基板清洗用喷嘴制造技术

本发明专利技术涉及一种基板清洗用喷嘴，向基板喷射清洗基板的清洗液，包括：第一主体，由树脂材质形成，在一面形成供用以清洗基板的清洗液流动的清洗液流路的一部分，以从另一面贯通到一面的清洗液流路的方式形成清洗液供给口，以供给清洗液；第二主体，由树脂材质形成，在与第一主体结合的一面形成清洗液流路的另一部分，沿清洗液流路形成以从清洗液流路贯通到清洗液喷射面的方式形成的多个喷射口，以向基板喷射清洗液；焊接突起，沿清洗液流路突出地形成到第一主体或第二主体，通过超音波焊接将第一主体与第二主体结合；以及焊接突起收容部，沿清洗液流路以与焊接突起对应的形状形成到第二主体或第一主体，从而收容焊接突起。

Nozzles for Substrate Cleaning

【技术实现步骤摘要】
基板清洗用喷嘴
本专利技术涉及一种基板清洗用喷嘴，尤其涉及一种可向基板喷射可清洗基板的清洗液的基板清洗用喷嘴。
技术介绍
对半导体晶片或平板显示器基板等被处理物进行处理的基板处理装置可分为蚀刻装置、清洗装置、去除器、显影器等。这些基板处理装置中的清洗装置是用以在执行特定制程而在基板的一面残留颗粒等杂质时去除所述杂质的装置。通常，设置到清洗装置的基板清洗用喷嘴可向基板表面喷射清洗液(去离子水(Deionizedwater))而从基板去除及清洗颗粒等杂质。可通过如下方式制作这种基板清洗用喷嘴：使用通过机械加工实现的单个主体的直线形清洗液流路；在单独制作上部主体与下部主体而形成清洗液流路后，利用如接着剂的第三种物质结合成一个主体；或通过利用螺杆等的物理紧固结合成一个主体。
技术实现思路
然而，这种以往的基板清洗用喷嘴在单个主体内部的直线形清洗液流路的内部流通高压的清洗液时，会在基板清洗用喷嘴的清洗液流入口或喷出口发生状态变形，因机械加工的极限性而难以在内部实现复杂且多样的形态的清洗液流路形状。另外，在单独分为上部主体与下部主体而制作时，虽易于形成复杂且多样的形态的清洗液流路，但制作制程复杂且会因接着上部主体与下部主体的接着剂而腐蚀上部主体与下部主体的接着面，接着剂会因基板的清洗制程中使用的化学物质而腐蚀。这种腐蚀成为接着强度减小的原因，从而导致因对基板清洗用喷嘴主体的持续性的负载而强度减小，故而存在基板清洗用喷嘴容易破损的问题。另外，存在如下问题：腐蚀的接着剂的一部分分离而堵塞喷射口、或在喷射清洗液时一并喷射而对基板造成损伤。本专利技术用以解决包括如上所述的问题在内的多个问题，在单独分为上部主体与下部主体而制作基板清洗用喷嘴时，由用作工业材料及构造材料的高强度的工程塑料的树脂材质形成各主体，由此可通过机械加工或射出成形容易地形成复杂且多样的形态的清洗液流路。另外，本专利技术的目的在于提供一种通过使用树脂材质，可不利用如螺杆等的物理紧固方法或利用如接着剂的第三种物质的接着方法而通过超音波焊接简单且牢固地结合上部主体与下部主体的基板清洗用喷嘴。然而，这些问题仅为例示，本专利技术的范围并不限定于此。根据本专利技术的一观点，提供一种基板清洗用喷嘴。所述基板清洗用喷嘴可包括：第一主体，由树脂材质形成，在一面形成可供用以清洗基板的清洗液流动的清洗液流路的一部分，以从另一面贯通到一面的所述清洗液流路的方式形成清洗液供给口，以便可供给所述清洗液；第二主体，由树脂材质形成，在与所述第一主体结合的一面形成所述清洗液流路的另一部分，沿所述清洗液流路形成以从所述清洗液流路贯通到清洗液喷射面的方式形成的多个喷射口，以便可向所述基板喷射所述清洗液；焊接突起，沿所述清洗液流路突出地形成到所述第一主体或所述第二主体，为了可通过超音波焊接将所述第一主体与所述第二主体结合，在进行超音波焊接时可熔融一部分；以及焊接突起收容部，沿所述清洗液流路以与所述焊接突起对应的形状形成到所述第二主体或所述第一主体，从而可收容所述焊接突起。在所述基板清洗用喷嘴中，所述焊接突起可包括：第一焊接凸阶，以所述第一主体的中心轴或所述第二主体的中心轴为基准，沿所述清洗液流路而整体以第一直径形成为圆形形状或局部圆弧形状；以及第二焊接凸阶，整体以大于所述第一直径的第二直径形成为圆形形状或局部圆弧形状，以便可形成为包覆所述第一焊接凸阶的形状；所述焊接突起收容部包括：第一焊接沟槽部，沿所述清洗液流路以与所述第一焊接凸阶对应的形状形成到所述第二主体或所述第一主体，以便可收容所述第一焊接凸阶；以及第二焊接沟槽部，沿所述清洗液流路以与所述第二焊接凸阶对应的形状形成到所述第二主体或所述第一主体，以便可收容所述第二焊接凸阶。所述基板清洗用喷嘴还可包括焊接山，所述焊接山沿所述焊接突起或所述焊接突起收容部突出地形成，从而在进行超音波焊接时与所述焊接突起收容部的底面或所述焊接突起的突出面接触而熔融。所述基板清洗用喷嘴还可包括焊接山收容部，所述焊接山收容部沿所述焊接突起收容部或所述焊接突起凹陷地形成而可收容所述焊接山的一部分，以便可收容在进行超音波焊接时所述焊接山熔融而产生的熔融液。在所述基板清洗用喷嘴中，所述焊接山可沿所述焊接突起或所述焊接突起收容部形成为波形(Waveform)。在所述基板清洗用喷嘴中，所述焊接突起能够以剖面呈四边形状的方式突出地形成，从而在内径面侧形成第一突起边角，在外径面侧形成第二突起边角，所述焊接突起收容部以剖面呈与所述焊接突起对应的四边形状的方式凹陷地形成，从而在内径面侧形成第一收容边角，在外径面侧形成第二收容边角。在所述基板清洗用喷嘴中，所述第一收容边角可形成以所述焊接突起收容部的底面为基准而按照第一角度倾斜地形成的第一倾斜部，以便在进行超音波焊接时，所述第一突起边角可依序接触而熔融，所述第二收容边角形成以所述焊接突起收容部的底面为基准而按照第二角度倾斜地形成的第二倾斜部，以便在进行超音波焊接时，所述第二突起边角可依序接触而熔融。在所述基板清洗用喷嘴中，所述焊接突起收容部中所述第一倾斜部的所述第一角度与所述第二倾斜部的所述第二角度可形成为不同的角度，以便在进行超音波焊接时可不对称地熔融而从所述第一收容边角或所述第二收容边角开始填充熔融液。在所述基板清洗用喷嘴中，所述焊接突起可形成以所述焊接突起的突出面为基准而倾斜地形成到所述第一突起边角及所述第二突起边角中的任一突起边角的第三倾斜部，以便在进行超音波焊接时可不对称地熔融而从所述第一收容边角或所述第二收容边角开始填充熔融液，所述焊接突起收容部形成以剖面呈四边形状的方式突出地形成到所述第一收容边角及所述第二收容边角中的任一收容边角的四边突出部，以便可与所述第三倾斜部依序接触而熔融。在所述基板清洗用喷嘴中，所述焊接突起能够以距所述第一主体的一面为第一高度的方式形成所述第一突起边角，以距所述第一主体的一面为与所述第一高度不同的第二高度的方式形成所述第二突起边角而倾斜地形成突出面，以便在进行超音波焊接时可不对称地熔融而从所述第一收容边角或所述第二收容边角开始填充熔融液。在所述基板清洗用喷嘴中，所述焊接突起收容部能够以距所述第二主体的一面为第一深度的方式形成所述第一收容边角，以距所述第二主体的一面为与所述第一深度不同的第二深度的方式形成所述第二收容边角而倾斜地形成底面，以便在进行超音波焊接时可不对称地熔融而从所述第一收容边角或所述第二收容边角开始填充熔融液。在所述基板清洗用喷嘴中，所述树脂材质可为聚醚醚酮(PolyetherEtherKetone，PEEK)、聚酮(Polyketone，POK)、聚苯硫醚(PolyphenyleneSulfide，PPS)、聚氯三氟乙烯(PolychloroTrifluoroethylene，PCTFE)及过氟烷基化物(Polyfluoroalkoxy，PFA)材质中的任一种工程塑料(Engineeringplastics)。根据像上述内容一样构成的本专利技术的一实施例的基板清洗用喷嘴，在单独分为上部主体与下部主体而制作基板清洗用喷嘴时，由用作工业材料及构造材料的高强度的工程塑料的树脂材质形成各主体，由此可通过机械加工或射出成形容易地形成复杂且多样的形态的清洗液流路。另外，通过使用树脂材质，可不利用如螺杆等的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板清洗用喷嘴，其特征在于，包括：第一主体，由树脂材质形成，在一面形成供用以清洗基板的清洗液流动的清洗液流路的一部分，以从另一面贯通到所述一面的所述清洗液流路的方式形成清洗液供给口，以便供给所述清洗液；第二主体，由树脂材质形成，在与所述第一主体结合的一面形成所述清洗液流路的另一部分，沿所述清洗液流路形成以从所述清洗液流路贯通到清洗液喷射面的方式形成的多个喷射口，以便向所述基板喷射所述清洗液；焊接突起，沿所述清洗液流路突出地形成到所述第一主体或所述第二主体，为了通过超音波焊接将所述第一主体与所述第二主体结合，在进行所述超音波焊接时熔融一部分；以及焊接突起收容部，沿所述清洗液流路以与所述焊接突起对应的形状形成到所述第二主体或所述第一主体，从而收容所述焊接突起。

【技术特征摘要】
2017.11.30 KR 10-2017-01636671.一种基板清洗用喷嘴，其特征在于，包括：第一主体，由树脂材质形成，在一面形成供用以清洗基板的清洗液流动的清洗液流路的一部分，以从另一面贯通到所述一面的所述清洗液流路的方式形成清洗液供给口，以便供给所述清洗液；第二主体，由树脂材质形成，在与所述第一主体结合的一面形成所述清洗液流路的另一部分，沿所述清洗液流路形成以从所述清洗液流路贯通到清洗液喷射面的方式形成的多个喷射口，以便向所述基板喷射所述清洗液；焊接突起，沿所述清洗液流路突出地形成到所述第一主体或所述第二主体，为了通过超音波焊接将所述第一主体与所述第二主体结合，在进行所述超音波焊接时熔融一部分；以及焊接突起收容部，沿所述清洗液流路以与所述焊接突起对应的形状形成到所述第二主体或所述第一主体，从而收容所述焊接突起。2.根据权利要求1所述的基板清洗用喷嘴，其特征在于，所述焊接突起包括：第一焊接凸阶，以所述第一主体的中心轴或所述第二主体的中心轴为基准，沿所述清洗液流路而整体以第一直径形成为圆形形状或局部圆弧形状；以及第二焊接凸阶，整体以大于所述第一直径的第二直径形成为圆形形状或局部圆弧形状，以便形成为包覆所述第一焊接凸阶的形状；所述焊接突起收容部包括：第一焊接沟槽部，沿所述清洗液流路以与所述第一焊接凸阶对应的形状形成到所述第二主体或所述第一主体，以便收容所述第一焊接凸阶；以及第二焊接沟槽部，沿所述清洗液流路以与所述第二焊接凸阶对应的形状形成到所述第二主体或所述第一主体，以便收容所述第二焊接凸阶。3.根据权利要求1所述的基板清洗用喷嘴，其特征在于，还包括焊接山，所述焊接山沿所述焊接突起或所...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩万昊，朱宁民，安国基，金胤德，
申请(专利权)人：三维普力约尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR