The invention relates to an ion pump life extension device of an electron beam scanning measuring instrument and its use method, including a shell, which divides the inner chamber of the shell into multiple functional chambers, and air cleaning devices are arranged in the functional chambers, including sand blasting chamber, cleaning chamber, baking chamber and testing chamber; a guide through all functional chambers is arranged in the shell, and a vibration device and a solid body are arranged on the guide rail. Fixed device; sand blasting device is set in the blasting chamber; cleaning device and processing port are set in the cleaning chamber; temperature control device is set in the baking chamber, molecular pump and primary vacuum pump are connected outside the baking chamber; vacuum simulator and high voltage power supply are set in the testing chamber; high vacuum probe is set in the vacuum simulator, and molecular pump and primary vacuum pump are tested outside the baking chamber. The invention can effectively remove impurities in the ion pump, prolong the service life of the ion pump, standardize the process of removing impurities, and achieve better effect of removing impurities in the ion pump.
【技术实现步骤摘要】
一种电子束扫描测量仪离子泵的延寿装置及其使用方法
本专利技术涉及半导体测量装备领域,尤其涉及一种电子束扫描测量仪离子泵的延寿装置及其使用方法。
技术介绍
为保证电子束扫描测量仪正常稳定地工作,电子束扫描测量仪中的电子腔、镜筒、传送腔内部必须保证很高的真空度。如果真空度不满足标准,腔内气体会对入射电子造成散射,降低电子腔阴极的使用寿命,甚至会造成高压电极间放电、打火、击穿,对电子束通道造成污染,并导致被测试样表面污染加快。在现有工作中,电子束扫描测量仪的电子枪腔内要达到10-7Pa量级的超高真空,要实现这个量级的真空度就需要依靠离子吸附泵(简称离子泵)来实现。在现有工作中会在每台电子束扫描测量仪镜筒的侧面加装三个离子泵,通过这三个离子泵逐级吸附提高真空度,以达到和维持10-7Pa超高真空。为了保持真空度离子泵需要不停机地运转,离子泵的使用寿命取决于阴极钛,钛金属板出现穿孔就说明离子泵的寿命结束了。随着使用年限的增加,离子泵内部阴极钛会累积杂质和毛刺,影响潘宁放电,最终钛金属板失效导致离子泵出现无法启动、无法正常工作。经过实际测试,只要钛金属板没有出现穿孔,经过适当处理,去除钛金属板和不锈钢阳极上的杂质和毛刺后,离子泵是能够恢复正常工作的,而由于电子束扫描测量仪价格高昂,工厂并不会频繁更新机台,这样使得仪器使用年限比较长,当机器出现问题需要更换零部件时甚至可能出现停产导致缺少零部件,因此延长离子泵使用寿命,可以降低企业运营成本。目前实际工作中离子泵内杂质清除的方法主要有高压电击法、物理敲击法、化学刻蚀法、高温烘烤法等,但这些方法本身存在一定的缺陷,如对杂质的清 ...
【技术保护点】
1.一种电子束扫描测量仪离子泵的延寿装置,包括外壳(1),其特征在于:分隔装置将所述外壳(1)的内腔分隔为多个功能腔,所述功能腔内均设置空气清洁装置(3);所述功能腔包括喷砂腔(9)、清洗腔(8)、烘烤腔(7)和测试腔(5);所述外壳(1)内部设置贯通所有功能腔的导轨(2),所述导轨(2)上设置震动装置和固定装置;所述喷砂腔(9)内设置喷砂装置(901);所述清洗腔(8)设置清洗装置和处理口(803);所述烘烤腔(7)内设置温控装置(701),所述烘烤腔(7)外接分子泵(6)和初级真空泵(10);所述测试腔(5)内设置互为连接的真空模拟装置(501)和高压电源(502),所述真空模拟装置(501)上设置高真空探头(5011),所述测试腔(5)也外接分子泵(6)和初级真空泵(10)。
【技术特征摘要】
1.一种电子束扫描测量仪离子泵的延寿装置,包括外壳(1),其特征在于:分隔装置将所述外壳(1)的内腔分隔为多个功能腔,所述功能腔内均设置空气清洁装置(3);所述功能腔包括喷砂腔(9)、清洗腔(8)、烘烤腔(7)和测试腔(5);所述外壳(1)内部设置贯通所有功能腔的导轨(2),所述导轨(2)上设置震动装置和固定装置;所述喷砂腔(9)内设置喷砂装置(901);所述清洗腔(8)设置清洗装置和处理口(803);所述烘烤腔(7)内设置温控装置(701),所述烘烤腔(7)外接分子泵(6)和初级真空泵(10);所述测试腔(5)内设置互为连接的真空模拟装置(501)和高压电源(502),所述真空模拟装置(501)上设置高真空探头(5011),所述测试腔(5)也外接分子泵(6)和初级真空泵(10)。2.如权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪离子泵的延寿装置,其特征在于:所述功能腔还包括密封腔(4),所述密封腔(4)内设置真空密封装置(401)。3.如权利要求1或2所述的一种电子束扫描测量仪离子泵的延寿装置,其特征在于:所述分隔装置为密封门(101)。4.如权利要求1或2所述的一种电子束扫描测量仪离子泵的延寿装置,其特征在于:所述导轨(2)设置在所述功能腔的顶端。5.如权利要求1或2所述的一种电子束扫描测量仪离子泵的延寿装置,其特征在于:所述震动装置为电机(201),所述固定装置为卡扣(202)。6.如权利要求1或2所述的一种电子束扫描测量仪离子泵的延寿装置,其特征在于:所述清洗装置包括压缩空气泵(801)和高压水...
【专利技术属性】
技术研发人员:高健,舒畅,郭熙中,
申请(专利权)人:无锡卓海科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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