一种阴极检漏设备制造技术

本实用新型专利技术涉及检测设备技术领域，具体涉及一种阴极检漏设备。本实用新型专利技术提供的阴极检漏设备包括检漏仪和容纳装置，在对阴极进行检测时，先将待检测的阴极拆下，然后将一个符合当前生产工艺需求的阴极安装到设备上使用，再将拆下的待检测阴极放置到阴极维护车上，将阴极维护车推至容纳装置的下方，将容纳装置罩设在待检测的阴极外侧并密封，检漏仪与容纳腔连通，通过检漏仪来对容纳腔抽真空，并检测阴极是否有漏；由于本申请提供的阴极检漏装置不需要使用设备本身的真空泵组件抽真空，因此能够实现不停机检测，这样能够大大的增加产线的产能。

A Cathode Leak Detection Equipment

The utility model relates to the technical field of detection equipment, in particular to a cathode leak detection device. The cathode leak detection equipment provided by the utility model includes a leak detector and a holding device. When cathode is detected, the cathode to be detected is removed first, then a cathode that meets the current production process requirements is installed on the equipment for use, and then the cathode to be detected is placed on the cathode maintenance vehicle, the cathode maintenance vehicle is pushed below the holding device, and the holding device cover is arranged. In the outer side of the cathode to be tested and sealed, the leak detector is connected with the holding chamber, vacuum the holding chamber through the leak detector, and detect whether the cathode is leaking; as the cathode leak detector provided in this application does not need to use the vacuum pump assembly of the equipment itself to vacuum, it can realize non-stop detection, which can greatly increase the productivity of the production line.

【技术实现步骤摘要】
一种阴极检漏设备
本技术涉及检测设备
，具体涉及一种阴极检漏设备。
技术介绍
在磁控溅射镀膜设备中的阴极上，都会集成有工艺气体管路，如氩气、氮气、氧气、氩氧混合气等等工艺气体管路；用于精确分配工艺气体用量的气体质量流量控制器(MFC：MassFlowController)及用于连接或者断开工艺气体管路的接头及气动截止阀。而在生产过程中，由于产品工艺变更，需要更换管路尺寸或者改变气体管路连接方式及硬件(MFC及气动截止阀)本身出现异常的情况下。当技术人员完成以上的更换气体管路及更换异常的硬件后，都必须对阴极进行检漏来确保它是否能重新投入使用。在目前的情况下，我们需要一台专用的起吊阴极的液压车将阴极从阴极专用维修车上吊装到磁控溅射设备上，利用磁控假设镀膜设备中的真空泵组将设备抽真空后，再接入氦检仪对阴极进行检漏。由于利用设备自身进行的真空泵组件，因此在检漏过程中会导致此台设备不能用于生产，其中阴极吊装到设备后，真空泵组对设备进行抽真空需要至少25分钟，对阴极检漏需要至少20分钟，如果阴极出现有漏，还需要对设备破真空，拆下阴极对漏点进行处理，处理完毕后在安装回设备抽真空再检漏这样会大大影响产线的产能。
技术实现思路
(一)本技术所要解决的技术问题是：现有的磁控设备对饮及检测过程中，都需要用到磁控设备本身的真空泵组件抽真空，这样会导致该磁控设备停机，影响产线的产能。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种阴极检漏设备，包括检漏仪和容纳装置，所述容纳装置内形成一个下端开口的容纳腔，所述检漏仪与所述容纳腔连通，所述容纳装置罩在待检测阴极上，且所述容纳装置的开口端与待检测阴极密封连接。进一步地，还包括支撑架、吊臂和驱动装置，所述容纳装置与所述吊臂相连，所述吊臂的一端与所述支撑架滑动连接，所述驱动装置用于驱动所述吊臂沿所述支撑架上下滑动。进一步地，还包括真空波纹管，所述容纳装置上设有与所述容纳腔连通的连接口，所述检漏仪通过真空波纹管与所述连接口连通。进一步地，所述阴极检漏设备还包括下端设有滚轮的底座，所述支撑架固定在所述底座上。进一步地，所述支撑架为支撑壳体，所述支撑壳体的下端与所述底座垂直连接。进一步地，所述驱动装置包括驱动电机和丝杆，所述驱动电机固定在所述支撑壳体的上端，所述丝杆位于所述支撑壳体内，所述驱动电机的输出端与所述丝杆传动连接，所述吊臂穿过所述支撑壳体与所述丝杆固定连接。进一步地，所述支撑壳体的侧壁上设有滑槽，所述滑槽由上至下开设在所述支撑壳体的外侧壁上，所述丝杆上设有滑块，所述滑块和丝杆构成丝杠副，所述吊臂的一端穿过所述滑槽与所述滑块垂直连接，所述吊臂的另一端位于所述底座的上侧。进一步地，还包括控制组件，所述控制组件包括电机开关、正转按钮和反转按钮，所述电机开关、正转按钮和反转按钮均固定在所述支撑壳体的外壁上，并分别与所述驱动电机电连接。进一步地，所述容纳装置为下端开口的不锈钢壳体，所述不锈钢壳体的上端与所述吊臂相连。进一步地，所述不锈钢壳体的上端通过吊索与所述吊臂相连。进一步地，所述不锈钢壳体的下端设有密封圈，所述不锈钢支撑壳体通过密封圈与待检测阴极密封连接。本技术的有益效果：本技术提供的阴极检漏设备包括检漏仪和容纳装置，在对阴极进行检测时，先将待检测的阴极拆下，然后将一个符合当前生产工艺需求的阴极安装到设备上使用，再将拆下的待检测阴极放置到阴极维护车上，将阴极维护车推至容纳装置的下方，将容纳装置罩设在待检测的阴极外侧并密封，检漏仪与容纳腔连通，通过检漏仪来对容纳腔抽真空，并检测阴极是否有漏；由于本申请提供的阴极检漏装置不需要使用设备本身的真空泵组件抽真空，因此能够实现不停机检测，这样能够大大的增加产线的产能。附图说明本技术上述和/或附加方面的优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是本申请中所述阴极检漏设备的主视图；图2是本申请中所述阴极检漏设备的右视图；图3是本申请中阴极检漏设备工作状态的下的主视图；图4是本申请中阴极检漏设备工作状态的下的右视图。其中图1至图4中附图标记与部件名称之间的对应关系为：1、底座，11、支撑壳体，111、驱动电机，112、吊臂，113、支撑板，114、丝杠，115、控制组件，1151、电机开关，1152、正转按钮，1153、反转按钮，12、滚轮，2、不锈钢壳体，21、容纳腔，22、密封圈，23、吊索，24、连接口，3、维护车，31、靶座，32、密封面。具体实施方式为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本技术进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。如图1至图4所示，本技术提供了一种阴极检漏设备，包括检漏仪和容纳装置，所述容纳装置内形成一个下端开口的容纳腔21，所述检漏仪与所述容纳腔21连通，所述容纳装置罩在待检测阴极上，且所述容纳装置的开口端与待检测阴极密封连接。本技术提供的阴极检漏设备包括检漏仪和容纳装置，在对阴极进行检测时，先将待检测的阴极拆下，然后将一个符合当前生产工艺需求的阴极安装到设备上使用，再将拆下的待检测阴极放置到阴极维护车上，将阴极维护车推至容纳装置的下方，将容纳装置罩设在待检测的阴极外侧并密封，检漏仪与容纳腔21连通，通过检漏仪来对容纳腔21抽真空，并检测阴极是否有漏；由于本申请提供的阴极检漏装置不需要使用设备本身的真空泵组件抽真空，因此能够实现不停机检测，这样能够大大的增加产线的产能。可选地，如图1至图4所示，所述阴极检漏设备还包括支撑架、吊臂112和驱动装置，所述容纳装置与所述吊臂112相连，所述吊臂112的一端与所述支撑架滑动连接，所述驱动装置用于驱动所述吊臂112沿所述支撑架上下滑动；在对待检测阴极进行检测时，先将一个符合当前生产工艺需求的阴极安装到设备上使用，然后将待检测的阴极放置到阴极维护车3上，将阴极维护车3推至容纳装置的下方，驱动装置驱动容纳装置向下移动，并罩在待检测的阴极上侧并密封，检漏仪通过管路和连接口24与容纳腔21连通，通过检漏仪来对容纳腔21抽真空，并检测阴极是否有漏；由于本申请提供的阴极检漏装置不需要使用设备本身的真空泵组件抽真空，因此能够实现不停机检测，这样能够大大的增加产线的产能。如图1至图4所示，本技术提供的所述阴极检漏设备还包括真空波纹管，所述容纳装置上设有与所述容纳腔连通的连接口24，所述检漏仪通过真空波纹管与所述连接口24连通。如图1至图4所示，所述阴极检漏设备还包括下端设有滚轮12的底座1，所述支撑架固定在所述底座1上，这样在使用时将装载维修保养后的阴极的维护车3，推至阴极检漏工具车的吊臂112下，驱动装置驱动容纳装置向下移动，并罩在待检测的阴极上侧并密封，检漏仪通过管路和连接口24与容纳腔21连通；优选地，所述检漏仪为氦检仪，所述管路为真空波纹管，通过检漏仪来对容纳腔21抽真空，并检测阴极是否有漏；由于在所述底座1上设有由滚轮12，因此整个印迹检测设备能够移动，因此可远离磁控溅射生产线来对阴极进行检漏，这样不会影响整个磁控溅射产线的正常运转，能够保证产线的正常运行，避免因对阴极进行检漏导致的产线停机影响产能的问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阴极检漏设备，其特征在于：包括检漏仪和容纳装置，所述容纳装置内形成一个下端开口的容纳腔，所述检漏仪与所述容纳腔连通，所述容纳装置罩在待检测阴极上，且所述容纳装置的开口端与待检测阴极密封连接。

【技术特征摘要】
1.一种阴极检漏设备，其特征在于：包括检漏仪和容纳装置，所述容纳装置内形成一个下端开口的容纳腔，所述检漏仪与所述容纳腔连通，所述容纳装置罩在待检测阴极上，且所述容纳装置的开口端与待检测阴极密封连接。2.根据权利要求1所述的阴极检漏设备，其特征在于：还包括支撑架、吊臂和驱动装置，所述容纳装置与所述吊臂相连，所述吊臂的一端与所述支撑架滑动连接，所述驱动装置用于驱动所述吊臂沿所述支撑架上下滑动。3.根据权利要求2所述的阴极检漏设备，其特征在于：还包括真空波纹管，所述容纳装置上设有与所述容纳腔连通的连接口，所述检漏仪通过真空波纹管与所述连接口连通。4.根据权利要求2所述的阴极检漏设备，其特征在于：还包括下端设有滚轮的底座，所述支撑架固定在所述底座上。5.根据权利要求4所述的阴极检漏设备，其特征在于：所述支撑架为支撑壳体，所述支撑壳体的下端与所述底座垂直连接。6.根据权利要求5所述的阴极检漏设备，其特征在于：所述驱动装置包括驱动电机和丝杆，所述驱动电机固定在所述支撑壳体的上端，所述丝杆位于所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋文彬，吴岳准，
申请(专利权)人：华夏易能海南新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：海南,46