超高真空不锈钢腔室构件的去应力工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种超高真空不锈钢腔室构件的去应力工艺，包括如下工艺步骤：不锈钢真空腔体板件焊接时在两块板上套设柔性隔热绝缘套，两个柔性隔热绝缘套其靠近焊缝处端部的距离大于两块板拼合焊接后的焊缝的宽度；在板件套设上柔性隔热绝缘套后在焊枪的下部固定连接凸杆，凸杆长度上满足焊接时凸杆超出柔性隔热绝缘套上设置的随焊敲击件其底面但凸杆底端与板件表面设有间距；然后打开鼓风机、抽风机；启动鼓风机及抽风机后焊接；将焊接完成后的工件置放在振动去应力工装上，然后将激振器用两个弓形卡具装夹在工件上，装夹位置设置在工件共振时的某一个波峰处；将传感器吸紧在工件共振时的另一个波峰处。本发明专利技术在焊接时就减少应力产生。

Stress Removal Technology for Ultra-High Vacuum Stainless Steel Cavity Components

The invention discloses a stress relief process for ultra-high vacuum stainless steel chamber components, which includes the following technological steps: flexible insulation sleeve is set on two plates when stainless steel vacuum chamber plate is welded, the distance between the ends of two flexible insulation sleeves near the weld seam is larger than the width of the weld seam after two plates are welded together; flexible insulation sleeve is installed on the plate sleeve, and the welding gun is installed after the welding gun is welded. The lower part is fixed to connect the cam rod, and the length of the cam rod meets the requirement that when welding, the cam rod exceeds the bottom of the welding striker set on the flexible insulation sleeve, but the bottom end of the cam rod is spaced from the surface of the plate; then the blower and the exhaust fan are opened; after starting the blower and the exhaust fan, the welding is done; the workpiece after welding is placed on the vibration stress relieving tooling, and then the exciter is clamped with two bow-shaped clamps. The clamping device is clamped on the workpiece, and the clamping position is set at one peak of the workpiece resonance, and the sensor is clamped at another peak of the workpiece resonance. The invention reduces stress generation during welding.

【技术实现步骤摘要】
超高真空不锈钢腔室构件的去应力工艺
本专利技术涉及一种超高真空不锈钢腔室构件的去应力工艺。
技术介绍
在常规的焊接过程中，焊槽和边缘会产生很高的高温，就是由于局部的高温导致局部金属进行了一次组织重组。以45#钢为例，在加工好时钢中是有奥氏体和珠光体等原子形态组成的，韧性硬度适中；而在进行一次局部高温(800度以上)后，局部的原子结果发生相应的变化，有渗碳体奥氏体马氏体等，由于三者有两者的性质，硬度较高。所以没有经过高温的材料和进过高温的材料两者之间就产生的一条新的材料带，由于原子排列的不同，导致过渡区的原子间的吸附力下降，同时也就产生了相互排斥，这样就产生了应力。在针对半导体、集成电路等产品镀膜用的真空腔体中，其对焊接的要求很高，很多都要求最好焊接而成的腔体在抽真空时能够达到10的负六次方帕斯卡的真空要求，如果焊接后的应力去除不好，未达到要求极易出现工件的变形和开裂，难以保证以后的尺寸稳定精度，甚至会由于微变形、微开裂导致真空度达不到，影响抽真空效率甚至出现产品报废。目前的思路都是在如何去除应力上，未见从焊接时就减少应力集中的办法及思路。另外，如何确定最佳的摆放方式以最大化增强去应力本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.超高真空不锈钢腔室构件的去应力工艺，其特征在于，包括如下工艺步骤：S1：不锈钢真空腔体板件焊接时在两块板上套设柔性隔热绝缘套，两个柔性隔热绝缘套其靠近焊缝处端部的距离大于两块板拼合焊接后的焊缝的宽度；S2：在板件套设上柔性隔热绝缘套后在焊枪的下部固定连接凸杆，凸杆长度上满足焊接时凸杆超出柔性隔热绝缘套上设置的随焊敲击件其底面但凸杆底端与板件表面设有间距；然后打开设置在两块板件拼合焊接处一侧的侧向鼓风机、打开设置在垂直于板件焊缝处的高空处的顶向鼓风机并打开设置在套设在板件上的两个柔性隔热绝缘套其远离焊缝处的端部的抽风机；启动侧向鼓风机、顶向鼓风机及抽风机后焊接；S3：将焊接完成后的工件置放在...

【技术特征摘要】
1.超高真空不锈钢腔室构件的去应力工艺，其特征在于，包括如下工艺步骤：S1：不锈钢真空腔体板件焊接时在两块板上套设柔性隔热绝缘套，两个柔性隔热绝缘套其靠近焊缝处端部的距离大于两块板拼合焊接后的焊缝的宽度；S2：在板件套设上柔性隔热绝缘套后在焊枪的下部固定连接凸杆，凸杆长度上满足焊接时凸杆超出柔性隔热绝缘套上设置的随焊敲击件其底面但凸杆底端与板件表面设有间距；然后打开设置在两块板件拼合焊接处一侧的侧向鼓风机、打开设置在垂直于板件焊缝处的高空处的顶向鼓风机并打开设置在套设在板件上的两个柔性隔热绝缘套其远离焊缝处的端部的抽风机；启动侧向鼓风机、顶向鼓风机及抽风机后焊接；S3：将焊接完成后的工件置放在振动去应力工装上，然后将激振器用两个弓形卡具装夹在工件上，装夹位置设置在工件共振时的某一个波峰处；将传感器吸紧在工件共振时的另一个波峰处。2.根据权利要求1所述的超高真空不锈钢腔室构件的去应力工艺，其特征在于，在所述S2步骤中，随焊敲击件固定设置在套设在板件上的两个柔性隔热绝缘套其靠近焊缝处的端部，随焊敲击件设置在柔性隔热绝缘套其内壁上；两个柔性隔热绝缘套其靠近焊缝处的端部距离范围在2cm～5.5cm之间；焊接方法使用保护气体，保护气体为混合气体，混合气体采用氩气及氦气的混合气体，其中氩气的体积占比为1.5％～99.5％。3.根据权利要求2所述的超高真空不锈钢腔室构件的去应力工艺，其特征在于，在所述S3步骤中，去应力工装为橡胶...

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿建强，黄仕强，
申请(专利权)人：江阴市光科光电精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32