【技术实现步骤摘要】
一种foup盒自动解锁装置及foup盒
本专利技术涉及应用于工业领域的自动机械装置
，尤其涉及一种foup盒自动解锁装置及一种foup盒。
技术介绍
半导体晶圆在制造过程中会有许多的程序或步骤，而晶圆则会因这些程序或步骤，需要置放于不同的位置以及不同的机器中，因此在工艺中晶圆必须从一处运送至另一处，甚至必须储存一段时间，以配合必要的工艺。其中，晶圆承载装置(Cassette)同时具备储存及运送功能，并且需要适用于各种形式的运输及传送装置，因此在半导体晶圆在制造过程中扮演了极为重要的角色。半导体制造工厂中，晶圆通常需要在生产线上不同的工艺模块之间进行高效的传输和定位，设备前端装置(EquipmentFrontEndModule，简称EFEM)正是完成这一任务的关键装备，是连接物料搬运系统与晶圆处理系统的桥梁，能够使晶圆在不受污染的条件下被准确的传输。设备前端装置至少包括用于存储晶圆的晶圆盒(FrontOpeningUnifiedPod，简称Foup)、用于承载晶圆盒的装载端口(LoadPort)以及用于将晶圆从晶圆盒内取出和收纳至晶圆盒内的操作机械手，该装载端...
【技术保护点】
1.一种foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述foup盒自动解锁装置包括至少两组foup盒自动解锁机构，所述foup盒自动解锁机构安装在foup盒的一支撑板上；每一组foup盒自动解锁机构包括：气缸组件、解锁连接件、钥匙安装座、钥匙、轴承安装座、钥匙支撑基轴、转动轴承，所述轴承安装座固定或可转动地安装在所述支撑板上，所述气缸组件的尾部与所述支撑板连接，所述气缸组件的头部与所述解锁连接件的一端连接，所述解锁连接件的另一端与所述钥匙安装座连接，所述钥匙于所述钥匙安装座连接，所述钥匙安装座安装在所述轴承安装座上。
【技术特征摘要】
1.一种foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述foup盒自动解锁装置包括至少两组foup盒自动解锁机构，所述foup盒自动解锁机构安装在foup盒的一支撑板上；每一组foup盒自动解锁机构包括：气缸组件、解锁连接件、钥匙安装座、钥匙、轴承安装座、钥匙支撑基轴、转动轴承，所述轴承安装座固定或可转动地安装在所述支撑板上，所述气缸组件的尾部与所述支撑板连接，所述气缸组件的头部与所述解锁连接件的一端连接，所述解锁连接件的另一端与所述钥匙安装座连接，所述钥匙于所述钥匙安装座连接，所述钥匙安装座安装在所述轴承安装座上。2.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述气缸组件的尾部通过销轴与所述支撑板铰接，所述气缸组件的头部与所述解锁连接件的一端固定连接。3.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述解锁连接件的另一端与所述钥匙安装座...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵治国，何书龙，于大元，华正雨，陈睿，周昊，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21
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