一种高纯铝旋转靶焊接端头的半自动校直方法技术

本发明专利技术公开了一种高纯铝旋转靶焊接端头的半自动校直方法，将铝合金尾盖固定在旋转装夹装置后，启动旋转装夹装置使高纯铝旋转靶转动，通过校直测量装置测量铝合金端头的直线度，从而确定内，外校直点和校直值，使用加热装置将铝合金端头进行加热，铝合金端头加热至规定温度，将半自动校直装置放置于外校直点处，半自动校直装置抵顶外校直点，校直测量装置放置于内校直点，人工操作半自动校直装置，直至校直测量装置内的指针活动值达到校直值，停止加热装置加热，高纯铝旋转靶冷却至室温，对高纯铝旋转靶的校直进行检查，直至校直值≤0.3mm。本发明专利技术的校直方法，高纯靶材管不变形，校直效果好不反弹，校直精度高，成品率高。

A Semi-automatic Straightening Method for Welding End of High Purity Aluminum Rotary Target

【技术实现步骤摘要】
一种高纯铝旋转靶焊接端头的半自动校直方法
本专利技术涉及高纯旋转靶
，尤其是涉及一种高纯铝旋转靶焊接端头的半自动校直方法。
技术介绍
高纯铝靶材是指由纯度99.999％的金属铝材料制成的靶材，高纯铝旋转靶是指由纯度99.999％的靶材制成的呈管状的旋转靶，旋转靶材目前已广泛应用于电子、通信、超导、航天等尖端领域。旋转靶材是管状的，利用效率高，但不易加工，而且对于一些材料如Al、Sn和Cu等，由于材料这些金属材料的强度较差，管材容易弯曲变形，无法直接作为靶材使用，因而需要在高纯靶材管的两端安装由材质较硬的合金制成合金端头，再将合金端头与高纯靶材管进行组装焊接，焊接接头处的外侧利用电子束进行焊接。由于高纯靶材管在溅射使用过程中，管内装有磁钢，对内径的直线度要求很高，一般要求直线度≤0.5mm。然而，在对合金端头与高纯靶材管焊接组装时焊接的温度较高，高纯靶材管材质较软，容易受到高温的影响导致高纯靶材管和合金端头相对歪斜或弯曲变形，直线度达不到使用要求。在对高纯靶材管进行直线度检测时，需要对高纯靶材管进行固定并旋转，现有的检测校直机器中的夹具装置直接装夹在高纯靶材管上，由于一些金属材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高纯铝旋转靶焊接端头的半自动校直方法，其特征在于：1)、准备步骤，将高纯铝旋转靶(02)吊移至校直设备，并放置于校直设备的机架(60)上，其中，高纯铝旋转靶(02)包括高纯铝靶材管(03)、铝合金端头(04)和铝合金尾盖(05)，铝合金端头(04)和铝合金尾盖(05)分别与高纯铝靶材管(03)的两端焊接安装，铝合金端头(04)与高纯铝靶材管(03)的连接处有一端头焊接口，铝合金端头(04)端口外壁固定有一法兰盘，法兰盘与铝合金端头(04)同轴设置，校直设备包括机架(60)、加热装置(61)、旋转装夹装置(63)、固定承托装置(80)、半自动校直装置(70)和校直测量装置(64)；2)、...

【技术特征摘要】
1.一种高纯铝旋转靶焊接端头的半自动校直方法，其特征在于：1)、准备步骤，将高纯铝旋转靶(02)吊移至校直设备，并放置于校直设备的机架(60)上，其中，高纯铝旋转靶(02)包括高纯铝靶材管(03)、铝合金端头(04)和铝合金尾盖(05)，铝合金端头(04)和铝合金尾盖(05)分别与高纯铝靶材管(03)的两端焊接安装，铝合金端头(04)与高纯铝靶材管(03)的连接处有一端头焊接口，铝合金端头(04)端口外壁固定有一法兰盘，法兰盘与铝合金端头(04)同轴设置，校直设备包括机架(60)、加热装置(61)、旋转装夹装置(63)、固定承托装置(80)、半自动校直装置(70)和校直测量装置(64)；2)、固定步骤，将焊接有铝合金尾盖(05)的高纯铝旋转靶(02)的一端同轴装夹固定于校直设备的旋转装夹装置(63)，焊接有铝合金端头(04)的高纯铝旋转靶(02)的一端活动放置于固定承托装置(80)，通过旋转装夹装置(63)旋转，使高纯铝旋转靶(02)相对固定承托装置(80)旋转，其中，半自动校直装置(70)位于固定承托装置(80)的外侧，端头焊接口位于固定承托装置(80)与半自动校直装置(70)之间，加热装置(61)位于端头焊接口的上方；3)、校直点确定步骤，包括以下子步骤，3.1)、测量工具放置步骤，将校直测量装置(64)的测量杆的最下端抵贴于铝合金端头(04)内壁的端口边缘处，测量杆固定位于一位置点，通过将测量杆向下压一定的距离从而在测量表上形成一对应的初始数值，同时测量杆也形成有一定的向下的测量行程，其中，校直测量装置(64)固定于校直设备的机架(60)上，校直测量装置(64)设置有测量杆和测量表，测量杆与测量表连接，测量杆的位移变化反应于测量表的数值变化，3.2)、校直点测量步骤，通过启动旋转装夹装置(63)使铝合金端头(04)旋转，若铝合金端头(04)与高纯铝靶材管(03)不同轴，铝合金端头(04)在旋转过程中发生偏转，使抵顶于铝合金端头(04)端口边缘处的测量杆发生上下移动，从而使测量表内的数值发生对应的变化，记录测量表内的相对初始数值的变大幅度最大的最大值和/或最小值，3.3)、校直点和校直值确定步骤，在记录得到初始数值、相对初始数值的变大幅度最大的最大值和的相对初始数值的变大幅度最大的最小值中的数值最小的为内校直点，内校直点与高纯铝靶材管(03)的轴线形成一校直面，内校直点对应的铝合金端头(04)端口的法兰盘的外壁的点确定为外校直点，内校直点与外校直点均位于校直面内，通过旋转装夹装置(63)旋转高纯铝旋转靶(02)使校直面旋转至竖直，外校直点为校直面的最低位置，初始数值和相对初始数值的变大幅度最大的最大值中的最大值与内校直点的测量表对应数值的差的一半与为校直值，将外校直点旋转至高纯铝旋转靶(02)的竖直方向的最低点，3.4)、固定校直点步骤，将固定承托装置(80)锁定高纯铝旋转靶(02)，使校直面保持竖直，外校直点在校直过程中保持在校直面的最低位置；4)、校直加热步骤，将加热装置(61)移动至端头焊接口处，通过加热装置(61)将端头焊接口的温度加热至150℃-300℃；5)、半自动校直步骤，通过将抵顶部(71)上升顶推外校直点，使铝合金端头(04)沿径向方向产生形变，从而将高纯铝靶材管(03)和铝合金端头(04)之间的直线度提高，将测量杆的最低点抵贴于内校直点，人工控制半自动校直装置(70)使抵顶部(71)上升顶推外校直点，当测量表的增加数值等于校直值时，人工停止对半自动校直装置(70)的操作，同时加热装置(61)停止对端头焊接口加热，高纯铝旋转靶(02)冷却至常温，其中，半自动校直装置(70)包括控制器、电机、定量传动杆和千斤顶，千斤顶包括抵顶部(71)、动力输入端(72)和抵顶驱动部(73)，抵顶驱动部(73)与抵顶部(71)驱动连接，动力输入端(72)与抵顶驱动部(73)连接，控制器电性连接电机，电机的输出端连接定量传动杆，定量传动杆与动力输入端(72)连接，通过电机带动定量传动杆转动使动力输入端(72)的动力输入为定量输入，从而使抵顶部(71)的顶推距离定量控制；6)、校直检验步骤，当高纯铝旋转靶(02)冷却至常温后，重复校直点确定步骤对...

【专利技术属性】
技术研发人员：伍温良，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44