【技术实现步骤摘要】
一种n-p-n型三明治异质结纳米材料的制备方法及其产品和应用
本专利技术属于半导体光电材料领域,涉及一种n-p-n型三明治异质结纳米材料,特别是涉及一种n-p-n双重异质纳米材料的制备及应用,采用原子层沉积技术在n型半导体纳米材料MOx表面沉积SnO和SnO2,从而构建光电性能优异的MOx/SnO/SnO2三明治异质结材料。
技术介绍
在光电化学及催化领域,以ZnO、TiO2及Ga2O3为代表的n型氧化物半导体材料因稳定性高、绿色无毒、微结构丰富、光电性能可控等,广泛应用于光催化及气敏等领,一直是半导体氧化物研究中的热点。在以往的研究中,人们对不同结构的上述氧化物半导体的性能调控以掺杂、复合为主,通过掺杂不同价态的元素,调控其载流子浓度从而调控其光电特性。但在其应用过程中,光生载流子的低分离效率极大影响了上述材料在光电、气敏等领域应用。Z-scheme提出通过异质结提高载流子的分离效率并增强光吸收,这对光电化学性能的提升具有重要意义,并涌现出了很多工作。以ZnO为例,“Cellularheterojunctionsfabricatedthroughthesulfu ...
【技术保护点】
1.一种n‑p‑n型三明治异质结纳米材料的制备方法,其特征在于,在n型半导体纳米材料MOx表面利用原子层沉积技术沉积p型SnO纳米层,在此基础上再沉积一层n型SnO2壳结构,形成n‑p‑n型双重异质结三明治纳米结构,其中,所述的MOx纳米材料包括但不限于ZnO、TiO2、Ga2O3 n型半导体纳米材料。
【技术特征摘要】
1.一种n-p-n型三明治异质结纳米材料的制备方法,其特征在于,在n型半导体纳米材料MOx表面利用原子层沉积技术沉积p型SnO纳米层,在此基础上再沉积一层n型SnO2壳结构,形成n-p-n型双重异质结三明治纳米结构,其中,所述的MOx纳米材料包括但不限于ZnO、TiO2、Ga2O3n型半导体纳米材料。2.根据权利要求1所述一种n-p-n型三明治异质结纳米材料的制备方法,其特征在于,所述的利用原子层沉积技术沉积p型SnO纳米层,所用的前驱源为N,N'-二甲基乙二胺亚锡和水,沉积温度控制在120-160℃,沉积厚度应控制在10-50nm。3.根据权利要求1或2所述一种n-p-n型三明治异质结纳米材料的制备方法,其特征在于,所述的利用原子层沉积技术沉积n型SnO2壳结构,所用的...
【专利技术属性】
技术研发人员:何丹农,卢静,尹桂林,葛美英,王丹,金彩虹,
申请(专利权)人:上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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