参考平面镜承载装置以及激光干涉检测设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种参考平面镜承载装置以及激光干涉检测设备。本发明专利技术的参考平面镜承载装置包括：平面镜承载部；以及微位移部，用于驱动平面镜承载部沿光轴方向进行微小的位置移动，其中，平面镜承载部含有承载盘安装座以及安装在该承载盘安装座上的承载盘，微位移部含有对应布置的固定板和移动板、至少两个弹性连接件、以及至少一个压电陶瓷封装驱动件，承载盘安装座安装在移动板的下端面，压电陶瓷封装驱动件具有两个端盖以及用于使该两个端盖相对移动的压电陶瓷圈，两个端盖分别与固定板的下端面和移动板的上端面相触接，一个端盖的内端设有与压电陶瓷圈的形状相匹配的凸台，压电陶瓷圈位于两个端盖之间并套接在凸台的外部。

Reference Plane Mirror Bearing Device and Laser Interference Detection Equipment

【技术实现步骤摘要】
参考平面镜承载装置以及激光干涉检测设备
本专利技术属于激光干涉检测设备
，具体涉及一种参考平面镜承载装置以及包含该参考平面镜承载装置的激光干涉检测设备。
技术介绍
移相干涉技术因其高测量精度而被广泛用于各种激光干涉检测设备中。压电陶瓷堆具有良好的精密定位等优点，既能实现大位移的精密定位，也能实现纳米尺度小位移的精密定位，现已成为激光干涉检测设备中的移相器的主要部件。然而，现有的压电陶瓷堆式移相器的结构复杂且体积较大，造成封装困难且实用性不强。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种参考平面镜承载装置以及包含该参考平面镜承载装置的激光干涉检测设备。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：<结构一>本专利技术提供了一种参考平面镜承载装置，安装在具有准直透镜的激光干涉检测设备上并且与准直透镜同光轴设置，用于承载参考平面镜并带动该参考平面镜相对于准直透镜进行微小位置移动，其特征在于，包括：平面镜承载部；以及微位移部，用于驱动平面镜承载部沿光轴方向进行微小位置移动，其中，平面镜承载部含有承载盘安装座以及安装在该承载盘安装座上用于放置参考平面镜的承载盘，微位移部含有对应布置的固定板和移动板、用于连接固定臂和移动板的至少两个弹性连接件、以及用于驱动移动板相对于固定板进行微小位置移动的至少一个压电陶瓷封装驱动件，承载盘安装座安装在移动板的外端面，并且固定板和移动板均设有与参考平面镜的形状相匹配用于检测光束穿过的开口部，压电陶瓷封装驱动件具有两个端盖以及用于使该两个端盖相对移动的压电陶瓷圈，两个端盖分别与固定板和移动板的内端面相触接，一个端盖的内端设有与压电陶瓷圈的形状相匹配的凸台，压电陶瓷圈位于两个端盖之间并套接在凸台的外部。本专利技术提供的参考平面镜承载装置，还可以具有这样的特征：其中，压电陶瓷封装驱动件还具有两个分别安装在两个端盖上的传动钢球，端盖外端面的中央位置设有与传动钢球的形状相匹配的钢球安装槽，端盖通过传动钢球与固定板或移动板的内端面相触接。本专利技术提供的参考平面镜承载装置，还可以具有这样的特征：其中，凸台的中央位置设有导向槽，另一个端盖的内端设有与导向槽的形状相匹配的导向杆，该导向杆插设在导向槽内。本专利技术提供的参考平面镜承载装置，还可以具有这样的特征：其中，弹性连接件是横截面形状为W形、S形以及U形中任意一者的弹簧片，该弹簧片的两端分别与固定板和移动板相连接。本专利技术提供的参考平面镜承载装置，还可以具有这样的特征：其中，弹性连接件为两个，两个弹性构件对称设置在固定板和移动板的两个侧端。本专利技术提供的参考平面镜承载装置，还可以具有这样的特征：其中，压电陶瓷封装驱动件为一个，一个压电陶瓷封装驱动件设置在固定板和移动板的中央位置。<结构二>本专利技术还提供了一种激光干涉检测设备，其特征在于，包括：设备主体，具有准直透镜；以及参考平面镜承载装置，与准直透镜同光轴设置，用于承载参考平面镜，其中，参考平面镜承载装置为<结构一>的参考平面镜承载装置。专利技术作用与效果根据本专利技术所涉及的参考平面镜承载装置以及包含该参考平面镜承载装置的激光干涉检测设备，因为具有平面镜承载部以及微位移部，该微位移部含有固定板、移动板、至少两个弹性连接件以及至少一个压电陶瓷封装驱动件，压电陶瓷封装驱动件具有两个端盖以及能够使两个端盖相对移动的压电陶瓷圈，一个端盖的内端设有与压电陶瓷圈的形状相匹配的凸台，压电陶瓷圈位于两个端盖之间并套接在凸台的外部，所以，本专利技术中作为移相器的微位移部的结构简单且体积较小，操作方便，实用性强。附图说明图1是本专利技术的实施例中激光干涉检测设备的立体结构示意图；图2是本专利技术的实施例中参考平面镜承载装置的仰视立体结构示意图；图3是本专利技术的实施例中参考平面镜承载装置的仰视分解安装示意图；以及图4是本专利技术的实施例中压电陶瓷封装驱动件的分解安装示意图。具体实施方式以下将结合附图对本专利技术的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本专利技术的目的、特征和效果。图1是本专利技术的实施例中激光干涉检测设备的立体结构示意图。如图1所示，本实施例中的激光干涉检测设备100，用于对待测镜的端面面形精度和内部材质均匀性进行检测。激光干涉检测设备100包括机座10、设备主体20、参考平面镜承载装置30以及待测镜承载装置40。如图1所示，机座10为由金属材料制成的座体，用于固定安装设备主体20、参考平面镜承载装置30以及待测镜承载装置40。机座10的顶部设有机座支架11，底部设有四个支撑气垫12，该四个支撑气垫12设置在机座10底部的周边区域。如图1所示，设备主体20包含设置在机座支架11上的激光发射器、滤波器、分光镜、准直透镜、成像物镜、图像探测器和处理部(图中未示出)。激光发射器用于发射出激光束。滤波器为空间滤波器，接收激光发射器发射来的激光束并对该激光束进行滤波，滤掉杂散光。分光镜用于将被滤波器滤波后的激光束透射到准直透镜，并将参考平面镜的工作面反射形成的参考光束、以及待测镜的工作面反射形成的测试光束进行反射。准直透镜接收经分光镜透射过来的滤波后的激光束并对该激光束进行准直，从而形成准直光束发射到参考平面镜以及待测镜。成像物镜为聚光镜，接收经分光镜反射的参考光束和测试光束，从而形成干涉条纹进行发射。图像探测器接收成像物镜发射来的干涉条纹并形成干涉图像。处理部与图像探测器通信连接，接收图像探测器发送来的干涉图像，并对该干涉图像进行处理得到待测镜的端面面形信息和内部材质均匀性信息。在本实施例中，处理部为包含有数据处理程序的计算机。图2是本专利技术的实施例中参考平面镜承载装置的仰视立体结构示意图；图3是本专利技术的实施例中参考平面镜承载装置的仰视分解安装示意图。如图1至图3所示，参考平面镜承载装置30位于准直透镜的正下方并且与准直透镜同光轴设置，用于承载参考平面镜。参考平面镜承载装置30包含平面镜承载部31以及微位移部32。如图2和图3所示，平面镜承载部31包括承载盘安装座311以及承载盘312。承载盘安装座311具有第一安装板311a、第二安装板311b、两个倾斜调节旋钮311c。第二安装板311b活动安装在第一安装板311a上；两个倾斜调节旋钮311c对称设置在第二安装板311b上并且与第一安装板311a相连接，用于调节第二安装板311b的水平倾斜角度，进而对放置在承载盘312上的参考平面镜的水平倾斜角度进行调节。第二安装板311b上设有两个对称布置的锁紧件311d。承载盘312为圆环盘，用于放置参考平面镜。承载盘312的一端嵌设在第二安装板311b内，另一端设有压紧环套312a，该压紧环套312a用于将参考平面镜压紧在承载盘312上。本实施例中，承载盘312设有两个分别与两个锁紧件311d相匹配的固定销(图中未示出)，通过固定销与对应的锁紧件311d相锁合，从而对承载盘312进行锁紧定位。如图2和图3所示，微位移部32作为移相器用于驱动参考平面镜承载部31沿光轴方向进行微小位置移动，进而带动参考平面镜移动，从而实现对参考平面镜反射形成的参考光束的移相的目的。微位移部32含有固定板321、移动板322、两个弹性连接件323以及一个压电陶瓷封装驱动件324。固定板321为长方形板，一侧端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种参考平面镜承载装置，安装在具有准直透镜的激光干涉检测设备上并且与所述准直透镜同光轴设置，用于承载参考平面镜并带动该参考平面镜相对于所述准直透镜进行微小位置移动，其特征在于，包括：平面镜承载部；以及微位移部，用于驱动所述平面镜承载部沿光轴方向进行微小位置移动，其中，所述平面镜承载部含有承载盘安装座以及安装在该承载盘安装座上用于放置参考平面镜的承载盘，所述微位移部含有对应布置的固定板和移动板、用于连接所述固定臂和所述移动板的至少两个弹性连接件、以及用于驱动所述移动板相对于所述固定板进行微小位置移动的至少一个压电陶瓷封装驱动件，所述承载盘安装座安装在所述移动板的外端面，并且所述固定板和所述移动板均设有与所述参考平面镜的形状相匹配用于检测光束穿过的开口部，所述压电陶瓷封装驱动件具有两个端盖以及用于使该两个端盖相对移动的压电陶瓷圈，所述两个端盖分别与所述固定板和所述移动板的内端面相触接，一个所述端盖的内端设有与所述压电陶瓷圈的形状相匹配的凸台，所述压电陶瓷圈位于所述两个端盖之间并套接在所述凸台的外部。

【技术特征摘要】
1.一种参考平面镜承载装置，安装在具有准直透镜的激光干涉检测设备上并且与所述准直透镜同光轴设置，用于承载参考平面镜并带动该参考平面镜相对于所述准直透镜进行微小位置移动，其特征在于，包括：平面镜承载部；以及微位移部，用于驱动所述平面镜承载部沿光轴方向进行微小位置移动，其中，所述平面镜承载部含有承载盘安装座以及安装在该承载盘安装座上用于放置参考平面镜的承载盘，所述微位移部含有对应布置的固定板和移动板、用于连接所述固定臂和所述移动板的至少两个弹性连接件、以及用于驱动所述移动板相对于所述固定板进行微小位置移动的至少一个压电陶瓷封装驱动件，所述承载盘安装座安装在所述移动板的外端面，并且所述固定板和所述移动板均设有与所述参考平面镜的形状相匹配用于检测光束穿过的开口部，所述压电陶瓷封装驱动件具有两个端盖以及用于使该两个端盖相对移动的压电陶瓷圈，所述两个端盖分别与所述固定板和所述移动板的内端面相触接，一个所述端盖的内端设有与所述压电陶瓷圈的形状相匹配的凸台，所述压电陶瓷圈位于所述两个端盖之间并套接在所述凸台的外部。2.根据权利要求1所述的参考平面镜承载装置，其特征在于：其中，所述压电陶瓷封装驱动件还具有两个分别安装在所述两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：王全召，韩森，张凌华，李雪园，王芳，
申请(专利权)人：苏州慧利仪器有限责任公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32