The utility model discloses a back electrode for flexible thin film solar cells, which comprises a flexible base, and the top surface of the flexible base is successively stacked with an alloy film, a zinc-aluminum film, a resistance-reducing metal film, an anti-corrosion film and a Mo film from bottom to top; the alloy film is CuAl, CuZn, TiAl or TiCu film; the resistance-reducing metal film is a Ti, Al, Ag or Cu film; and the anti-corrosion film is a MoN-Al, Ag or Cu film. MoO, Al2O3, TiN or TiN film layer; the back electrode has the advantages of light weight, flexibility, portability, high temperature selenium deformation at later stage, corrosion resistance, low resistivity, low film stress, and high adhesion strength to the substrate, which can avoid Na in the substrate.
【技术实现步骤摘要】
一种柔性薄膜太阳能电池用背电极
本技术涉及薄膜太阳能电池
，具体是一种柔性薄膜太阳能电池用背电极。
技术介绍
目前铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳能电池正迅速发展，但多数为玻璃基底，柔性CIGS薄膜太阳能电池刚刚开始，由于其质量轻，可折叠，可弯曲，便于携带，因此可以采用环绕式溅射沉积，有利于实现大规模生产，且显著的降低成本，可大量应用于便携式应急充电背包，光伏帐篷，光伏窗帘，光伏屋顶，太阳能汽车等具有广阔的应用空间，提高柔性CIGS薄膜太阳能电池效率及寿命有利于我国光伏产业的持续健康发展。传统薄膜太阳能电池的背电极为Si3N4+Mo复合膜的结构，由于传统Mo背电极中Mo膜较厚，导致薄膜应力大，与基板附着强度较低，且Mo膜制备成本较高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种柔性薄膜太阳能电池用背电极，该背电极具有质量轻、可弯曲、便于携带、后期高温硒化不变形、抗腐蚀、低电阻率、薄膜应力小等优点，且与基底附着强度高，能够避免基底中Na+向吸收层的扩散且与CIGS有良好的欧姆接触。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种柔性薄膜太阳能电池用背电极，包括柔性基底，柔性基底顶...
【技术保护点】
1.一种柔性薄膜太阳能电池用背电极，其特征在于，包括柔性基底，柔性基底顶面由下至上依次层叠有合金膜层、ZnAl膜层、降阻金属膜层、防腐蚀膜层与Mo膜层；所述合金膜层为CuAl、CuZn、TiAl或TiCu薄膜；所述降阻金属膜层为Ti、Al、Ag或Cu膜层；所述防腐蚀膜层为MoN、MoO、Al2O3、TiN或TiON膜层；所述合金膜层的厚度为60～120nm、ZnAl膜层的厚度为40～80nm、降阻金属膜层的厚度为20～40nm、防腐蚀膜层的厚度为15～60nm、Mo膜层的厚度为55～75nm。
【技术特征摘要】
1.一种柔性薄膜太阳能电池用背电极，其特征在于，包括柔性基底，柔性基底顶面由下至上依次层叠有合金膜层、ZnAl膜层、降阻金属膜层、防腐蚀膜层与Mo膜层；所述合金膜层为CuAl、CuZn、TiAl或TiCu薄膜；所述降阻金属膜层为Ti、Al、Ag或Cu膜层；所述防腐蚀膜层为MoN、MoO、Al2O3、Ti...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚婷婷，李刚，沈洪雪，彭赛奥，金克武，王天齐，杨扬，甘治平，
申请(专利权)人：中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34
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