涡轮泵排气组件和方法技术

公开一种涡轮泵排气组件和方法。所述涡轮泵排气组件包括：可操作成将初始体积的空气输送到涡轮泵的初级手动致动器；以及可操作成将次级体积的空气输送到所述涡轮泵的次级手动致动器，其中所述次级体积的空气大于所述初始体积的空气。以此方式，提供不复杂且可靠的排气部，其可以输送初始体积的空气以最初使所述涡轮泵减速。此后，可以输送所述次级体积的空气以比仅使用另外的初始体积的空气可能的情况更迅速地使所述涡轮泵减速。具有可以输送不同体积的空气的设备使得所述涡轮泵能够比通过仅输送相同大小体积的空气可能的情况安全且更快速地减速。

Turbopump exhaust assembly and method

A turbine pump exhaust assembly and method are disclosed. The exhaust assembly of the turbopump includes: a primary manual actuator operable to transport air of the initial volume to the turbopump; and a secondary manual actuator operable to transport air of the secondary volume to the turbopump, wherein the air of the secondary volume is larger than the air of the initial volume. In this way, an uncomplicated and reliable exhaust section is provided, which can transport the initial volume of air to initially decelerate the turbopump. Thereafter, air of the secondary volume can be transported to decelerate the turbopump more rapidly than it is possible to use only air of the other initial volume. Equipments capable of transporting air of different volumes enable the turbopump to decelerate safely and faster than possible by transporting air of the same size only.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】涡轮泵排气组件和方法
本专利技术涉及一种涡轮泵排气组件和方法。
技术介绍
在半导体制造步骤中在高真空处理腔室中实施的处理（例如干式蚀刻、化学气相沉积(CVD)等等）中，使用真空泵（例如涡轮分子泵）来通过从处理腔室排出气体而在处理腔室中产生高真空，如例如在日本未审查专利申请公开号2000-291586中所示。
技术实现思路
根据第一方面，提供一种涡轮泵排气组件，其包括：可操作成将初始体积的空气输送到涡轮泵的初级手动致动器；以及可操作成将次级体积的空气输送到涡轮泵的次级手动致动器，其中次级体积的空气大于初始体积的空气。第一方面认识到，使用涡轮泵的限制因素是形成和破坏真空所花费的时间。破坏由涡轮泵形成的真空的一个限制因素是使涡轮泵的转子减速所花费的时间。虽然存在通过破坏来使转子减速的布置结构，但是这些布置结构复杂，并且可能不可靠或者在其它方面有问题。较不复杂的方法涉及通过从泵的环境侧将空气引入到泵的真空侧来使涡轮泵排气。然而，第一方面还认识到，使用常规手动排气阀的严苛排气可能在主轴承或轴承罩中导致高应力和磨损，并且在常规固定轴承和磁悬浮涡轮泵中导致转子不稳定性。这样的排气可能减少涡轮泵的操作寿命，或者在更严重的情况下，由于应急轴承寿命到期或转子/定子部件碰损，可能导致涡轮泵卡住。因此，可以提供用于涡轮泵的排气部。所述排气部可以包括初级、第一或初始致动器。所述致动器可以是手动或者用户激活或操作的。所述致动器可以将初级、第一或初始体积、量或数量的空气或其它气体输送或提供到涡轮泵。所述排气部还可以包括次级或另外的致动器。所述次级致动器可以是手动或者用户激活或操作的，以将第二或另外的体积或量的空气或其它气体输送或提供到涡轮泵。第二体积的空气可以大于或多于初始体积的空气的量。以此方式，提供不复杂且可靠的排气部，其可以输送初始体积的空气以最初使所述涡轮泵减速。此后，可以输送所述次级体积的空气以比仅使用另外的初始体积的空气可能的情况更迅速地使所述涡轮泵减速。具有可以输送不同体积的空气的设备使得所述涡轮泵能够比通过仅输送相同大小体积的空气可能的情况安全且更快速地减速。在一个实施例中，初始体积的空气小于次级体积的空气。因此，初始体积的空气可以小于次级体积的空气，或者不像次级体积的空气那样大。在一个实施例中，初级手动致动器具有其中初始体积的空气被输送到涡轮泵的排气位置和其中防止初始体积的空气输送到涡轮泵的分离位置。因此，初级致动器可以具有其中初始体积的空气被输送或提供到涡轮泵的排气或打开位置。初级致动器可以具有其中防止或阻止初始体积的空气输送到涡轮泵的分离或关闭位置。因此，单独阵的初始体积的空气可以被输送到涡轮泵。在一个实施例中，初级手动致动器可在排气位置与分离位置之间手动配置。因此，致动器可以在排气位置与分离位置之间由用户操作。在一个实施例中，初级手动致动器朝向分离位置偏置。因此，致动器可以预先安置到分离位置。在一个实施例中，初级手动致动器可以可释放地配置到排气位置。因此，所述致动器可以由用户操作到排气位置，但是然后，在释放时，可以返回到分离位置。在一个实施例中，初级手动致动器具有阀布置结构，所述阀布置结构可操作成当在排气位置中时使初始体积的空气的源与涡轮泵流体联接，并且当在分离位置中时使初始体积的空气的源与涡轮泵流体分离。因此，可以提供阀，所述阀当在排气位置中时可以使初始体积的空气的源与涡轮泵流体联接，并且当在分离位置中时可以使初始体积的空气的源与涡轮泵分离。在一个实施例中，所述阀布置结构当在排气位置中时可手动操作成使初始体积的空气的源与涡轮泵流体联接，并且当在分离位置中时偏置以使初始体积的空气的源与涡轮泵流体分离。在一个实施例中，初级手动致动器具有使初始体积的空气的源与涡轮泵流体联接的管道，所述管道具有被配置成当在排气位置中时限制通过管道的流量的限流器。因此，当输送到涡轮泵时，初始体积的空气的流量可能受到限流器的限制。在一个实施例中，初始体积的空气的源包括贮存器，所述贮存器可操作成当在分离位置中时保持所存储体积的空气，并且当在排气位置中时将所存储体积的空气作为第一体积的空气输送到涡轮泵。因此，可以提供贮存器，其提供被包含为所存储或固定体积的空气的初始体积的空气。所存储体积的空气可以当在分离位置中时被保持，并且当在排气位置中时被输送到涡轮泵。在一个实施例中，初级手动致动器包括阀布置结构，所述阀布置结构可操作成当在分离位置中时使贮存器与空气的外部源流体联接以填充贮存器。因此，所述阀当在分离位置中时可以使贮存器与空气的外部源联接以填充或补充贮存器。在一个实施例中，所述阀布置结构可操作成当在分离位置中时使贮存器与涡轮泵流体分离。因此，所述阀当在分离位置中时可以使贮存器和涡轮泵分离或流体分开。在一个实施例中，所述阀布置结构可操作成当在排气位置中时使贮存器与涡轮泵流体联接，以将所存储体积的空气作为第一体积的空气输送到涡轮泵。因此，所述阀布置结构当在排气位置中时可以使贮存器和涡轮泵联接或流体连接。在一个实施例中，所述阀布置结构可操作成当在排气位置中时使贮存器与空气的外部源流体分离。在一个实施例中，贮存器可在分离位置与排气位置之间移位。因此，贮存器可以在分离位置与排气位置之间移动、平移或移位。贮存器的移动可以导致其被填充和排放。在一个实施例中，贮存器可以以线性地和旋转地中的一种方式移位。在一个实施例中，初级手动致动器具有多个贮存器。因此，可以提供多于一个贮存器以便促进单独的多个初始体积的空气的输送。在一个实施例中，每一贮存器可单独地操作成当在相关联排气位置中时将第一体积的空气输送到涡轮泵。因此，一次仅一个贮存器可以将一体积的空气输送到涡轮泵。在一个实施例中，次级手动致动器具有其中第二体积的空气被输送到涡轮泵的排气位置和其中防止第二体积的空气被输送到涡轮泵的分离位置。因此，可以提供第二或另外的手动致动器，其可以将第二体积的空气输送到涡轮泵。在一个实施例中，次级手动致动器可在排气位置与分离位置之间手动配置。在一个实施例中，所述涡轮泵排气组件包括可操作成由涡轮泵的互补联接件接收的联接件，并且次级手动致动器可操作成在分离位置中使所述联接件与互补联接件脱开，以将第二体积的空气输送到涡轮泵。因此，次级手动致动器可以包括涡轮泵排气部与涡轮泵排气部之间的联接。根据第二方面，提供一种涡轮泵排气方法，其包括：使用初级手动致动器输送初始体积的空气以使涡轮泵减速；以及使用次级手动致动器输送次级体积流量以使涡轮泵减速，其中次级体积的空气大于初始体积的空气。在一个实施例中，初始体积的空气小于次级体积的空气。在一个实施例中，所述方法包括将初级手动致动器从其中防止初始体积的空气输送到涡轮泵的分离位置手动致动到排气位置，以输送初始体积的空气。在一个实施例中，所述方法包括在排气位置与分离位置之间手动致动初级手动致动器。在一个实施例中，所述方法包括使初级手动致动器偏置到分离位置。在一个实施例中，所述方法包括将初级手动致动器手动致动到排气位置。在一个实施例中，所述方法包括使用阀当在排气位置中时使空气的源与涡轮泵流体联接，并且当在分离位置中时使空气的源与涡轮泵流体分离。在一个实施例中，所述方法包括当在排气位置中时抵抗偏置手动地使空气的源与涡轮泵流体联接，并且当在分离位置中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涡轮泵排气组件，包括：可操作成将初始体积的空气输送到涡轮泵的初级手动致动器；以及可操作成将次级体积的空气输送到所述涡轮泵的次级手动致动器，其中，所述次级体积的空气大于所述初始体积的空气。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.15 GB 1613928.91.一种涡轮泵排气组件，包括：可操作成将初始体积的空气输送到涡轮泵的初级手动致动器；以及可操作成将次级体积的空气输送到所述涡轮泵的次级手动致动器，其中，所述次级体积的空气大于所述初始体积的空气。2.根据权利要求1所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初始体积的空气小于所述次级体积的空气。3.根据权利要求1或2所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器具有其中所述初始体积的空气被输送到所述涡轮泵的排气位置和其中防止所述初始体积的空气被输送到所述涡轮泵的分离位置。4.根据权利要求3所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器可在所述排气位置与所述分离位置之间手动配置。5.根据权利要求3或4所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器朝向所述分离位置偏置。6.根据权利要求3至5中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器可以可释放地配置到所述排气位置。7.根据权利要求3至6中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器具有阀布置结构，所述阀布置结构可操作成当在所述排气位置中时使所述初始体积的空气的源与所述涡轮泵流体联接，并且当在所述分离位置中时使所述初始体积的空气的所述源与所述涡轮泵流体分离。8.根据权利要求7所述的涡轮泵排气组件，其中，所述阀布置结构当在所述排气位置中时可手动操作成使所述初始体积的空气的源与所述涡轮泵流体联接，并且当在所述分离位置中时偏置以使所述初始体积的空气的所述源与所述涡轮泵流体分离。9.根据权利要求3至8中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器具有使所述初始体积的空气的所述源与所述涡轮泵流体联接的管道，所述管道具有被配置成当在所述排气位置中时限制通过所述管道的流量的限流器。10.根据权利要求3至9中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初始体积的空气的所述源包括贮存器，所述贮存器可操作成当在所述分离位置中时保持所存储体积的空气，并且当在所述排气位置中时将所述所存储体积的空气作为所述第一体积的空气输送到所述涡轮泵。11.根据权利要求10所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手...

【专利技术属性】
技术研发人员：C迈尔斯，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：英国,GB