用于同步辐射软X射线吸收谱学的部分电子产额探测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于同步辐射软X射线吸收谱学的部分电子产额探测装置，包括：束流监测装置，用于测量同步辐射光束流强度而产生第一电流信号；真空系统，用于放置样品，所述样品被经过所述束流监测装置的同步辐射光照射；探测器，安装于所述真空系统，用于测量所述样品经同步辐射光辐照后出射的电子而产生第二电流信号；数据采集控制单元，连接光束线单色器、所述束流监测装置和所述探测器，用于控制所述光束线单色器进行能量扫描，采集所述第一电流信号和所述第二电流信号，生成软X射线吸收谱图结果。

Electronic Equivalence Detection Device for Soft X-ray Absorption Spectroscopy of Synchrotron Radiation

The utility model provides a partial electronic amount detection device for synchrotron radiation soft X-ray absorption spectroscopy, including a beam monitoring device for measuring the beam intensity of synchrotron radiation to generate a first current signal; a vacuum system for placing samples, which are irradiated by synchrotron radiation light passing through the beam monitoring device; and a detector, which is installed in the vacuum system. The system is used to measure the second current signal generated by the electrons emitted from the sample irradiated by synchrotron radiation light; the data acquisition control unit connects the beam line monochromator, the beam current monitoring device and the detector to control the beam line monochromator for energy scanning, collects the first current signal and the second current signal, and generates the soft X-ray absorption spectrum junction. Fruit.

【技术实现步骤摘要】
用于同步辐射软X射线吸收谱学的部分电子产额探测装置
本技术属于同步辐射软X射线吸收谱学实验仪器
，具体涉及一种用于同步辐射软X射线吸收谱学的部分电子产额探测装置。
技术介绍
近边X射线吸收精细结构谱(Near-EdgeX-rayAbsorptionFineStructureSpectroscopy，简记为NEXAFS)，是研究材料电子结构的重要实验手段之一。其基本原理是当样品吸收X射线后，原子中处于占据态的电子被激发至非占据态，然后通过发射荧光或发射俄歇电子两种模式退激发回到稳态，因此可以通过检测相应的荧光产额或电子产额来测量X射线吸收系数。对于质量数较小的元素(例如碳、氮和氧等)，退激发过程以出射俄歇电子为主，所以通常采用电子产额模式测试轻元素的NEXAFS谱图。另外，由于出射电子的非弹性平均自由程较小，只有处于样品表面的出射电子才能逃逸进入真空而被探测器检测到，所以通过电子产额探测器收集和分析从样品表面逃逸出的光电子，可以获取表面灵敏的电子结构信息。近边X射线吸收精细结构谱中常用的电子产额探测方法包括俄歇电子产额模式、全电子产额模式和部分电子产额模式三种。其中，俄歇电子产额本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于同步辐射软X射线吸收谱学的部分电子产额探测装置，其特征在于，包括：束流监测装置，用于测量同步辐射光束流强度而产生第一电流信号；真空系统，用于放置样品，所述样品被经过所述束流监测装置的同步辐射光照射；探测器，安装于所述真空系统，用于测量所述样品经同步辐射光辐照后出射的电子而产生第二电流信号；数据采集控制单元，连接光束线单色器、所述束流监测装置和所述探测器，用于控制所述光束线单色器进行能量扫描，采集所述第一电流信号和所述第二电流信号，生成软X射线吸收谱图结果。

【技术特征摘要】
1.一种用于同步辐射软X射线吸收谱学的部分电子产额探测装置，其特征在于，包括：束流监测装置，用于测量同步辐射光束流强度而产生第一电流信号；真空系统，用于放置样品，所述样品被经过所述束流监测装置的同步辐射光照射；探测器，安装于所述真空系统，用于测量所述样品经同步辐射光辐照后出射的电子而产生第二电流信号；数据采集控制单元，连接光束线单色器、所述束流监测装置和所述探测器，用于控制所述光束线单色器进行能量扫描，采集所述第一电流信号和所述第二电流信号，生成软X射线吸收谱图结果。2.如权利要求1所述的部分电子产额探测装置，其特征在于，所述探测器包括：前端，位于所述真空系统的真空腔体内，用于测量所述样品经同步辐射光辐照后出射的电子而产生第二电流信号；后端，位于所述真空系统的真空腔体外并安装有真空电极，所述真空电极内部与所述前端连接，所述真空电极外部与所述数据采集控制单元连接；中空直线导入机构，用于安装所述后端，可带动所述探测器沿轴向移动，以改变所述探测器与所述样品之间的距离。3.如权利要求2所述的部分电子产额探测装置，其特征在于，所述探测器的前端内包括：同轴安装的栅极组件、微通道板组件和阳极收集极，所述栅极组件、微通道板组件、阳极收集极通过绝缘部件电性隔离，通过电极端子连接导线与所述探测器后端的真空电极电性连接。4.如权利要求3所述的部分电子产额探测装置，其特征在于，所述栅极组件位于微通道板组件的输入端，包括：三级金属栅网、电极端子和环状绝缘部件，三级金属栅网的两两之间通过环状绝缘部件电性绝缘，第一级金属栅网和屏蔽罩电性连接并接地，第二级金属栅网和第三级金属栅网通过电极端子与后端的真空电极电性连接。5.如权利要求3所述的部分电子产额探测装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：鞠焕鑫，丁红鹤，朱俊发，张国斌，田扬超，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：新型
国别省市：安徽,34