合流体对工件上间隔设置的m个微沟槽同时进行抛光，其特征在于，包括：储液筒，与所述磁性复合流体供给装置相连通；以及固液转化部，设置在所述储液筒的外部；其中，所述固液转化部包含沿所述储液筒的长度方向依次设置的m个固液转化单元，该m个固液转化单元分别与m个所述微沟槽相对应，每个所述固液转化单元含有n个固液转化管道以及n个励磁线圈，n个所述固液转化管道沿所述储液筒的周向设置且分别与所述储液筒相连通，每一个所述励磁线圈设置在相邻的所述固液转化管道之间，当来自所述磁性复合流体供给装置的所述磁性复合流体经所述储液筒流过所述固液转化管道时，该磁性复合流体在所述励磁线圈所形成的磁场作用下由流体状态转化为固体状态从而在所述固液转化管道的出口处形成抛光磨粒，该抛光磨粒用于对m个所述微沟槽同时进行抛光，所述m为不小于2的正整数，所述n为不小于2的正整数。

【技术特征摘要】
1.一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，和磁性复合流体供给装置相连接，用于利用磁性复合流体供给装置供给的磁性复合流体对工件上间隔设置的m个微沟槽同时进行抛光，其特征在于，包括：储液筒，与所述磁性复合流体供给装置相连通；以及固液转化部，设置在所述储液筒的外部；其中，所述固液转化部包含沿所述储液筒的长度方向依次设置的m个固液转化单元，该m个固液转化单元分别与m个所述微沟槽相对应，每个所述固液转化单元含有n个固液转化管道以及n个励磁线圈，n个所述固液转化管道沿所述储液筒的周向设置且分别与所述储液筒相连通，每一个所述励磁线圈设置在相邻的所述固液转化管道之间，当来自所述磁性复合流体供给装置的所述磁性复合流体经所述储液筒流过所述固液转化管道时，该磁性复合流体在所述励磁线圈所形成的磁场作用下由流体状态转化为固体状态从而在所述固液转化管道的出口处形成抛光磨粒，该抛光磨粒用于对m个所述微沟槽同时进行抛光，所述m为不小于2的正整数，所述n为不小于2的正整数。2.根据权利要求1所述的用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，其特征在于：其中，所述固液转化单元还含有环形管道，该环形管道与对应的所述固液转化单元中的所有所述固液转化管道以及所述储液筒相连通。3.根据权利要求2所述的用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，其特征在于：其中，所述储液筒包含第一储液腔、p个第二储液腔以及p个液流通道单元，所述第一储液腔与所述磁性复合流体供给装置以及所有所述第二储液腔相连通，每个所述第二储液腔与所有所述环形管道分别相连通，所述p个液流通道单元分别与所述p个第二储液腔相对应，每个所述液流通道单元具有q个相互独立的液流通道，每一个液流通道的两端分别与对应的所述第二储液腔以及所述第一储液腔相连通，所述p为不小于1的正整数，所述q为不小于1的正整数。4.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜晨，钱大兵，姜臻禹，林文鑫，彭涛，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：上海,31