一种耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层，包括基体，基体上镀Ti膜，Ti膜上镀Ag膜，Ag膜上镀TiO2膜，TiO2膜上镀SiO2膜，SiO2膜上镀TiO2膜，TiO2膜与SiO2膜交替进行4个循环，在第4个循环结束时，SiO2膜上镀Ag膜，Ag膜上再镀TiO2膜，TiO2膜上镀SiO2膜……再交替进行4个循环，在最后一层SiO2膜上再镀TiO2膜，制备出激光器件用高反射膜层。本发明专利技术制备的高反射膜层耐高温、耐气流温度变化产生的应力、耐废气中强酸腐蚀，性能稳定。磁控溅射制备的TiO2/SiO2结合力强，离子能量在100ev左右，膜层的厚度可以根据工艺进行精确控制。

【技术实现步骤摘要】
一种耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层及其制备方法
本专利技术属于光学反射膜系
，具体涉及一种耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层及其制备方法。
技术介绍
超短脉冲激光广泛运用于生物医疗、军事、环境监测、工业加工等领域中，引起了极大的研究兴趣。激光技术近年在工业生产应用越来越广泛，在激光技术制备过程中，对激光反射膜系以及相关器件的制备技术要求越来越高。对于在激光器内多次反射的膜系，提高膜系的反射率0.1%，输出功率会提高10%。反射率提高，不但增强了输出功率，同时，减少能量损耗，使得热量转化较少，减少器件腔镜的热畸变，使得反射膜系薄膜寿命增大。由高折射率与低折射率的反射膜交替生长构成高反射膜系，每层光学薄膜厚度为所要反射波段波长的四分之一为最佳，这些已经在理论上得到了实证。高折射率膜系如SiO2/AlNx。低折射率膜系，介质膜如Ta2O、TiO2，以及金属膜系作为低折射率膜系。常用的高反交替膜系的主要有以下几大膜系，介质/介质膜系如Ta2O/SiO2，TiO2/SiO2,介质/金属/介质如TiO2/Ag/TiO2。这些高反射膜系可以在环境监测领域种使用，在检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层，其特征在于：包括基体（1），基体（1）上镀Ti膜（2），Ti膜（2）上镀Ag膜（3），Ag膜（3）上镀TiO2膜（4），TiO2膜（4）上镀SiO2膜（5），SiO2膜（5）上镀TiO2膜（4），TiO2膜（4）与SiO2膜（5）交替进行4个循环，在第4个循环结束时，SiO2膜（5）上镀Ag膜（3），Ag膜（3）上再镀TiO2膜（4），TiO2膜（4）上镀SiO2膜（5）……再交替进行4个循环，在最后一层SiO2膜（5）上再镀TiO2膜（4），制备出激光器件用高反射膜层。

【技术特征摘要】
1.一种耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层，其特征在于：包括基体（1），基体（1）上镀Ti膜（2），Ti膜（2）上镀Ag膜（3），Ag膜（3）上镀TiO2膜（4），TiO2膜（4）上镀SiO2膜（5），SiO2膜（5）上镀TiO2膜（4），TiO2膜（4）与SiO2膜（5）交替进行4个循环，在第4个循环结束时，SiO2膜（5）上镀Ag膜（3），Ag膜（3）上再镀TiO2膜（4），TiO2膜（4）上镀SiO2膜（5）……再交替进行4个循环，在最后一层SiO2膜（5）上再镀TiO2膜（4），制备出激光器件用高反射膜层。2.根据权利要求1所述的耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层，其特征在于：所述基体（1）为Ti合金基材。3.根据权利要求2所述的耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层，其特征在于：所述Ti合金基材为Ti-6Al-4V合金。4.根据权利要求1所述的耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层，其特征在于：所述Ti膜（2）的厚度为20-30nm，Ag膜（3）、TiO2膜（4）和SiO2膜（5）的厚度均为500-650nm。5.根据权利要求1所述的耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层，其特征在于：所述基体（1）的厚度大于等于500μm。6.根据权利要求1-5任一所述的耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层的制备方法，其特征在于：具体步骤如下：1）Ti合金基材制备：抛光Ti合金基体；2）磁控溅射镀Ti膜（2）：在Ti合金基材表面镀Ti膜（2）；3）镀Ag膜（3）：在Ti膜（2）上镀反射膜Ag膜（3）；4）镀TiO2膜（4）：在Ag膜（3）上镀高透射膜TiO2膜（4）；5）镀SiO...

【专利技术属性】
技术研发人员：王云飞，高志廷，张黎燕，孔一君，张文琼，张文斌，马俊杰，孟祥伟，岳金明，
申请(专利权)人：河南机电职业学院，
类型：发明
国别省市：河南,41