The utility model discloses a surface topography detection device for precision workpiece, which comprises a base, a marble platform, a worktable, a Z-axis lifting seat, a lens assembly and a light source component. The light source component further comprises a sleeve, a reflector, a ring light source and a coaxial light source. The upper end of the sleeve is connected with the lens assembly, and the ring light source is arranged at the lower end of the sleeve, and the reflector is installed at 45 degrees. In the sleeve, the coaxial light source is installed vertically in the middle of the sleeve. The light of the coaxial light source is projected horizontally to the reflector and reflected by the reflector downwards along the vertical direction. The first bearing, the second bearing and the third bearing are all inclined. The inclination direction and angle of the first bearing and the third bearing are the same. The inclination direction of the second bearing is opposite to that of the first bearing and the third bearing. The same. The utility model solves the problem that when the light source illuminates the workpiece below, it cannot illuminate the central position of the workpiece, and improves the imaging and measuring accuracy of the workpiece.
【技术实现步骤摘要】
用于精密工件的表面形貌检测装置
本技术涉及一种精密测量装置,尤其涉及一种用于精密工件的表面形貌检测装置。
技术介绍
现代科技的迅猛发展,产品技术的不断创新,人们对物品品质的要求越来越高,使得对各种工件零件的测量的精度要求也是越来越高,从而对测量仪器的要求也随之增高。精密影像测量仪是加工零件检测技术的保证,是检测设备当中使用最为广泛的一种检测仪器。精密影像测量仪广泛应用于模具、精密五金、军工、航空航天、电子等领域,以其精度高、测速快、测量功能强大等特点,位居测量设备行业的前列。随着技术的进步以及客户测量需求的不断提高,对精密影像测量仪的要求也不断提高。
技术实现思路
本技术提供一种用于精密工件的表面形貌检测装置,此用于精密工件的表面形貌检测装置解决了光源在照射下方的工件时,无法照射到工件中心位置的情况,使得待测量的工件中央与边缘都可以得到良好的照射条件,从而提高了对工件的成像与测量精度。为达到上述目的,本技术采用的技术方案是:一种用于精密工件的表面形貌检测装置,包括基座、大理石平台、工作台、Z轴升降座、镜头组件和光源组件,所述大理石平台设置于基座上表面一侧,所述工作台位于大理石平台上表面,所述大理石平台一侧竖直设置有一立柱,所述Z轴升降座安装于立柱上并位于工作台上方,所述镜头组件安装于Z轴升降座上并可以在Z轴升降座驱动下上下移动,所述光源组件安装于镜头组件下方,所述工作台相邻的两个侧面分别安装有X轴驱动机构和Y轴驱动机构,用于驱动工作台沿X轴方向或者Y轴方向运动;所述光源组件进一步包括套筒、反光镜、环形光源和同轴光源,所述套筒上端与镜头组件安装连接,所述环形光源 ...
【技术保护点】
1.一种用于精密工件的表面形貌检测装置,其特征在于:包括基座(14)、大理石平台(5)、工作台(3)、Z轴升降座(1)、镜头组件(2)和光源组件(15),所述大理石平台(5)设置于基座(14)上表面一侧,所述工作台(3)位于大理石平台(5)上表面,所述大理石平台(5)一侧竖直设置有一立柱(9),所述Z轴升降座(1)安装于立柱(9)上并位于工作台(3)上方,所述镜头组件(2)安装于Z轴升降座(1)上并可以在Z轴升降座(1)驱动下上下移动,所述光源组件(15)安装于镜头组件(2)下方,所述工作台(3)相邻的两个侧面分别安装有X轴驱动机构(23)和Y轴驱动机构(24),用于驱动工作台(3)沿X轴方向或者Y轴方向运动;所述光源组件(15)进一步包括套筒(36)、反光镜(37)、环形光源(38)和同轴光源(39),所述套筒(36)上端与镜头组件(2)安装连接,所述环形光源(38)设置于套筒(36)下端,所述反光镜(37)呈45°安装于套筒(36)内,所述同轴光源(39)垂直安装于套筒(36)中部,此同轴光源(39)的光线水平射向反光镜(37)并经反光镜(37)反射沿竖直方向向下射出;所述X轴驱动 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于精密工件的表面形貌检测装置,其特征在于:包括基座(14)、大理石平台(5)、工作台(3)、Z轴升降座(1)、镜头组件(2)和光源组件(15),所述大理石平台(5)设置于基座(14)上表面一侧,所述工作台(3)位于大理石平台(5)上表面,所述大理石平台(5)一侧竖直设置有一立柱(9),所述Z轴升降座(1)安装于立柱(9)上并位于工作台(3)上方,所述镜头组件(2)安装于Z轴升降座(1)上并可以在Z轴升降座(1)驱动下上下移动,所述光源组件(15)安装于镜头组件(2)下方,所述工作台(3)相邻的两个侧面分别安装有X轴驱动机构(23)和Y轴驱动机构(24),用于驱动工作台(3)沿X轴方向或者Y轴方向运动;所述光源组件(15)进一步包括套筒(36)、反光镜(37)、环形光源(38)和同轴光源(39),所述套筒(36)上端与镜头组件(2)安装连接,所述环形光源(38)设置于套筒(36)下端,所述反光镜(37)呈45°安装于套筒(36)内,所述同轴光源(39)垂直安装于套筒(36)中部,此同轴光源(39)的光线水平射向反光镜(37)并经反光镜(37)反射沿竖直方向向下射出;所述X轴驱动机构(23)进一步包括光杆(25)、分别安装于光杆(25)两端的安装板、安装于光杆(25)并可以沿光杆(25)轴向移动的活动块(27),此活动块(27)位于两个安装板之间并与工作台(3)固定连接,用于带动工作台(3)在X轴方向移动,所述光杆(25)与安装板之间通过轴承座可转动连接;所述活动块(27)具有一内腔,此内腔中设置有第一轴承(281)、第二轴承(282)和第三轴承(283),所述第一轴承(281)、第...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆庆年,李良,
申请(专利权)人:苏州怡信光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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