The invention discloses a grinding process for ultra-high vacuum chamber, which includes pre-cleaning, primary electropolishing, secondary electropolishing, secondary high pressure cleaning, neutralization treatment and three high pressure cleaning. In order to further improve the surface aesthetic effect of ultra-high vacuum chamber, it also includes following fine grinding process, four high pressure cleaning and drying, and after treatment of ultra-high pressure. The surface roughness of high vacuum cavity can reach Ra 0.8-1.5 range, effectively reduce surface ripple, and the texture orientation and line thickness are consistent, impurities release less gas, improve the surface quality of ultra-high vacuum cavity components, effectively ensure the sealing of ultra-high vacuum cavity components.
【技术实现步骤摘要】
一种超高真空腔体的研磨工艺
本专利技术涉及真空腔体表面处理工艺
,具体涉及一种超高真空腔体的研磨工艺。
技术介绍
在半导体系统设备中,为满足半导体制造工艺所需要的特定压强条件,该系统必须满足良好的密封性。其中,超高真空腔体是半导体系统设备中一个很重要的部件,它的密封性良好与否对系统是否满足所需条件起关键性作用。超高真空腔体结构面的粗糙度、洁净度是影响超高真空腔体密封性能的关键指标,而超高真空腔体的表面研磨工艺与超高真空腔体结构面的密封性能直接相关。对超高真空腔体结构面密封性能的控制和优化旨在满足超高真空腔体对超高真空度的严格要求,其中对超高真空腔体结构面进行研磨工艺的优化,以减少超高真空腔体表面杂质的残留,是实现超高真空腔体结构面密封性能的主要技术手段,因为在高真空环境下,杂质及污垢会气化为气体分子,从而会一定程度的降低真空腔体的真空度,所以超高真空腔体结构面的光洁度越高,超高真空腔体的真空度越好。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,克服现有技术中存在的缺陷,提供一种超高真空腔体的研磨工艺,经处理后超高真空腔体的粗糙度能达到Ra0.8~1.5的范围,有效减少了腔体密封面的表面波纹,且纹理朝向和线条粗细均一致,杂质释放气体量少,提高了超高真空腔体构件的表面质量,有效保证了超高真空腔体构件结构面的密封性。为实现上述目的,本专利技术的技术方案是设计一种超高真空腔体的研磨工艺,超高真空腔体所用材质为SUS304不锈钢,包括如下操作步骤:S1:预清洗,首先采用水溶性碱性清洁剂对真空腔体的密封面进行擦洗,然后采用一定压力的自来水对真空腔体的密封面进行一次高压清洗, ...
【技术保护点】
1.一种超高真空腔体的研磨工艺,其特征在于,包括如下操作步骤:S1:预清洗,首先采用水溶性碱性清洁剂对真空腔体的密封面进行擦洗,然后采用一定压力的自来水对真空腔体的密封面进行一次高压清洗,并干燥;S2:一次电解抛光,一次电解抛光工序中采用硫酸和磷酸的混合液作为一次电解液,电解温度为50~80℃,电解时间为0.5~2min,其中硫酸的密度为1.80g/mL、磷酸的密度为1.84g/mL,硫酸和磷酸的体积比为1∶2~2.5;S3:二次电解抛光,二次电解抛光工序中采用硝酸、硫酸和磷酸的混合液作为二次电解液,电解温度为60~90℃,电解时间为1~5min,其中硝酸的密度为1.50g/mL、硫酸的密度为1.80g/mL、磷酸的密度为1.84g/mL,硝酸、硫酸和磷酸的体积比为0.8~1.0∶1∶2~2.5;S4:二次高压清洗,采用一定压力的自来水对真空腔体的密封面进行二次高压清洗;S5:中和处理,采用一定质量分数的碳酸钠水溶液对真空腔体的密封面进行中和处理;S6:三次高压清洗和干燥,采用一定压力的纯水对真空腔体的密封面进行三次高压清洗,并干燥。
【技术特征摘要】
1.一种超高真空腔体的研磨工艺,其特征在于,包括如下操作步骤:S1:预清洗,首先采用水溶性碱性清洁剂对真空腔体的密封面进行擦洗,然后采用一定压力的自来水对真空腔体的密封面进行一次高压清洗,并干燥;S2:一次电解抛光,一次电解抛光工序中采用硫酸和磷酸的混合液作为一次电解液,电解温度为50~80℃,电解时间为0.5~2min,其中硫酸的密度为1.80g/mL、磷酸的密度为1.84g/mL,硫酸和磷酸的体积比为1∶2~2.5;S3:二次电解抛光,二次电解抛光工序中采用硝酸、硫酸和磷酸的混合液作为二次电解液,电解温度为60~90℃,电解时间为1~5min,其中硝酸的密度为1.50g/mL、硫酸的密度为1.80g/mL、磷酸的密度为1.84g/mL,硝酸、硫酸和磷酸的体积比为0.8~1.0∶1∶2~2.5;S4:二次高压清洗,采用一定压力的自来水对真空腔体的密封面进行二次高压清洗;S5:中和处理,采用一定质量分数的碳酸钠水溶液对真空腔体的密封面进行中和处理;S6:三次高压清洗和干燥,采用一定压力的纯水对真空腔体的密封面进行三次高压清洗,并干燥。2.如权利要求1所述的超高真空腔体的研磨工艺,其特征在于,所述步骤S1中的水溶性碱性清...
【专利技术属性】
技术研发人员:瞿建强,黄仕强,
申请(专利权)人:江阴市光科光电精密设备有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。