一种直排大气的罗茨干式真空泵转子及其加工工艺制造技术

技术编号:2161331 阅读:302 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及罗茨泵设计,具体地说是一种直排大气的罗茨干式真空泵转子及其加工工艺。其加工工艺是用腰部圆弧替代渐开线设计转子块,单独加工转子块,再与中心轴进行组装;步骤:1)加工转子块:毛坯选用球墨铸铁棒材;加工方法:先加工棒材的外表面及两个端面,按转子块厚度切割,然后加工转子块的其余两个面(外圆面和内圆面),再根据使用要求切割成所需厚度的转子块;2)将两块转子块和销轴通过销孔连成一体。本发明专利技术具有加工工艺简单、成本低,零件通用性强、适用于IC装备等特点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种直排大气的罗茨干式真空泵转子,其特征在于:多级转子组安装在中心轴上,两中心轴上的转子组相互啮合时两转子腰部圆弧啮合的最小距离δ在0.08mm~0.14mm之间;其转子组分为三部分:左转子块、销轴和右转子块,左、右转子块与销轴之间采用销孔定位、螺栓连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王光玉张振厚刘坤秦柏林
申请(专利权)人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
类型:发明
国别省市:89[中国|沈阳]

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