一种用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台制造技术

本发明专利技术公开了一种用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台，包括：底座，其上端面设有凹槽，并设有用于定位生物芯片的定位装置，底座的表面具有防生化试剂腐蚀的氧化层；吸附盘，其安装在底座的凹槽内，并凸出于凹槽，吸附盘上设有从侧面延伸至内部的第一气道，吸附盘的上表面设有与第一气道联通的第二气道，吸附盘由防生化试剂腐蚀的材料制成。由于吸附盘安装在底座的凹槽内，凹槽的设计可有效防止生化试剂的滴漏，避免了生化试剂对承载运动平台的腐蚀破坏；吸附盘采用耐生化试剂腐蚀的材料制成，底座具有防生化试剂腐蚀的氧化层，底座和吸附盘采用不同材料结合，不仅具有良好的防生化试剂腐蚀效果，而且节约了成本。

An Adsorbent for Accurate Location of Large-scale Biochips

The invention discloses an adsorption platform for precise positioning of large-scale biochips, which comprises a base, a groove on the upper end surface and a positioning device for positioning biochips. The surface of the base is provided with an oxidation layer to prevent corrosion of biochemical reagents; the adsorption plate is installed in the groove of the base and protrudes out of the groove, and the adsorption plate is provided with a first one extending from the side to the inside. The upper surface of the adsorption tray is provided with a second airway connected with the first airway, and the adsorption tray is made of a material which can prevent the corrosion of biochemical reagents. Because the adsorption plate is installed in the groove of the base, the design of the groove can effectively prevent the leakage of biochemical reagents and avoid the corrosion damage of biochemical reagents to the bearing platform; the adsorption plate is made of the material resistant to the corrosion of biochemical reagents, and the base has an oxidation layer resistant to the corrosion of biochemical reagents. The base and the adsorption plate are combined with different materials, which not only have good corrosion resistance to biochemical reagents. Effectiveness and cost savings.

【技术实现步骤摘要】
一种用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台
本专利技术涉及基因检测
，具体涉及一种用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台。
技术介绍
基于半导体晶元的生物芯片目前使用越来越广泛，使得生物芯片的面积越来越大，而生物芯片与半导体工艺中的硅片相比，具有更加复杂的环境和使用要求，并且需要对成本需要严格控制。二代基因测序技术采用单晶硅基底制作生物芯片，通过对标准单晶硅片做相应的表面处理后，可以承载高密度排布的待测DNA序列，硅片越大，单片芯片包含的数据量就越大。由于类似的生物芯片需要经过多次重复的生化反应和精确的荧光成像才能完成复杂的测序过程。生物芯片在生化反应时要接触带一定腐蚀性的试剂，同时承受温度在一定范围内的变化，在荧光成像时需要进行高效率的装载和卸载，同时保证位置精度，扫描成像时需要对表面DNA进行保护和荧光物质的信号强化，生物芯片表面须覆盖一层生化试剂。一般试剂内含有氧化活性和非化学中性的物质，所以对一般金属具有腐蚀性，而且生化试剂蒸发后容易结晶，对承载系统的腐蚀和堵塞比较严重，需要在吸附平台设计时进行特殊考虑。目前商用的吸附卡盘一般专门为半导体供应商设计，包括真空吸附和静电吸附，后者本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台，其特征在于，包括：底座，其上端面设有凹槽，并设有用于定位生物芯片的定位装置，所述底座的表面具有防生化试剂腐蚀的氧化层；吸附盘，其安装在所述底座的凹槽内，并凸出于所述凹槽，所述吸附盘上设有从侧面延伸至内部的第一气道和露出于上表面的第二气道，所述第一气道和第二气道相互联通，所述吸附盘由防生化试剂腐蚀的材料制成。

【技术特征摘要】
1.一种用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台，其特征在于，包括：底座，其上端面设有凹槽，并设有用于定位生物芯片的定位装置，所述底座的表面具有防生化试剂腐蚀的氧化层；吸附盘，其安装在所述底座的凹槽内，并凸出于所述凹槽，所述吸附盘上设有从侧面延伸至内部的第一气道和露出于上表面的第二气道，所述第一气道和第二气道相互联通，所述吸附盘由防生化试剂腐蚀的材料制成。2.如权利要求1所述的用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台，其特征在于，所述吸附盘由钛合金或者碳纤维复合材料制成，所述底座由航空铝合金制成。3.如权利要求2所述的用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台，其特征在于，所述定位装置包括至少两个气动定位销，至少两个所述气动定位销均匀分布在所述凹槽外侧的圆周上。4.如权利要求2所述的用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台，其特征在于，所述底座下端设有用于调节吸附盘上表面水平度的水平调节装置。5.如权利要求4所述的用于大尺寸生物芯片精确定位的吸附台，其特征在于，所述水平调节装置包括至少三个调平促进器，至少三个所述调平促进器均匀分布在所述底座下表面边缘...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹艳波，乔彦峰，莫成钢，
申请(专利权)人：长光华大基因测序设备长春有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林,22