嵌入式炉腔烧结炉制造技术

本发明专利技术属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种嵌入式炉腔烧结炉，包括上炉腔和下炉腔，所述上炉腔包括上炉腔壁、炉膛、位于所述炉膛内的多个温区以及对应每个温区的温控系统，所述温区内均设有加热管，所述上炉腔壁下端设有凸台；所述下炉腔设置在所述上炉腔下端，所述下炉腔包括下炉腔壁，所述下炉腔壁上端设有与所述凸台相适配的凹槽，凹槽结构设计可以减少腔室内热量的损失，本发明专利技术烧结炉能够更加准确的控制温区的温度，保持烧结炉内温度恒定，节省电力能源，实现温度均衡，使硅片生产更加均匀，成品率高，具有广阔的应用前景。

Embedded Furnace Sintering Furnace

The invention belongs to the field of solar cell manufacturing, in particular to an embedded furnace chamber sintering furnace, which comprises an upper furnace chamber and a lower furnace chamber. The upper furnace chamber comprises an upper furnace chamber wall, a furnace chamber, a plurality of temperature zones located in the furnace chamber and a temperature control system corresponding to each temperature zone. The temperature zone is provided with a heating tube, and the lower end of the upper furnace chamber wall is provided with a convex platform. The lower end of the upper chamber includes the lower chamber wall. The upper end of the lower chamber wall is provided with a groove matching the convex platform. The groove structure design can reduce the heat loss in the chamber. The sintering furnace of the present invention can more accurately control the temperature in the temperature zone, keep the temperature constant in the sintering furnace, save power energy, realize temperature balance, and make the production of silicon wafers more uniform. The product rate is high and has broad application prospects.

【技术实现步骤摘要】
嵌入式炉腔烧结炉
本专利技术属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种嵌入式炉腔烧结炉。
技术介绍
随着太阳能电池的迅猛发展，越来越多的太阳能电池进入民用领域。太阳能电池主要由硅片构成，在高纯度的硅片上形成半导体P-N结，其加工过程主要包括清洗、烘干、扩散、刻蚀、喷涂、印刷和烧结等多道工序。目前使用的太阳能硅片烧结炉，一般都设有多个温区，每个温区设有加热管和温度控制装置，用来维持各个温区的温度恒定，但是由于炉腔体的结构性问题，炉腔温度很难保温。作为电池片加工的末尾工序，烧结的成功与否，将直接关系到电池片能否走出产线，而受制于工艺难题，高温温度的保持和温度的均匀化都受到许多因素的干扰，热损失较大，能源消耗严重，造成了很大的电能浪费。因而，为使烧结炉能够得到高效的使用，烧结炉的温度问题亟待解决。对此，我们下了决心技改设备。
技术实现思路
本专利技术的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种能够保持烧结炉内温度恒定、节省电力能源、实现温度均衡以及硅片成品率高的嵌入式炉腔烧结炉。本专利技术解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是：一种嵌入式炉腔烧结炉，其特征在于，包括上炉腔和下炉腔，其中：所述上炉腔包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种嵌入式炉腔烧结炉，其特征在于，包括上炉腔和下炉腔，其中：所述上炉腔包括上炉腔壁、炉膛、位于所述炉膛内的多个温区以及对应每个温区的温控系统，所述温区内均设有加热管，所述上炉腔壁下端设有凸台；所述下炉腔设置在所述上炉腔下端，所述下炉腔包括下炉腔壁，所述下炉腔壁上端设有与所述凸台相适配的凹槽。

【技术特征摘要】
1.一种嵌入式炉腔烧结炉，其特征在于，包括上炉腔和下炉腔，其中：所述上炉腔包括上炉腔壁、炉膛、位于所述炉膛内的多个温区以及对应每个温区的温控系统，所述温区内均设有加热管，所述上炉腔壁下端设有凸台；所述下炉腔设置在所述上炉腔下端，所述下炉腔包括下炉腔壁，所述下炉腔壁上端设有与所述凸台相适配的凹槽。2.根据权利要求1所述的嵌入式炉腔烧结炉，其特征在于，所述温控系统包括温度传感器、分别与所述温度传感器和所述加热管相连的温度调节器。3.根据权利要求2所述的嵌入式炉腔烧结炉，其特征在于，所述温度传感器设有多个，所述多个温度传感器分别位于所述多个温区的不同位置。4.根据权利要求3所述的嵌入式炉腔烧结炉，其特征在于，所述温度传感器位于所述温区的不...

【专利技术属性】
技术研发人员：周天贤，段波，陶龙忠，杨灼坚，沙泉，唐福云，李宁，蔡振华，孙红彬，杨浩，
申请(专利权)人：江苏润阳悦达光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32