试验装置(10)包括：保持作为试验对象的发光装置(60)的保持部(20)，引导从保持部(20)所保持的发光装置(60)输出的光的光波导(34)，将从光波导(34)输出的光扩散的光扩散板(38)，以及接收被光扩散板(38)扩散的光的受光装置(40)。试验装置(10)也可以进一步包括将保持部(20)和保持部(20)所保持的发光装置(60)容纳在内部，并被构成为控制发光装置(60)的温度的恒温装置(12)。受光装置(40)设在恒温装置(12)的外部，光波导(34)可以从恒温装置(12)的内部向外部引导光。
Manufacturing Method of Test Device and Light Emitting Device
The test device (10) includes a holding part (20) of the light emitting device (60) which is the subject of the test, an optical waveguide (34) which guides the light emitting device (60) which is held from the holding part (20), a light diffusing plate (38) which will be output from the optical waveguide (34), and a light receiving device (40) which receives the light diffused by the light diffusing plate (38). The test device (10) may further include a luminescent device (60) maintained by the retaining part (20) and the retaining part (20), which is internally contained and constituted as a thermostat (12) for controlling the temperature of the luminescent device (60). The light receiving device (40) is arranged outside the thermostat device (12), and the optical waveguide (34) can guide light from the inside to the outside of the thermostat device (12).
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】试验装置及发光装置的制造方法
本专利技术涉及发光装置的试验装置。
技术介绍
LED等发光装置通过长时间的通电试验而被评估可靠性。作为用于进行这样的通电试验的试验装置，例如可举出，不需将安装有半导体发光元件的发光零件安装在基板等上，就能够在比常温高温或者低温的环境下进行试验的实验装置(例如，参照专利文献1)。[在先技术文献][专利文献]专利文献1：日本特开2011-237350号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的课题]对输出深紫外光等波长短且高能量的光的发光装置进行试验的情况下，试验装置所具有的受光装置会由于高能量的光而劣化，不能适当地执行长时间的通电试验。这样的话，有损试验工序的可靠性。本专利技术鉴于以上课题而完成，其示例性的目的之一在于提供一种可靠性高的能够进行连续通电试验的试验装置。[用于解决技术课题的技术方案]为解决上述课题，本专利技术的一种方案的试验装置，包括：保持作为试验对象的发光装置的保持部，引导从保持部所保持的发光装置输出的光的光波导，使从光波导输出的光扩散的光扩散板，以及接收被光扩散板扩散的光的受光装置。根据本方案，能够通过光扩散板使由于通过光波导而中心附近的峰值强度被提高的光扩散，使被扩散后峰值强度降低的光入射到受光装置。由此，能够减少因高强度的光集中于受光面的一部分而使得该部分比其他部分先劣化的影响，延长受光装置至不能使用为止的寿命。通过使受光装置能够长期使用，能够适当地执行长时间的通电试验，提高试验的可靠性。试验装置也可以进一步包括将保持部和保持部所保持的发光装置容纳在内部，并被构成为控制发光装置的工作温度的恒温装置。可以是受光装置设在恒温装置的外部，光波导从恒温装置的内部向外部引导光。试验装置也可以进一步包括被配置使得遮挡朝向受光装置的受光面外周区域的光的遮蔽板。也可以是，发光装置输出360nm以下波长的深紫外光。也可以是，光波导由石英(SiO2)玻璃棒构成。也可以是，光扩散板为具有用于使光扩散的凹凸面的石英玻璃板。本专利技术的其他方案为发光装置的制造方法。该方法包括由受光装置经由光波导和光扩散板接收从发光装置输出的光，来对发光装置的光输出进行试验的工序。根据本方案，能够通过光扩散板使由于通过光波导而中心附近的峰值强度被提高的光扩散，使被扩散后峰值强度降低的光入射到受光装置。由此，能够减少因高强度的光集中于受光面的一部分而使得该部分比其他部分先劣化的影响，延长受光装置至不能使用为止的寿命。由此，提供一种能够防止受光装置早期劣化造成的试验的可靠性下降，能够进行适当的试验的可靠性高的发光装置。[专利技术效果]根据本专利技术，能够提供一种可靠性高的通电试验。附图说明图1是概略地表示实施方式的试验装置的构成的图。图2是示意性地表示从导光部输出的光的强度分布的图表。具体实施方式以下，参照附图详细说明用于实施本专利技术的实施方式。此外，在说明中对相同的要素标注相同的附图标记，并适当省略重复的说明。图1是概略地表示实施方式的试验装置10的构成的图。试验装置10包括：恒温装置12，多个保持部20(20a、20b、20c)，多个导光部30(30a，30b，30c)，多个受光装置40(40a，40b，40c)，以及遮蔽板50。试验装置10为用于统括地执行多个发光装置60(60a、60b、60c)的通电试验的装置。作为试验对象的发光装置60，为输出深紫外光的UV-LED(UltraViolet-LightEmittingDiode：紫外发光二极管)。发光装置60构成为输出峰值波长或者中心波长在200nm～360nm范围的深紫外光。作为这种紫外光LED，例如已知有使用氮化铝镓(AlGaN)的LED。恒温装置12具有将多个保持部20以及多个保持部20各自所保持的发光装置60容纳到内部的容器14。恒温装置12例如为恒温槽，为使被容器14包围的内部空间16的温度恒定而进行加热或者冷却的装置。恒温装置12能够在预定的试验时间内维持用于发光装置60的通电试验的温度条件(例如-20℃～85℃)。恒温装置12也可以构成为能够实施按一定周期使温度升高降低的循环试验的方式。容器14中设有用于将多个导光部30插入的多个安装孔18(18a、18b、18c)。保持部20保持作为试验对象的发光装置60。保持部20具有发光装置安装基板22以及散热器24。发光装置安装基板22具有与发光装置60的电极连接的端子，通过端子供给用于驱动发光装置60的驱动电流。发光装置安装基板22连接于未图示的外部电源。散热器24安装在发光装置安装基板22上。散热器24协助使发光装置安装基板22和发光装置60的温度与恒温装置12的内部空间16的温度变得相等。在恒温装置12内部设有多个保持部20。在图示的示例中，设有3个保持部20，但保持部20的数量也可以为2个以下，也可以为4个以上。多个保持部20在恒温装置12的内部可以排为一列(一维阵列状)，也可以配置为矩阵状(二维阵列状)。在一个实施例中，多个保持部20可以配置为5×15的矩阵状。在图示的示例中，保持部20构成为保持一个发光装置60。在变形例中，也可以构成为一个保持部能够保持多个发光装置60。例如，将多个保持部20a、20b、20c一体化，一个保持部上也可以能够安装3个发光装置60。保持部20被配置使得来自所安装的发光装置60的输出光入射到对应的导光部30。保持部20被配置使得所安装的发光装置60的光出射面62与导光部30的光入射端31相对，优选被配置使得发光装置60的光出射面62与导光部30的光入射端31邻近。保持部20在试验装置10使用时被容纳在恒温装置12的内部，但也可以构成为在试验装置10不使用时能够容易地取出到恒温装置12的外部的方式。保持部20例如也可以构成为能够收纳到恒温装置12内部所设置的支架上的方式。导光部30设在对应的发光装置60与受光装置40之间，被构成使得将来自发光装置60的输出光导入受光装置40。导光部30是为从恒温装置12的内部将发光装置60的输出光取出到外部而设的。导光部30的光入射端31设在恒温装置12的内部，位于保持部20所安装的发光装置60附近。另一方面，导光部30的光出射端32被设在恒温装置12的外部，位于受光装置40的受光面48附近。导光部30具有光波导34，光量滤光片(日文：光量フィルタ)36，以及光扩散板38。光波导34为从对应的发光装置60向受光装置40沿长度方向延伸的构件。光波导优选为由不易因发光装置60输出的深紫外光而劣化的材料构成，例如由石英(SiO2)玻璃构成。光波导34例如由柱状的石英玻璃棒构成。光波导34例如具有比发光装置60的光出射面62大的截面积，例如截面的尺寸(直径)为5mm以上。在一个实施例中，光波导34的直径为6mm程度。光波导34可以具有如光纤那样的芯和包层，也可以只由芯构成。光波导34也可以为中空管，也可以为石英管、聚四氟乙烯(PTFE)等的氟树脂制的管，内面由铝(Al)构成的树脂管或者金属管。与光波导的长度方向正交的截面的形状不特别要求，可以为圆形、椭圆形、三角形、四角形、五角形、六角形等。光波导34也可以由多根光纤捆扎而构成。光量滤光片36为所谓的ND(NeutralDensity：中性密度)滤光片，使通过导光部30的光的强度按一定比例衰减。光本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种试验装置，其特征在于，包括：保持部，其保持作为试验对象的发光装置，光波导，其引导从上述保持部所保持的发光装置输出的光，光扩散板，其使从上述光波导输出的光扩散，以及受光装置，其接收被上述光扩散板扩散的光。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.10.11 JP 2016-2003831.一种试验装置，其特征在于，包括：保持部，其保持作为试验对象的发光装置，光波导，其引导从上述保持部所保持的发光装置输出的光，光扩散板，其使从上述光波导输出的光扩散，以及受光装置，其接收被上述光扩散板扩散的光。2.如权利要求1所述的试验装置，其特征在于，进一步包括恒温装置，其将上述保持部和上述保持部所保持的发光装置容纳在内部，并被构成为控制上述发光装置的工作温度，上述受光装置设在上述恒温装置的外部，上述光波导从上述恒温装置的内部向外部引导光。3.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：新关彰一，一仓启慈，
申请(专利权)人：日机装株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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