吐出系统技术方案

本发明专利技术的目的在于提供一种减少流体的吐出量的微小变动的效果高，且具有出色的响应性的吐出系统；吐出系统(1)具备：输送流体的泵(10)、设置于相比泵(10)更靠近流体的输送方向下游侧的位置处，且具有吐出流体的吐出口(62)的喷嘴(60)、形成为从泵(10)的第一开口部(14a)延伸至喷嘴(60)的吐出口(62)的主流道(72)、以从主流道(72)分叉的方式形成的分支流道(74)、与分支流道(74)连接，且经由受压部(82b)进行压力的蓄积和释放的蓄压装置(82)、设置于分支流道(74)中相比蓄压装置(82)更靠近主流道(72)侧的位置处的开关阀(84)、以及控制泵(10)和开关阀(84)的控制装置(90)。

Vomiting system

The object of the present invention is to provide an effluent system with high effect and excellent responsiveness for reducing the slight change in the amount of fluid vomiting; the vomiting system (1) has a pump (10) for conveying fluid, a nozzle (60) for vomiting fluid, and a nozzle (60) for vomiting fluid at the downstream side of the conveying direction closer to the fluid than the pump (10), and a first opening for vomiting fluid from the pump (10). The main channel (72) of the exhaust outlet (62) of the nozzle (60), the branch channel (74) formed by bifurcation of the main channel (72), the accumulator (82) connected with the branch channel (74), which accumulates and releases pressure through the pressurized section (82b), the switch valve (84) located in the branch channel (74) closer to the main channel (72) side than the accumulator (82), and the control pump.\uff08 10) and the control device (90) of the switching valve (84).

【技术实现步骤摘要】
吐出系统
本专利技术涉及一种吐出系统。
技术介绍
随着近年来电子设备等的性能提高，其制造工序中用于供给材料的装置也被要求提高材料供给的稳定性等性能。尤其是在需要将吐出至工件上的流体均匀地涂敷成薄膜状的用途中，即使因为极其微小的压力变动而使吐出量产生微小变动，也有可能对涂敷质量产生影响。因此，为了提高电子设备等的性能，对于用于吐出流体的吐出系统而言，也期望更进一步提高减少流体的吐出量的微小变动的效果。因此，为了满足上述期望，在电子设备等的制造中需要将流体呈薄膜状地涂敷至工件上等用途中，作为构成吐出系统的部件而适于利用如下述专利文献1中公开的那种单轴偏心螺杆泵。【现有技术文献】【专利文献】专利文献1：日本专利特开2012-154215号公报
技术实现思路
如上所述，在吐出系统中使用单轴偏心螺杆泵的情况下，能够得到大幅减少因为极其微小的压力变动而引起的吐出量的微小变动这一效果。然而，为了进一步提高电子设备等的性能以及生产效率，要求提供一种不仅能够充分确保流体吐出量的微小变动的减少效果，而且还能够得到高响应性的吐出系统。具体而言，要求提供一种在向工件吐出流体期间自不用说，在例如开始向工件吐出流体的时刻、以及吐出结束的时刻等时也能够快速响应，从而能够吐出流体且不会发生吐出量的微小变动等问题的吐出系统。因此，本专利技术的目的在于提供一种减少流体吐出量的微小变动的效果高，而且具有出色的响应性的吐出系统。为了解决上述问题，本专利技术提供的吐出系统用于向工件吐出流体，其特征在于，具备：泵，其具有流入口和流出口，且用于输送所述流体；喷嘴，其设置于相比所述泵更靠近所述流体的输送方向下游侧的位置处，且具有吐出所述流体的吐出口；主流道，其被形成为从所述泵的流出口延伸至所述喷嘴的吐出口；分支流道，其以从所述主流道分叉的方式形成；蓄压装置，其具有受压部，并与所述分支流道连接，而且经由所述受压部进行压力的蓄积和释放；开关阀，其设置于所述分支流道中相比所述蓄压装置更靠近所述主流道侧的位置处；以及控制装置，其控制所述泵和所述开关阀。本专利技术的吐出系统构成为：在从泵的流出口至喷嘴的吐出口为止的主流道分叉的分支流道中连接有蓄压装置，并能够经由蓄压装置的受压部进行压力的蓄积和释放。因此，本专利技术的吐出系统能够在蓄压装置中缓和流经主流道的流体的压力变动，从而能够减少流体的吐出量的微小变动。在本专利技术的吐出系统中，在分支流道中相比蓄压装置更靠近主流道侧的位置处设置有开关阀。进而，本专利技术的吐出系统能够通过控制装置控制泵和开关阀。因此，根据本专利技术的吐出系统，能够根据泵的动作状况控制开关阀，从而调整蓄压装置中的压力的蓄积状态。因此，根据本专利技术的吐出系统，在向工件吐出流体期间自不用说，在例如开始向工件吐出流体的时刻、以及吐出结束的时刻等时也能够快速且准确地响应，从而能够吐出流体且不会发生吐出量的微小变动等问题。上述本专利技术的吐出系统的特征还在于：所述控制装置以正在通过所述泵输送所述流体为条件将所述开关阀保持为打开状态，并以停止输送所述流体的时刻为基准使所述开关阀变为关闭状态。在本专利技术的吐出系统中，能够以正在通过泵输送流体为条件将开关阀保持为打开状态，从而使主流道与蓄压装置连通。由此，能够在蓄压装置中缓和向工件吐出流体期间的流体的压力变动，从而能够减少流体的吐出量的微小变动。另外，在本专利技术的吐出系统中，能够以停止输送流体的时刻为基准使开关阀变为关闭状态，从而使主流道与蓄压装置断开。由此，能够有效利用通过泵输送流体期间蓄积在蓄压装置中的压力，来弥补下一次开始吐出流体时的压力不足。另外，通过以停止输送流体的时刻为基准使开关阀变为关闭状态，即使随着停止输送流体而在主流道中产生压降，也能够抑制压力从蓄压装置向主流道泄漏。由此，能够抑制在停止输送流体后，主流道内的流体出乎意料地从喷嘴吐出。因此，根据本专利技术，能够提供一种在开始向工件吐出流体的时刻、以及吐出结束的时刻等时也能够快速且准确地响应，从而能够吐出流体且不会发生吐出量的微小变动等问题的吐出装置。上述本专利技术的吐出系统，优选所述控制装置在所述泵停止运转之前使所述开关阀变为关闭状态。通过如本专利技术那样在泵停止运转之前使开关阀变为关闭状态，能够不受伴随泵停止而产生的主流道的压降影响地将蓄压装置与主流道断开。由此，即使随着停止输送流体而在主流道中产生压降，也能够抑制蓄压装置内蓄积的压力泄漏。由此，能够抑制在泵停止运转后出乎意料地从喷嘴吐出流体。另外，根据上述构成，能够在下一次开始吐出流体时可靠有效地利用通过泵输送流体期间蓄积在蓄压装置中的压力。上述本专利技术的吐出装置，优选所述蓄压装置的所述受压部与所述主流道之间具有工作流体封装空间；封装在所述工作流体封装空间中的工作流体与从所述泵输送来的所述流体相联动地进行工作，从而经由所述受压部进行压力的蓄积和释放。根据上述构成，能够将作为向工件吐出的对象的流体导入蓄压装置内的量、以及供作为吐出对象的流体流入的空间的大小抑制至最小限度。由此，在吐出系统的分解清洗等时，能够将未被吐出至工件上而被废弃的流体的量抑制至最小限度。另外，在例如作为向工件吐出的对象即流体而使用固化性的流体等不易处理的流体的情况下，通过将这样的液体向蓄压装置的导入抑制至最小限度，有望实现减轻蓄压装置的维护作业等的效果。上述本专利技术的吐出系统，优选所述工作流体封装空间形成于从与所述蓄压装置的受压部相接的位置至相比所述开关阀更靠近所述主流道侧的位置之间。根据上述构成，能够更为可靠地将作为向工件吐出的对象的流体导入蓄压装置内的量、以及供作为吐出对象的流体流入的空间的大小抑制至最小限度。上述本专利技术的吐出系统，优选所述蓄压装置、所述开关阀以及所述工作流体封装空间设置于单一的壳体中。根据上述构成，能够将蓄压装置、开关阀以及工作流体封装空间一体化。由此，组装、维护等作业变得容易，而且能够使构成变得紧凑。上述本专利技术的吐出系统用于向工件吐出流体，其具备：泵，其具有流入口和流出口，且用于输送所述流体；喷嘴，其具有吐出口，且从所述吐出口吐出从所述泵输送来的所述流体；蓄压装置，其设置于所述泵与所述喷嘴之间，且进行压力的蓄积和释放；开关阀，其用于切换所述蓄压装置与所述泵及所述喷嘴的连通和断开；以及控制装置，其进行如下控制，即：以正在通过所述泵输送所述流体为条件将所述开关阀保持为打开状态，并以停止输送所述流体的时刻为基准使所述开关阀变为关闭状态。本专利技术的吐出系统能够通过设置于泵与喷嘴之间的蓄压装置进行压力的蓄积和释放。另外，在本专利技术的吐出系统中，能够以正在通过泵输送流体为条件将开关阀保持为打开状态，从而使蓄压装置进行工作。因此，本专利技术的吐出系统能够在蓄压装置中缓和通过泵输送的流体的压力变动，从而能够减少流体的吐出量的微小变动。另外，在本专利技术的吐出系统中，通过控制装置进行以停止输送流体的时刻为基准使开关阀变为关闭状态的控制，从而能够断开蓄压装置。由此，能够有效利用通过泵输送流体期间蓄积在蓄压装置中的压力，来弥补下一次开始吐出流体时的压力不足。另外，通过以停止输送流体的时刻为基准使开关阀变为关闭状态，即使随着停止输送流体而在泵与喷嘴之间产生压降，也能够不受此影响地保持蓄压装置内蓄积的压力。由此，能够抑制在停止输送流体后，随着压力从蓄压装置泄漏而使流体出乎意料地从本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种吐出系统，其用于向工件吐出流体，所述吐出系统的特征在于，具备：泵，其具有流入口和流出口，且用于输送所述流体；喷嘴，其设置于相比所述泵更靠近所述流体的输送方向下游侧的位置处，且具有吐出所述流体的吐出口；主流道，其被形成为从所述泵的流出口延伸至所述喷嘴的吐出口；分支流道，其以从所述主流道分叉的方式形成；蓄压装置，其具有受压部，并与所述分支流道连接，而且经由所述受压部进行压力的蓄积和释放；开关阀，其设置于所述分支流道中相比所述蓄压装置更靠近所述主流道侧的位置处；以及控制装置，其控制所述泵和所述开关阀。

【技术特征摘要】
2017.12.05 JP 2017-2338511.一种吐出系统，其用于向工件吐出流体，所述吐出系统的特征在于，具备：泵，其具有流入口和流出口，且用于输送所述流体；喷嘴，其设置于相比所述泵更靠近所述流体的输送方向下游侧的位置处，且具有吐出所述流体的吐出口；主流道，其被形成为从所述泵的流出口延伸至所述喷嘴的吐出口；分支流道，其以从所述主流道分叉的方式形成；蓄压装置，其具有受压部，并与所述分支流道连接，而且经由所述受压部进行压力的蓄积和释放；开关阀，其设置于所述分支流道中相比所述蓄压装置更靠近所述主流道侧的位置处；以及控制装置，其控制所述泵和所述开关阀。2.根据权利要求1所述的吐出系统，其特征在于，所述控制装置以正在通过所述泵输送所述流体为条件将所述开关阀保持为打开状态，并以停止输送所述流体的时刻为基准使所述开关阀变为关闭状态。3.根据权利要求2所述的吐出系统，其特征在于，所述控制装置在所述泵停止运转之前使所述开关阀变为关闭状态。4.根据权利要求1至3中任一项所述的吐出系统，其特征在于，所述蓄压装置的所述受压部与所述主流道之间具有工作流体封装空间；封装在所述工作流体封装空间中的工作流体与从所述泵输送来的所述流体相联动地进行工作，从而经由所述受压部进行压力的蓄积和释放。5.根据权利要求4所述的吐出系统，其特征在于，所述工作流体封装空间形成于从与所述蓄压装置的受压部相接的位置至...

【专利技术属性】
技术研发人员：须原伸久，石田俊浩，宫崎康则，权藤史昭，
申请(专利权)人：兵神装备株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP