The utility model discloses a thin film capacitive humidity sensor, in which the thin film capacitive humidity sensor comprises a thin film layer of humidity sensitive material, one side of which is covered with an upper electrode layer and the other side with a lower electrode layer. Compared with the prior art, the thin film capacitance sensor provided by the utility model can realize instantaneous response to moisture in the air on the premise of ensuring stability and sensitivity, and the response time is within 3 s, so that the air humidity can be monitored in real time and rapidly.
【技术实现步骤摘要】
一种薄膜电容湿度传感器
本技术涉及传感器领域，具体涉及一种高灵敏度的瞬间响应的薄膜电容湿度传感器。
技术介绍
在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航天等部门，经常需要对环境湿度进行测量及控制，但在常规的环境参数中，湿度是最难准确测量的一个参数。比较通用的测环境空气湿度的传感器主要是湿敏电阻和湿敏电容，湿敏电阻一般只能满足常态环境（温度0~50℃/湿度20~90%RH）中使用，而且准确率和响应速度都比较差；湿敏电容能够全量程0~100%RH测试空气湿度，一般能满足-40~100℃温度下使用，其响应速度比湿敏电阻也快很多，基本上能达到10s以内。因此，对于比较苛刻、要求精确控制空气湿度的环境，一般都会选用湿敏电容作为传感器。目前，市场上多采用陶瓷基片或者柔性电路板作为湿敏电容的基板，基本结构是基板（1）、下电极（2）、湿敏材料层（3）和上电极（4），如图1所示。其中，上电极和下电极都是镀上去的薄金属层，下电极直接与基板连接。在实际使用中，空气中的水分大部分只能通过上电极薄金属层进入/排出，在湿敏材料层感应，进行测湿。由于只有上电极这一条水分通路，其响应速度大约在10...
【技术保护点】
1.一种薄膜电容湿度传感器，其特征在于，包括湿敏材料薄膜层，所述湿敏材料薄膜层的一面覆有上电极层，另一面覆有下电极层。
【技术特征摘要】
1.一种薄膜电容湿度传感器，其特征在于，包括湿敏材料薄膜层，所述湿敏材料薄膜层的一面覆有上电极层，另一面覆有下电极层。2.根据权利要求1所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述湿敏材料薄膜的厚度为1~6μm。3.根据权利要求2所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述湿敏材料薄膜的厚度为2~5.5μm。4.根据权利要求2所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述湿敏材料薄膜为由以醚键为主要感湿点的交联聚醚树脂制备而成的薄膜。5.根据权利要求1所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述上电极层的厚度为50~200nm。6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨启飞，廖胜楼，
申请(专利权)人：广州九思科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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