The invention belongs to the field of optical thin film, and specifically relates to an optical thin film monitoring method based on digital filtering. Based on modern digital filtering technology, a new method for determining the extreme point of optical thin film thickness is proposed. The smoothing of monitoring signal is not a linear smoothing method, but a method of minimum mean square error. The noise of signal can be reduced by about 70% by filtering. On this basis, automatic stop judgment and automatic control of coating process for optical monitoring can be realized. The invention can significantly improve the extremum determination accuracy of the optical monitoring signal, compress the noise of the optical monitoring signal, and realize the monitoring of the optical film thickness.
【技术实现步骤摘要】
一种基于数字滤波的光学膜层监控方法
本专利技术属于光学薄膜领域，具体涉及一种基于数字滤波的光学膜层监控方法。
技术介绍
随着数码技术的发展，光学薄膜在这些产品中得到了广泛的应用，为了达到光学系统设计的能量、波长等技术要求，系统中光路所经过的光学元件一般都需要镀制光学薄膜。所谓光学薄膜，是指选取不同光学折射率的镀膜材料，使用物理或化学沉积的方法将不同膜料按光学原理计算好的厚度和顺序沉积在待镀膜元件的表面，使元件最终获得具有系统要求的光学性能。目前在照相机、手机中用到了镜头的可见光减反射膜，传感器前的短波通滤光片，人脸识别用的低角度效应窄带滤光片，5G光通讯所需的超窄带滤光片和各种滤光片，这些光学元件的年产量达到数十亿件，爆发式增长对光学薄膜的工艺设备需求也不断增长，仅中国大陆地区，2017年镀膜机的销量在700台以上，2018年在1000台以上，这其中进口镀膜机份额超过了70％以上，采用国产机镀制的膜系性能和重复性差，控制精度低，很难达到用户要求，即使镀制普通的减反射膜系，精度和重复性要求高一点，就需要采用进口镀膜机，。光学真空镀膜机的主要组成为：真空和过程控制系统...
【技术保护点】
1.一种基于数字滤波的光学膜层监控方法，其特征在于，以光学干涉薄膜理论为膜系结构为基础，以光学膜厚监控信号的极值点为依据，实现对膜厚光学监控的极值法和比例法厚度判停。
【技术特征摘要】
1.一种基于数字滤波的光学膜层监控方法，其特征在于，以光学干涉薄膜理论为膜系结构为基础，以光学膜厚监控信号的极值点为依据，实现对膜厚光学监控的极值法和比例法厚度判停。2.根据权利要求1所述基于数字滤波的光学膜层监控方法，其特征在于，对监控光学信号建立了滑动模型和自回归模型。3.根据权利要求1所述基于数字滤波的光学膜层监控方法，其特征在于，对膜厚监控的数字信号采用维纳滤波。4.根据权利要求1所述基于数字滤波的光学膜层监控方法，其特征在于，，以光学膜厚监控信号的极值点为依据，实现对膜厚光学监控的极值法和比例法厚度判停的具体过程如下：S1,用一个P阶差分方程描述光学监控信号x(n)：S2,对光学监控信号x(n)建立滑动平均模型和自回归模型；S3，选取维纳滤波器作为滤波器输出y(n)，通过维纳滤波器的输出值计算出停镀点。5.根据权利要求4所述基于数字滤波的光学膜层监控方法，其特征在于，光学监控信号x(n)的P阶差分方程为：x(n)+a1x(n-1)+...+apx(n-p)＝w(n)+b1w(n-1)+...+b...
【专利技术属性】
技术研发人员：马孜，马卓尔，庄秋慧，姚德武，韩宗强，沈刚，
申请(专利权)人：西南技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：四川,51
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