【技术实现步骤摘要】
压电传感器及其制作方法及应用其的电子装置
本专利技术涉及微型电子传感器,尤其涉及压电传感器及其制作方法及应用其的电子装置。
技术介绍
机器人和假肢变得和人类越来越相似,越来越逼真,电子皮肤的加入,有助提高机器人和假肢的应用性,但是这种“无毛”的皮肤还不能完全覆盖人类所具有的触觉功能。例如,它们无法感知微风,但人类皮肤上的汗毛,它覆盖了我们人体95%的部位,却能够帮助我们感知到最轻微的风。因此,有必要提供一种类似于人类“汗毛”的微型电子传感器,例如压电传感器。现有的压电型的微型电子传感器由于体积较小往往无法实现量产,如何提供一种压电传感器及其量产制作工艺是本领域技术人员需要考虑的。
技术实现思路
有鉴于此,有必要提供一种稳定性高、功能性强其适用于量产的压电传感器及其制作方法。一种压电传感器,包括一主干部、一压电材料层以及一电极层,所述主干部为柱状或锥状,所述主干部为弹性材料,所述压电材料层设置于所述主干部的外表面,所述压电材料层包含压电材料,所述电极层设于所述压电材料层远离所述主干部一侧。于一实施例中,所述压电材料层的至少部分围绕形成一封闭的圆形或椭圆形。于一实施例中, ...
【技术保护点】
1.一种压电传感器,其特征在于,包括一主干部、一压电材料层以及一电极层,所述主干部为柱状或锥状,所述主干部为弹性材料,所述压电材料层设置于所述主干部的外表面,所述压电材料层包含压电材料,所述电极层设于所述压电材料层远离所述主干部一侧。
【技术特征摘要】
1.一种压电传感器,其特征在于,包括一主干部、一压电材料层以及一电极层,所述主干部为柱状或锥状,所述主干部为弹性材料,所述压电材料层设置于所述主干部的外表面,所述压电材料层包含压电材料,所述电极层设于所述压电材料层远离所述主干部一侧。2.如权利要求1所述的压电传感器,其特征在于:所述压电材料层的至少部分围绕形成一封闭的圆形或椭圆形。3.如权利要求1所述的压电传感器,其特征在于:所述压电材料层的至少部分表面未被所述电极层覆盖。4.如权利要求3所述的压电传感器,其特征在于:所述压电材料层被所述电极层覆盖的区域为极化区域,所述压电材料层未被所述电极层覆盖的区域为非极化区域,所述压电材料层包括多个相互间隔设置的非极化区域。5.一种电子装置,其特征在于,所述电子装置包括一主体以及设置于所述主体上并与所述主体电性连接的多个压电传感器,所述压电传感器为权利要求1至4任意一项所述的压电传感器。6.一种压电传感器的制作方法,包括如下步骤:提供一机台,所述机台包括一容置结构,所述容置结构包括相邻的第一容置腔及第二容置腔,所述第二容置腔中设置有熔融状态的压电材料;提供一主干...
【专利技术属性】
技术研发人员:江明达,甘旻谕,马梦竹,丁欢,陈右儒,
申请(专利权)人:业成科技成都有限公司,业成光电深圳有限公司,英特盛科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:四川,51
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