一种废硫酸回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于对半导体行业产生的废硫酸进行回收的废硫酸回收装置及其回收方法，属于废硫酸回收技术领域。所述废硫酸回收装置包括用于对硫酸中的杂质进行过滤的过滤器，所述过滤器通过管道依次连接有用于去除氯气的一级反应釜和用于去除双氧水的二级反应釜，通过一级反应釜和二级反应釜能够将半导体行业产生的废硫酸中的双氧水和氯气去除，使得处理后的废硫酸达到电子级硫酸的标准，能够回收利用。本实用新型专利技术所述废硫酸回收装置结构简单且回收方法简单易行回收效率高。

A waste sulfuric acid recovery unit

The utility model discloses a waste sulfuric acid recovery device for recycling waste sulfuric acid produced by semiconductor industry and a recovery method thereof, belonging to the technical field of waste sulfuric acid recovery. The waste sulphuric acid recovery device comprises a filter for filtering impurities in sulphuric acid. The filter is connected by a primary reactor for removing chlorine gas and a secondary reactor for removing hydrogen peroxide in turn through a pipeline. The hydrogen peroxide and chlorine in waste sulphuric acid produced by the semiconductor industry can be removed by a primary reactor and a secondary reactor, so as to make the treated waste sulphur. Acids meet the standard of electronic grade sulphuric acid and can be recycled. The waste sulfuric acid recovery device of the utility model has simple structure and simple recovery method, and high recovery efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种废硫酸回收装置
本技术涉及废硫酸回收
，尤其涉及一种用于对半导体行业产生的废硫酸进行回收的废硫酸回收装置。
技术介绍
为了剥离液晶片表面上的有机物，采用大量硫酸与双氧水、氯气混合制备的清洗剂，清洗后的硫酸含有双氧水、氯离子、及杂质，不能回收利用，且由于硫酸本身是强氧化性，并且无害化处置会产生大量二氧化硫他是大气中的主要污染物，对环节和人体健康有很大的危害，同时也是产生酸雨的主要原因。随着经济的高速发展，我国二氧化硫的排放量已经已居世界首位，各地都不同程度地出现酸雨，成为继欧洲、北美之后的酸雨重污染区。半导体行业产生的废硫酸量又比较大从环保、经济等方面考虑我们着手于此废硫酸的回收利用技术，为企业减轻处置压力和处置费用。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题，本技术提供了一种废硫酸回收装置及其回收方法，能够对半导体行业产生的废硫酸进行回收利用。为了达到上述目的，本技术采取的技术方案如下：一种废硫酸回收装置，包括用于对废硫酸中的杂质进行过滤的过滤器，所述过滤器通过管道依次连接有用于去除氯气的一级反应釜和用于去除双氧水的二级反应釜。进一步地，所述过滤器上设有第一进料口和第一出料口，所述第一进料口位于过滤器的顶部且与废硫酸管道连接，所述第一出料口位于过滤器的底部且通过第一连接管道与一级反应釜连通；所述过滤器的内部填充有滤料，所述滤料的顶部和底部均设有过滤筛网，所述过滤筛网位于第一进料口的下方且与过滤器可拆卸连接。进一步地，所述滤料采用聚乙烯高效纤维制备而成的滤料，所述滤料的直径均大于过滤筛网的孔径，所述滤芯与顶部的过滤筛网之间留有用于反冲洗的活动间隙。进一步地，所述过滤器还包括反冲洗装置，所述反冲洗装置包括设在过滤器底部的用于与清洗水管道连通的清洗水连接口和与压缩空气管道连通的压缩空气连接口，所述清洗水连接口处设有用于将清洗水打入过滤器内部的泵送装置，所述过滤器的顶部设有排污口。进一步地，所述一级反应釜的顶部设有第二进料口，底部设有用于与二级反应釜连通的第二出料口；所述一级反应釜内填充有吸附填料，所述吸附填料的顶部和底部设有布水板，所述布水板与一级反应釜可拆卸连接且位于第二进料口的下方；所述一级反应釜的底部设有用于对硫酸液进行加热的加热盘管，所述加热盘管固定在一级反应釜的底部且位于布水板的下方；所述一级反应釜的顶部还连接有第一抽风装置，所述第一抽风装置连接有碱洗喷淋塔，用于对一级反应釜内分解的氯气进行吸收。进一步地，所述吸附填料采用多面空心球填料，所述布水板上均匀开设有多个布水孔，所述布水孔的直径小于吸附填料的最小直径。进一步地，所述二级反应釜包括夹套加热反应釜，所述二级反应釜的顶部开设有第三进料口和催化剂注入口，底部开设有第三出料口、热源进口、冷凝水排出口和取样口；所述热源进口和冷凝水排出口与二级反应釜的夹套连通；所述取样口连接有氯气检测装置；所述二级反应釜的内部固定有搅拌装置。进一步地，所述二级反应釜的顶部还连接有第二抽风装置，用于对二级反应釜产生的有害废气及加热过程中的水蒸气排除；所述第二抽风装置连接有碱洗喷淋塔，用于对二级反应釜3产生的有害废气及加热过程中的水蒸气进行吸收。有益效果：与现有技术相比，本技术通过过滤器首先对废硫酸中的杂质进行过滤；然后将过滤后的废硫酸通过一级反应釜，利用氯气加热易分解的原理通过第一抽风装置进入碱洗喷淋塔将分解后的氯气进行吸收；接着通过布水器和吸附填料的能够将进入一级反应釜的硫酸进行均匀分配有效的增大接触面积，延长接触时间，达到进一步净化目的，从而提高净化效率；最后将经过一级反应釜处理后的硫酸通入二级反应釜，在加热搅拌以及催化剂的作用下，加快双氧水的分解，进一步的将硫酸中的双氧水去除，使得处理后的硫酸达到电子级的产品硫酸。本技术废硫酸回收装置结构简单且回收方法简单，回收效率高。附图说明为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实施例提供的一种废硫酸回收装置的结构示意图。图中：1-过滤器、101-第一进料口、102-第四阀体、103-第一出料口、104-过滤筛网、105-滤料、106-清洗水连接口、107-压缩空气连接口、108-排污口、2-一级反应釜、201-第二进料口、202-第二出料口、203-布水板、204-吸附填料、205-加热盘管、206-第一抽风装置、3-二级反应釜、301-第三进料口、302-第三出料口、303-热源进口、304-冷凝水排出口、305-夹套、306-搅拌装置、307-第二抽风装置、308-催化剂注入口、309-取样口、4-碱洗喷淋塔、401-进气口、5-换热器、6-氯气检测装置、7-第一储水池、8-第二储水池、9-第一连接管道、10-第二连接管道、11第三连接管道、12-第四连接管道、13-第一阀体、14-第二阀体、15-第一硫酸泵、16-引风机、17-第三阀体、18-第二硫酸泵。具体实施方式在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。下面结合附图和实施例对本技术作进一步阐述。实施例参考图1，一种废硫酸回收装置，包括用于对废硫酸中的杂质进行过滤的过滤器1，所述过滤器1通过管道依次连接有用于去除氯气的一级反应釜2和用于去除双氧水的二级反应釜3。进一步地，参考图1，所述过滤器1上设有第一进料口101和第一出料口103，所述第一进料口101位于过滤器1的顶部且与废硫酸管道连接，所述第一进料口101上设有用于控制硫酸流量的第四阀体102,，所述第一出料口103位于过滤器1的底部且通过第一连接管道9与一级反应釜2连通，第一连接管道9上设有用于控制硫酸流量的第一阀体13；所述过滤器1的内部填充有滤料105，所述滤料105的顶部和底部均设有过滤筛网104，所述过滤筛网104位于第一进料口101的下方且与过滤器1通过法兰连接实现可拆卸连接方式，便于后期过滤筛网104的拆卸和更换。进一步地，参考图1，所述滤料105采用聚乙烯高效纤维制备而成的滤料，具有过滤精度高，处理能力稳定的优势，过滤精度高达0.5微米，所述滤料105的直径均大于过滤筛网104的孔径，避免滤料105跑出，使滤料被截留在罐体内，所述滤芯105与顶部的过滤筛网104之间留有用于反冲洗的活动间隙。进一步地，参考图1，所述过滤器1还包括反冲洗装置，增强过滤器的处理能力，所述反冲洗装置包括设在过滤器1底部的用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废硫酸回收装置，其特征在于：包括用于对废硫酸中的杂质进行过滤的过滤器(1)，所述过滤器(1)通过管道依次连接有用于去除氯气的一级反应釜(2)和用于去除双氧水的二级反应釜(3)；所述一级反应釜(2)的顶部设有第二进料口(201)，底部设有用于与二级反应釜(3)连通的第二出料口(202)；所述一级反应釜(2)内填充有吸附填料(204)，所述吸附填料(204)的顶部和底部设有布水板(203)，所述布水板(203)与一级反应釜(2)可拆卸连接且位于第二进料口(201)的下方；所述二级反应釜(3)包括夹套加热反应釜。

【技术特征摘要】
1.一种废硫酸回收装置，其特征在于：包括用于对废硫酸中的杂质进行过滤的过滤器(1)，所述过滤器(1)通过管道依次连接有用于去除氯气的一级反应釜(2)和用于去除双氧水的二级反应釜(3)；所述一级反应釜(2)的顶部设有第二进料口(201)，底部设有用于与二级反应釜(3)连通的第二出料口(202)；所述一级反应釜(2)内填充有吸附填料(204)，所述吸附填料(204)的顶部和底部设有布水板(203)，所述布水板(203)与一级反应釜(2)可拆卸连接且位于第二进料口(201)的下方；所述二级反应釜(3)包括夹套加热反应釜。2.根据权利要求1所述的一种废硫酸回收装置，其特征在于：所述过滤器(1)上设有第一进料口(101)和第一出料口(103)，所述第一进料口(101)位于过滤器(1)的顶部且与废硫酸管道连接，所述第一出料口(103)位于过滤器(1)的底部且通过第一连接管道(9)与一级反应釜(2)连通；所述过滤器(1)的内部填充有滤料(105)，所述滤料(105)的顶部和底部均设有过滤筛网(104)，所述过滤筛网(104)位于第一进料口(101)的下方且与过滤器(1)可拆卸连接。3.根据权利要求2所述的一种废硫酸回收装置，其特征在于：所述滤料(105)采用聚乙烯高效纤维制备而成的滤料，所述滤料(105)的直径均大于过滤筛网(104)的孔径，所述滤料(105)与顶部的过滤筛网(104)之间留有用于反冲洗的活动间隙。4.根据权利要求1所述的一种废硫酸回收装置，其特征在于：所述过滤器(1)还包括反冲洗装置，所述反冲洗装置包括设在过滤器(1)底部的用于与清洗水管道连通的清洗水连接口(106)和与压缩...

【专利技术属性】
技术研发人员：李科，
申请(专利权)人：陕西高科环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61