阀板相对于阀杆的安装构造制造技术

本发明专利技术提供一种阀板相对于阀杆的安装构造，将阀板与阀杆以能够沿阀杆的轴线方向拆下的方式连结并以不产生相对旋转的方式牢固地固定。在形成于阀板(3)的安装孔(13)的孔后壁(13b)的一部分和形成于阀杆(4)的安装部(14)的杆后壁(14b)的一部分分别形成通过相互抵接配合而发挥楔效应的倾斜部(13bl、14bl)，在用阀板固定螺钉(17)将阀板(3)与阀杆(4)沿轴线(L)方向固定时，通过倾斜部(13b1、14b1)彼此相互抵接时的楔效应，安装部(14)的杆前壁(14a)与安装孔(13)的孔前壁(13a)紧贴，阀板(3)与阀杆(4)以不产生相对旋转的方式高精度且牢固地固定。

Installation Structure of Valve Plate relative to Stem

【技术实现步骤摘要】
阀板相对于阀杆的安装构造
本专利技术涉及用于将闸阀的阀板安装于阀杆的前端的安装构造。
技术介绍
在半导体处理装置中，将闸阀用于与真空腔室连通的开口的开闭。该闸阀构成为，将安装于阀杆的前端的阀板收容在阀箱内，将该阀箱安装于真空腔室，利用所述阀板对形成于该阀箱的侧壁的所述开口进行开闭。此时，通过将安装于所述阀板的密封构件按压于所述开口的周围的阀座，从而进行所述开口的关闭。在所述闸阀中，由于所述密封构件会随着所述闸阀的使用而逐渐劣化，所以需要在劣化的阶段更换为新的密封构件。在该情况下，以往，由于在将所述闸阀从真空腔室拆下之后，必须将所述阀板从阀杆拆下而从所述阀箱取出，然后进行所述密封构件的更换，因此更换需要较多的工夫和时间。因此，期望能够简单且迅速地进行密封构件的更换的闸阀的出现。另外，近年来，由于半导体的线宽逐渐变窄，因此在处理工序时产生的颗粒的减少成为课题(零颗粒成为目标)，为了实现该课题，在闸阀中如何消除在工作时在各部件间产生摩擦的情形成为重要的课题。另一方面，在专利文献1中公开了一种闸阀，所述闸阀能够在将闸阀安装于真空腔室的状态下将阀板从阀杆拆下并从阀箱取出。该改良型的闸阀通过利用螺钉将所述阀板固定于阀杆的上端，能够将该阀板沿阀杆的轴线方向拆下，并通过拆下阀箱的上表面的盖并松开所述螺钉，能够将所述阀板从所述阀杆拆下并从阀箱的上表面取出到外部。因此，该改良型的闸阀在进行密封构件的更换时，不需要将闸阀从真空腔室拆下，就能够仅将所述阀板从阀箱简单且迅速地取出。但是，所述专利文献1公开的闸阀具有如下缺点：所述阀板能够旋转地安装于阀杆，在该阀板被按压于阀座部时，由于该阀板与所述阀座相应地旋转，因此在所述阀板与阀座之间产生摩擦，因该摩擦而容易产生颗粒。为了不产生所述颗粒，需要高精度且可靠地将所述阀板以不会相对旋转的方式固定于所述阀杆。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-291221号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术的技术课题在于，通过在以能够简单且迅速地进行阀板从阀箱的取出的方式将该阀板与阀杆连结的同时，将所述阀板与阀杆牢固地固定，从而防止闸阀工作时的颗粒的产生。用于解决课题的技术方案为了解决所述课题，根据本专利技术，提供一种安装构造，在构成为将安装于阀杆的前端的阀板收容在阀箱内并利用所述阀板对形成于该阀箱的侧壁的开口进行开闭的闸阀中，所述安装构造用于将所述阀板以能够沿该阀杆的轴线方向拆下的方式安装于所述阀杆的前端。在该安装构造中，所述阀板具有安装有密封构件的阀前表面、与该阀前表面相反的一侧的阀背面、阀上表面及阀下表面、以及形成于该阀下表面的安装孔，所述安装孔具有在阀板的左右方向上细长的长孔状，并具有位于所述阀前表面侧的孔前壁、位于所述阀背面侧的孔后壁、左右的孔侧壁、以及作为该安装孔的深度方向的端部的孔端壁，所述阀杆具有插入于所述安装孔的安装部，该安装部具有与所述安装孔的孔前壁相向的杆前壁、与所述安装孔的孔后壁相向的杆后壁、左右的杆侧壁、以及与所述安装孔的孔端壁相向的杆前端壁，在所述阀板的阀上表面及阀杆的杆前端壁，在该阀杆的轴线上形成有用于安装将该阀板固定于阀杆的阀板固定螺钉的螺钉插通孔以及螺纹孔，在所述安装孔的孔后壁的一部分及所述安装部的杆后壁的一部分分别形成有倾斜部，所述倾斜部通过在将该安装部插入到所述安装孔内并利用所述阀板固定螺钉将所述阀板固定于阀杆时相互抵接配合，从而使所述安装部的杆前壁与所述安装孔的孔前壁相互紧贴。在本专利技术中，所述安装孔的孔前壁、孔后壁及孔端壁和所述安装部的杆前壁、杆后壁及杆前端壁分别平坦。另外，形成于所述安装孔的孔后壁的第一倾斜部形成于从该安装孔的深度方向的中途位置到该安装孔的入口为止的部分，并随着接近该入口而向所述孔后壁与孔前壁的间隔逐渐扩大的方向倾斜，形成于所述安装部的杆后壁的第二倾斜部形成于从该安装部的轴线方向的中途位置到该安装部的基端部为止的部分，并随着接近该基端部而向所述杆后壁与杆前壁的间隔逐渐扩大的方向倾斜。在该情况下，优选的是，所述安装孔的孔后壁在孔端壁与所述第一倾斜部之间具有与所述孔前壁平行的第一平行部，所述安装部的杆后壁在杆前端壁与所述第二倾斜部之间具有与所述杆前壁平行的第二平行部，所述第一平行部的轴线方向宽度比所述第二平行部的轴线方向宽度大。在本专利技术中，优选的是，在所述阀杆的安装部以与该安装部和所述安装孔之间的间隙连通的方式形成有空气孔，所述空气孔用于将所述螺纹孔内部的空气排出到外部。另外，在本专利技术中，优选的是，为了通过拧入由螺纹杆构成的第一工具而使该阀板相对于所述阀杆沿轴线方向位移，在所述阀板的阀上表面上形成有由螺纹孔构成的第一工具安装孔，所述第一工具安装孔以从该阀上表面到达所述安装孔的方式形成于与所述阀上表面的所述螺钉插通孔相邻且与所述阀杆的杆前端壁对应的位置。或者，也可以是，为了安装第二工具，在所述阀板的阀上表面上形成有两个第二工具安装孔，所述第二工具用于将该阀板沿轴线方向抬起并将其从所述阀杆拆下，该两个第二工具安装孔在夹着所述阀上表面的所述螺钉插通孔而呈左右对称的位置各形成有一个。专利技术效果根据本专利技术，通过将阀板以能够沿阀杆的轴线方向拆下的方式与该阀杆连结，能够简单且迅速地进行该阀板从阀箱的取出，另外，通过高精度且牢固地将所述阀板以不会产生相对的旋转的方式固定于所述阀杆，能够防止由所述阀板与阀杆的摩擦引起的颗粒的产生。附图说明图1是应用了本专利技术的闸阀的主视图。图2是沿着图1的II-II线的局部放大剖视图。图3是沿着图2的III-III线的局部放大剖视图，且是将图的朝向改变90度而得到的图。图4是将阀板、阀杆及阀板固定螺钉分离而示出的剖视图。图5是从正面侧观察将阀板固定于阀杆的状态的立体图。图6是从背面侧观察图5的阀板及阀杆的立体图。图7是取出阀板之前的闸阀的立体图。图8是拆下阀箱上表面的盖的状态下的闸阀的立体图。图9是将固定阀板和阀杆的阀板固定螺钉松开时的闸阀的立体图。图10是图9的主要部分放大剖视图。图11是用第一工具使阀板从阀杆浮起的中途的闸阀的立体图。图12是图11的主要部分放大剖视图。图13是将第二工具安装于阀板的状态下的闸阀的立体图。图14是将阀板从阀箱取出的状态下的闸阀的立体图。图15是从阀板拆下所述工具的状态下的闸阀的立体图。附图标记说明1阀箱1a侧壁2开口3阀板3a阀前表面3b阀背面3c阀上表面3d阀下表面4阀杆7密封构件13安装孔13a孔前壁13b孔后壁13b1第一倾斜部13b2第一平行部13c孔侧壁13d孔端壁13e入口14安装部14a杆前壁14b杆后壁14b1第二倾斜部14b2第二平行部14c杆侧壁14d杆前端壁14e基端部17阀板固定螺钉18螺钉插通孔19螺纹孔21空气孔22a、22b工具23a、23b工具安装孔Wl、W2间隔G1、G2间隙H上下宽度。具体实施方式在图1及图2中示出了将本专利技术的安装构造应用于阀板与阀杆的安装的闸阀。该闸阀安装于未图示的真空腔室来进行使用，具有：阀箱1，所述阀箱1具备与该真空腔室连通的开口2；阀板3，所述阀板3收容于该阀箱1的内部并对所述开口2进行开闭；开闭操作用的阀杆4，所述阀杆4固定于该阀板3；以及阀驱动部5，所述阀驱动部5驱动该阀杆4，通过利用该阀驱动部5驱动所述阀杆4，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阀板相对于阀杆的安装构造，在构成为将安装于阀杆的前端的阀板收容在阀箱内并利用所述阀板对形成于该阀箱的侧壁的开口进行开闭的闸阀中，所述安装构造用于将所述阀板以能够沿该阀杆的轴线方向拆下的方式安装于所述阀杆的前端，所述安装构造的特征在于，所述阀板具有安装有密封构件的阀前表面、与该阀前表面相反的一侧的阀背面、阀上表面及阀下表面、以及形成于该阀下表面的安装孔，所述安装孔具有在阀板的左右方向上细长的长孔状，并具有位于所述阀前表面侧的孔前壁、位于所述阀背面侧的孔后壁、左右的孔侧壁、以及作为该安装孔的深度方向的端部的孔端壁，所述阀杆具有插入于所述安装孔的安装部，该安装部具有与所述安装孔的孔前壁相向的杆前壁、与所述安装孔的孔后壁相向的杆后壁、左右的杆侧壁、以及与所述安装孔的孔端壁相向的杆前端壁，在所述阀板的阀上表面及阀杆的杆前端壁，在该阀杆的轴线上形成有用于安装将该阀板固定于阀杆的阀板固定螺钉的螺钉插通孔以及螺纹孔，在所述安装孔的孔后壁的一部分及所述安装部的杆后壁的一部分分别形成有倾斜部，所述倾斜部通过在将该安装部插入到所述安装孔内并利用所述阀板固定螺钉将所述阀板固定于阀杆时相互抵接配合，从而使所述安装部的杆前壁与所述安装孔的孔前壁相互紧贴。...

【技术特征摘要】
2018.01.10 JP 2018-0022031.一种阀板相对于阀杆的安装构造，在构成为将安装于阀杆的前端的阀板收容在阀箱内并利用所述阀板对形成于该阀箱的侧壁的开口进行开闭的闸阀中，所述安装构造用于将所述阀板以能够沿该阀杆的轴线方向拆下的方式安装于所述阀杆的前端，所述安装构造的特征在于，所述阀板具有安装有密封构件的阀前表面、与该阀前表面相反的一侧的阀背面、阀上表面及阀下表面、以及形成于该阀下表面的安装孔，所述安装孔具有在阀板的左右方向上细长的长孔状，并具有位于所述阀前表面侧的孔前壁、位于所述阀背面侧的孔后壁、左右的孔侧壁、以及作为该安装孔的深度方向的端部的孔端壁，所述阀杆具有插入于所述安装孔的安装部，该安装部具有与所述安装孔的孔前壁相向的杆前壁、与所述安装孔的孔后壁相向的杆后壁、左右的杆侧壁、以及与所述安装孔的孔端壁相向的杆前端壁，在所述阀板的阀上表面及阀杆的杆前端壁，在该阀杆的轴线上形成有用于安装将该阀板固定于阀杆的阀板固定螺钉的螺钉插通孔以及螺纹孔，在所述安装孔的孔后壁的一部分及所述安装部的杆后壁的一部分分别形成有倾斜部，所述倾斜部通过在将该安装部插入到所述安装孔内并利用所述阀板固定螺钉将所述阀板固定于阀杆时相互抵接配合，从而使所述安装部的杆前壁与所述安装孔的孔前壁相互紧贴。2.根据权利要求1所述的阀板相对于阀杆的安装构造，其特征在于，所述安装孔的孔前壁、孔后壁及孔端壁和所述安装部的杆前壁、杆后壁及杆前端壁分别平坦。3.根据权利要求2所述的阀板相对于阀杆的安装构造，其特征在于，形成于所述安装孔的孔后壁的第一倾斜部形...

【专利技术属性】
技术研发人员：下田洋己，长尾格，越智健，小川浩司，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP