带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，具有真空六通法兰管道，该管道具有沿其x向设置的连接上游和下游光学部件的入射和出射法兰，在两法兰之间的真空法兰管道内有金网，沿其y向设有固接有蒸金器的蒸金器安装法兰；沿其z向则设有金网安装法兰，金网由金网夹持电极固定并与外部的真空密封BNC电极电连接，该夹持电极通过金网安装法兰固定于该管道内，一旋转组件通过金网安装法兰与所述金网夹持电极相连，通过旋转组件带动金网在六通管道内沿垂直或水平于光束线方向原位转动，既可进行正常光束线通量检测，又可通过加热蒸金器中的金材而在对金网面镀金膜，从而适时、高效地解决金网沉积污染物的问题，且不会引入其他污染。

Soft X-ray Beam Flux Detection Device with in-situ Gold Steaming Function

The utility model relates to a soft X-ray beam flux detection device with in-situ gold evaporation function, which has a vacuum six-way flange pipeline. The pipeline has incident and outgoing flanges connected with upstream and downstream optical components along its X direction, a gold net is arranged in the vacuum flange pipeline between the two flanges, and a gold evaporator installation flange fixed with a gold evaporator is arranged along its y direction, and gold is arranged along its z direction. The gold mesh is fixed by the gold mesh clamping electrode and electrically connected with the external vacuum sealed BNC electrode. The clamping electrode is fixed in the pipeline through the gold mesh installation flange. A rotating component is connected with the gold mesh clamping electrode through the gold mesh installation flange, and the gold mesh is driven to rotate in situ along the vertical or horizontal direction of the beam line in the six-way pipeline by the rotating component. Normal beam line flux detection can also be used to heat the gold in the gold steamer and deposit gold film on the gold mesh surface, so that the problem of gold mesh deposition pollutants can be solved timely and efficiently without introducing other pollution.

【技术实现步骤摘要】
带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置
本技术涉及光通量检测领域，更具体地涉及带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置。
技术介绍
现代同步辐射装置作为一种先进的X射线光源，因亮度大、通量高、能谱范围广，在科学研究中得到日益广泛的运用。光束线(beamline)是同步辐射装置的重要设施，将同步辐射装置的储存环中高速运动的电子发出的同步辐射光传输到末端的用户实验站上。光束线上的光强(即通量I0)并不是恒定维持不变，取决于存储环的束流、出射的光束线的光子能量等多种因素。因此当用户测量样品上的信号Is时，该信号还包含了I0的变化。为了得到样品纯粹的信息，必须将实测信号Is进行归一化，S＝Is/I0，才能得到真实的信号。软X射线光束线是能量范围介于100eV-2000eV的同步辐射光束线，应用广泛。常规软X射线光束线通量检测装置如图1所示，包括入射法兰1’、出射法兰2’、金网3’和外部BNC电极4’，其中，金网3’固定在BNC电极4’在真空内的馈入端，该BNC电极4’外接皮安计。检测过程中，软X射线光束线从入射法兰1’进入，从出射法兰2’射出，其光路如图1中箭头所示，金网3’在软X射线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，具有真空法兰管道，该真空法兰管道具有连接上游和下游光学部件的入射法兰和出射法兰，在该入射法兰和出射法兰之间的真空法兰管道内有金网，其特征在于，所述真空法兰管道为六通管道，所述入射法兰和出射法兰沿该六通管道的x向设置；沿其y向设有蒸金器安装法兰，其内固接有蒸金器；沿其z向则设有金网安装法兰，所述金网由真空法兰管道内的金网夹持电极固定，并与外部的真空密封BNC电极电连接，该夹持电极通过所述金网安装法兰固定于真空法兰管道内，一个旋转组件通过该金网安装法兰与所述真空法兰管道内的金网夹持电极相连。

【技术特征摘要】
1.带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，具有真空法兰管道，该真空法兰管道具有连接上游和下游光学部件的入射法兰和出射法兰，在该入射法兰和出射法兰之间的真空法兰管道内有金网，其特征在于，所述真空法兰管道为六通管道，所述入射法兰和出射法兰沿该六通管道的x向设置；沿其y向设有蒸金器安装法兰，其内固接有蒸金器；沿其z向则设有金网安装法兰，所述金网由真空法兰管道内的金网夹持电极固定，并与外部的真空密封BNC电极电连接，该夹持电极通过所述金网安装法兰固定于真空法兰管道内，一个旋转组件通过该金网安装法兰与所述真空法兰管道内的金网夹持电极相连。2.根据权利要求1所述的带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，其特征在于，所述蒸金器由真空坩埚型加热器和电流引入电极组成，通过铜垫圈和真空CF法兰密封安装。3.根据权利要求1或2所述的带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，其特征在于，所述旋转组件包括旋转柄和旋转轴，所述旋转柄凸伸于金网安装法兰外部，而旋转轴则自旋转柄延伸穿过金网安装法兰且该旋转轴的自由端与所述真空法兰管道内的金网夹持电极连接。4.根据权利要求3所述的带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹鹰，王勇，邰仁忠，
申请(专利权)人：中国科学院上海应用物理研究所，
类型：新型
国别省市：上海,31